一种超声波涂铟炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种超声波涂铟炉，包括炉体、盖合炉体的炉盖、固定靶材的空心管，所述炉盖与所述炉体之间可翻转地连接，所述炉体内沿其长度方向设置有放置所述空心管的下通槽，所述炉盖内设置有与所述下通槽的位置相对应的上通槽，所述炉盖和所述炉体闭合时，所述上通槽和所述下通槽的内壁均紧贴在所述空心管外壁上，所述上通槽和下通槽内壁为绝缘层，所述上通槽和所述下通槽的所述绝缘层上均铺设有加热丝；本实用新型专利技术旨在改善现有的超声波涂铟炉效率低、不安全且使用及维修均不便的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波涂铟炉
本技术涉及靶材涂铟领域，具体而言，涉及一种超声波涂铟炉。
技术介绍
旋转靶材在涂铟过程中需用到超声波涂铟炉，在涂铟过程中，先将靶材固定在超声波涂铟炉上，在通过超声波涂铟炉对靶材进行加热，然后用涂铟探头进行涂铟操作，现有的超声波涂铟炉的炉体为一端封闭的桶状结构，涂铟时只能对靶材一端进行涂铟操作，效率低，炉体内的加热丝也直接固定在炉体内壁上，不安全，而且炉体为封闭结构，不能打开，在将靶材装入炉体或对炉体进行维修时极为不便。鉴于此，本申请专利技术人专利技术了一种超声波涂铟炉。
技术实现思路
本技术提供了一种超声波涂铟炉，旨在改善现有的超声波涂铟炉效率低、不安全且使用及维修均不便的问题。本技术是这样实现的：一种超声波涂铟炉，包括炉体、盖合炉体的炉盖、固定靶材的空心管，所述炉盖与所述炉体之间可翻转地连接，所述炉体内沿其长度方向设置有放置所述空心管的下通槽，所述炉盖内设置有与所述下通槽的位置相对应的上通槽，所述炉盖和所述炉体闭合时，所述上通槽和所述下通槽的内壁均紧贴在所述空心管外壁上，所述上通槽和下通槽内壁为绝缘层，所述上通槽和所述下通槽的所述绝缘层上均铺设有加热丝。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述下通槽和所述上通槽的横截面均为半圆形，所述下通槽和所述上通槽的横截面半径与所述空心管的半径相同。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述空心管两端外壁周侧上分别对称设置有两个固定环，所述固定环和所述空心管一体成型。进一步地，在本技术较佳的实施例中，两个所述固定环相靠近的侧壁之间的距离与所述上通槽、下通槽的槽长相同。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述空心管两端分别对称设置有闭合所述空心管的盖板，所述盖板与所述空心管通过螺栓固定在所述空心管上。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述炉体两端底部设置有接取槽以用于接取漏出的成融化状态的铟。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述绝缘层为陶瓷。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述固定环、盖板、炉盖上均设置有把手。进一步地，在本技术较佳的实施例中，所述炉体和炉盖在闭合后通过锁扣固定。本技术的有益效果是：本技术的空心管用于放置靶材，炉体、炉盖、空心管均为两端开口结构，在涂铟时可对靶材的两端进行涂铟操作，效率高，下通槽、上通槽的内壁为陶瓷，加热丝铺设在陶瓷上不与炉体直接接触，安全性得到提高，炉体和炉盖可打开，空心管也可从炉体上取出，便于靶材的装入，也方便对炉体进行维修。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术的第一结构示意图；图2是本技术的第二结构示意图；图3是本技术在隐藏空心管后的结构示意图；图4是本技术中空心管的分解图。主要元件符号说明炉体1,下通槽11，接取槽12,支撑架13,炉盖2,上通槽21,空心管3,固定环31，盖板32，合页4，锁扣5,活动件51,固定件52，把手6。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。实施例1，参照图1到图2所示，一种超声波涂铟炉，包括炉体1、盖合炉体1的炉盖2、固定靶材的空心管3，参照图3所示，炉盖2和炉体1沿其长度方向的侧边均设置有合页4，炉盖2与炉体1之间通过合页4可翻转地连接。参照图1到图3所示，炉盖2在盖合炉体1后通过锁扣5固定，锁扣5包括固定在炉体1上的活动件51和固定在炉盖2上的固定件52，锁扣5通过固定件52和活动件51的配合将炉盖2与炉体1固定。参照图1和图3所示，炉体1内沿其长度方向设置有放置空心管3的下通槽11，炉盖2内设置有与下通槽11的位置相对应的上通槽21。进一步地，下通槽11和上通槽21的横截面均为半圆形，下通槽11和上通槽21的横截面半径与空心管3的半径相同，以使炉盖2和炉体1闭合时，上通槽21和下通槽11的内壁均紧贴在空心管3外壁上。参照图1和图4所示，空心管3两端外壁周侧上分别对称设置有两个固定环31，固定环31和空心管3一体成型，空心管3两端分别对称设置有闭合空心管3的盖板32，盖板32与空心管3通过螺栓固定在空心管3上。进一步地，两个固定环31相靠近的侧壁之间的距离与上通槽21、下通槽11的槽长相同，当空心管3放置在下通槽11上时，固定环31被炉体1侧壁挡住，固定环31沿其轴向的位置被限定，防止其发生晃动。上通槽21和下通槽11内壁为绝缘层，上通槽21和下通槽11的绝缘层上均铺设有加热丝。进一步地，绝缘层为陶瓷，加热丝铺设在陶瓷上不与炉体1直接接触，减小触电风险，提高安全性。参照图1到图3所示，炉体1两端底部设置有接取槽12以用于接取漏出的成融化状态的铟。进一步地，接取槽12的中心线与下通槽11的中心线平行，且接取槽12的槽长与空心管3的内径相同，以使接取槽12可以将超声波涂铟过程中漏出的铟收集。参照图1到本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超声波涂铟炉，其特征在于，包括炉体、盖合炉体的炉盖、固定靶材的空心管，所述炉盖与所述炉体之间可翻转地连接，所述炉体内沿其长度方向设置有放置所述空心管的下通槽，所述炉盖内设置有与所述下通槽的位置相对应的上通槽，所述炉盖和所述炉体闭合时，所述上通槽和所述下通槽的内壁均紧贴在所述空心管外壁上，所述上通槽和下通槽内壁为绝缘层，所述上通槽和所述下通槽的所述绝缘层上均铺设有加热丝。/n

【技术特征摘要】
1.一种超声波涂铟炉，其特征在于，包括炉体、盖合炉体的炉盖、固定靶材的空心管，所述炉盖与所述炉体之间可翻转地连接，所述炉体内沿其长度方向设置有放置所述空心管的下通槽，所述炉盖内设置有与所述下通槽的位置相对应的上通槽，所述炉盖和所述炉体闭合时，所述上通槽和所述下通槽的内壁均紧贴在所述空心管外壁上，所述上通槽和下通槽内壁为绝缘层，所述上通槽和所述下通槽的所述绝缘层上均铺设有加热丝。


2.根据权利要求1所述的一种超声波涂铟炉，其特征在于：所述下通槽和所述上通槽的横截面均为半圆形，所述下通槽和所述上通槽的横截面半径与所述空心管的半径相同。


3.根据权利要求1所述的一种超声波涂铟炉，其特征在于：所述空心管两端外壁周侧上分别对称设置有两个固定环，所述固定环和所述空心管一体成型。


4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴友根，
申请(专利权)人：厦门市跃邦自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35