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本发明揭示了一种钴钽锆靶材的制备方法，包括以下步骤：按照靶材所需的配比称量Co、Zr和Ta原材料，将原材料装入磁悬浮感应熔炼炉的水冷坩埚内，得到混合物料；将混合物料进行熔炼后得到合金锭；将合金锭进行精炼后得到合金熔体；将合金熔体进行浇铸后得...
该专利属于先导薄膜材料(广东)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料(广东)有限公司授权不得商用。

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