【技术实现步骤摘要】
一种旋转靶材绑定用抽真空装置
本技术涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置。
技术介绍
目前我国的平板显示制造企业发展迅速，国家大力支持先进产品实现国产化。目前镀膜用靶材有两种：平面靶材和旋转靶材。平面靶材溅射使用可达到30%左右，而旋转靶材溅射使用率可达到80%左右，其次旋转靶材在使用过程中不停地旋转，靶材表面光滑，使用均匀，不会出现“结瘤现象”，可以保证靶材使用质量，镀膜的均匀性，减少缺陷率以及提高成品率。旋转靶材是目前乃至以后发展的一大趋势。旋转靶材生产过程主要有两大工序：其一：旋转靶材靶管的生产；其二：靶管与背管的绑定。目前旋转靶材的绑定工装是按单节绑定方式进行的，采用现有的绑定工装进行绑定的工艺较为复杂，人工操作过程较多，对员工操作熟练程度较高。多节旋转靶材同时绑定方式存在的主要困难是，组件在加热过程中靶管与背管极易被氧化。且在注铟后，绑定层中会出现微气孔、疏松等缺陷，直接影响靶管与背管的焊合质量，从而导致靶管、背管与绑定层结合强度不足。长期使用后，金属绑定层易与靶管和背管脱落，若此脱落面积达到某个程度，...
【技术保护点】
1.一种旋转靶材绑定用抽真空装置，其特征在于：包括模具底座（5）、密封盖（6）、压杆（7）、密封环和抽真空泵（8），所述密封环包括密封环Ⅰ（1）、密封环Ⅱ（2）、密封环Ⅲ（3）和密封环Ⅳ（4），所述模具底座为其上开有用于放置背管的圆形凹槽的平板结构，模具底座上开有与圆形凹槽连通的注铟通孔（51），所述密封盖（6）是由圆形端盖（61）和设置在圆形端盖边缘的凸缘（62）构成，密封盖的凸缘设置有抽真空口（13），抽真空泵通过管道（9）与抽真空口连通；/n使用状态时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，...
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材绑定用抽真空装置，其特征在于：包括模具底座（5）、密封盖（6）、压杆（7）、密封环和抽真空泵（8），所述密封环包括密封环Ⅰ（1）、密封环Ⅱ（2）、密封环Ⅲ（3）和密封环Ⅳ（4），所述模具底座为其上开有用于放置背管的圆形凹槽的平板结构，模具底座上开有与圆形凹槽连通的注铟通孔（51），所述密封盖（6）是由圆形端盖（61）和设置在圆形端盖边缘的凸缘（62）构成，密封盖的凸缘设置有抽真空口（13），抽真空泵通过管道（9）与抽真空口连通；
使用状态时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈标，刘所心，郭朋，段宇龙，
申请(专利权)人：广西晶联光电材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：广西;45
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