【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】接触式供电装置和接触单元
本专利技术涉及一种接触式供电装置和接触单元。
技术介绍
接触式供电装置被用于例如向溅射装置中的旋转式阴极单元的靶进行供电。这样的供电装置具有：导电性的内筒体、同心地配置于内筒体周围的导电性的外筒体、对外筒体进行旋转驱动的驱动单元、以及在内筒体的外周面一边滑过外筒体的内周面一边将内筒体和外筒体导通的电刷。然而，伴随着电刷的滑动电刷磨损。其结果是，外筒体和电刷的接触面积变小，在长时间运转接触式供电装置时，筒体间的导通有时变得不充分。在这样的状况下，提供了一种接触式供电装置，即使电刷磨损，电刷和外筒体也始终接触，能够长期在筒体间流过电流(例如专利文献1)。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第6168716号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的问题然而，在使电刷介于内筒体和外筒体之间、使内筒体和外筒体始终导通的结构中，为了提高电刷的接触性，电刷的结构变得复杂。在使这样复杂结构的电刷介于内筒体和外筒体之间的情况下，电刷相对于内筒体和外...
【技术保护点】
1.一种接触式供电装置，其具有：/n第一筒体；/n第二筒体，其包围所述第一筒体，相对于所述第一筒体同心状地配置，被构成为能够以所述第一筒体的中心轴为中心旋转；/n环状体，其包围所述第一筒体，相对于所述第一筒体同心状地配置，被构成为不与所述第二筒体接触，端面为锥状的倾斜面；以及/n接触体，其在所述第一筒体的轴向上与所述环状体相向，与所述第二筒体电连接，与所述第二筒体一起以所述中心轴为中心绕所述第一筒体旋转，具有与所述倾斜面抵接的接触面，通过与所述环状体的滑动来接受所述环状体的电位。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20181017 JP 2018-1955591.一种接触式供电装置，其具有：
第一筒体；
第二筒体，其包围所述第一筒体，相对于所述第一筒体同心状地配置，被构成为能够以所述第一筒体的中心轴为中心旋转；
环状体，其包围所述第一筒体，相对于所述第一筒体同心状地配置，被构成为不与所述第二筒体接触，端面为锥状的倾斜面；以及
接触体，其在所述第一筒体的轴向上与所述环状体相向，与所述第二筒体电连接，与所述第二筒体一起以所述中心轴为中心绕所述第一筒体旋转，具有与所述倾斜面抵接的接触面，通过与所述环状体的滑动来接受所述环状体的电位。
2.根据权利要求2所述的接触式供电装置，
其构成为通过所述接触体被按压到所述环状体的所述倾斜面，从而所述接触体被按压到所述第二筒体。
3.根据权利要求1或2所述的接触式供电装置，其还具有：
环状的支承体，其被固定在所述第二筒体，包围所述第一筒体，支承所述接触体，
所述支承体与所述第二筒体及所述接触体一起以所述中心轴为中心旋转，
所述支承体和所述接触体在所述轴向上的相对距离被构成为能够改变。
4.根据权利要求3所述的接触式供电装置，
所述接触体在所述第二筒体旋转的方向上被分割成至少两个，
被分割的各个接触体的所述相对距离被构成为能够独立地改变。
5.根据权利要求1至4中任一项所述...
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