一种钴钽锆靶材的制备方法技术

本发明专利技术揭示了一种钴钽锆靶材的制备方法，包括以下步骤：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；将混合物料进行熔炼后得到合金锭；将合金锭进行精炼后得到合金熔体；将合金熔体进行浇铸后得到铸锭；将铸锭进行热轧后得到靶坯；将靶坯进行机加工后得到靶材。本发明专利技术提供的一种钴钽锆靶材的制备方法，通过结合熔炼、精炼两种不同的方式制备钴钽锆合金靶材，能有效解决现有技术制备钴钽锆合金靶材纯度底、晶粒大小分布不均且工艺复杂的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种钴钽锆靶材的制备方法
本专利技术涉及靶材制备
，尤其涉及一种钴钽锆靶材的制备方法。
技术介绍
电感器作为电子线路三大基础元件之一，被广泛应用在电脑、消费电子、通讯设备等各电子领域，电感器按结构可分为插装式电感器和贴片式电感器(又称片式电感器)两大类，片式电感器又可分为叠层型电感器、绕线型电感器和薄膜型电感器三种。薄膜型电感器由于磁性薄膜的引入，不仅可以有效提高电感量，而且可以有效改善电感器的高频性能，薄膜型电感器的出现为电感器的精细化、高频化和智能化开辟了新章程，将成为未来电感器的主流。随着消费者对手机等数码产品的要求提高和手机行业的竞争加剧，国内外市场对电感器件的需求迅速提升，所以要求更精细更精密的滤波器、电感器等。钴钽锆合金是一种重要的软磁材料，具有较好的磁化特性，是新一代信息技术产业磁记录材料的重要原材料之一，因此制备高纯的钴钽锆靶材尤为重要。目前，关于钴钽锆合金靶材的生产方法的科研及工业应用的相关报道，工业界制备钴钽锆靶材一般采用的生产方法为：1、量取Co、Ta、Zr三种元素原料放入坩埚中进行真空熔炼并浇铸成铸本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钴钽锆靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；/nS2：将所述混合物料进行熔炼后得到合金锭；/nS3：将所述合金锭进行精炼后得到合金熔体；/nS4：将所述合金熔体进行浇铸后得到铸锭；/nS5：将所述铸锭进行热轧后得到靶坯；/nS6：将所述靶坯进行机加工后得到靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种钴钽锆靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；
S2：将所述混合物料进行熔炼后得到合金锭；
S3：将所述合金锭进行精炼后得到合金熔体；
S4：将所述合金熔体进行浇铸后得到铸锭；
S5：将所述铸锭进行热轧后得到靶坯；
S6：将所述靶坯进行机加工后得到靶材。


2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S2具体为：将所述磁悬浮感应熔炼炉抽至真空后，充入保护气体洗炉再次抽真空，随后充入新的保护气体，让所述混合物料在真空环境下加热到1300~1450℃，持续时间为8~12min进行熔炼，然后升温至1500℃使混合物料全部熔化，最后冷却至室温后得到合金锭。


3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述步骤S3具体为：将所述合金锭置于真空感应熔炼炉的氧化物坩埚内，真空感应熔炼炉抽至真空后充入新的保护气体，让所述合金锭在真空环境下加热到1250~1350℃使所述合金锭全部熔化，再进行持续时间为3~5min的精炼后得到合金熔体。


4.根据权利要求1所述的方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡新志，童培云，朱刘，何坤鹏，黄宇彬，邓瑞，钟振宇，
申请(专利权)人：先导薄膜材料广东有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44