一种钛铝钼合金靶材及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种钛铝钼合金靶材及其制备方法，其制备方法包括：将钛粉、铝粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合后的混合粉末通过冷等静压压制，获得钛铝钼合金坯料；将所述钛铝钼合金坯料进行整形处理，使所述钛铝钼合金坯料的形状为预设形状；将整形处理后的所述钛铝钼合金坯料装入包套中，进行脱气处理；将经脱气处理的包套封焊后，通过热等静压烧结获得合金锭坯；将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗，获得钛铝钼合金靶材。本发明专利技术制得的钛铝钼合金靶材具有致密度高、无气孔和偏析，组织均匀，晶粒细小，规格尺寸多等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种钛铝钼合金靶材及其制备方法
本专利技术属于粉末冶金制备新材料领域，特别涉及一种钛铝钼合金靶材及其制备方法。
技术介绍
近年来，机械制造业发展迅猛，对机械零件的性能稳定性和服役寿命提出了更高的要求。通常高速运转的机器零部件和刀具表面容易磨损，特别是在一些极端条件下会产生很多热量，加速涂层的磨损，所以这些具有相对运动的表面需要有足够的硬度和良好的耐磨和润滑性能，以减少高速摩擦带来的损耗，从而延长机器使用寿命。经过不断的探索，发现在工具表面涂覆硬质涂层是提高表面硬度和改善耐磨性能的有效方法之一。金属氮化物薄膜TiN，在机械加工、装饰和电子器件等领域获得广泛的应用。然而这些简单的二元薄膜已经不能完全适应现在的工艺需求，TiAlN薄膜继TiN薄膜后，成为一种广泛的过渡金属氮化物薄膜，与TiN相比，一方面它的硬度和抗氧化性显著提高，但另一方面摩擦系数也提高了，这给它的应用带来了一些限制，在一些极端的服役条件下就会暴露缺陷，比如干摩擦条件下由于不能实现自润滑，工件的接触部位极易失效，所以现在急需改善涂层性能，满足一些极端条件下服役的需求。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种钛铝钼合金靶材，其特征在于，包括如下组分按质量百分比组成：钛10～50at％，铝30～70a％，钼2～20at％。/n

【技术特征摘要】
1.一种钛铝钼合金靶材，其特征在于，包括如下组分按质量百分比组成：钛10～50at％，铝30～70a％，钼2～20at％。


2.一种钛铝钼合金靶材的制备方法，其特征在于，包括：
将钛粉、铝粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；
将混合后的混合粉末通过冷等静压压制，获得钛铝钼合金坯料；
将所述钛铝钼合金坯料进行整形处理，使所述钛铝钼合金坯料的形状为预设形状；
将整形处理后的所述钛铝钼合金坯料装入包套中，进行脱气处理；
将经脱气处理的包套封焊后，通过热等静压烧结获得合金锭坯；
将压制后的所述合金锭坯依次进行机加工和清洗，获得钛铝钼合金靶材；
其中，所述钛铝钼合金靶材包括如下组分按质量百分比组成：钛10～50at％，铝30～70a％，钼2～20at％。


3.根据权利要求2所述的一种钛铝钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述铝粉的纯度为99.5％以上、平均粒径为10～30um。


4.根据权利要求2所述的一种钛铝钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钛粉的纯度为99.5％以上、平均粒径为20～40um。


5.根据权利要求2所述的一种钛铝钼合金靶材的制备方法，其特征在于，所述钼粉的纯度为99.5％以上、平均粒径为5～10um。


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【专利技术属性】
技术研发人员：姜海，唐培新，吕晓明，姜慧，王瑞刚，许凤志，
申请(专利权)人：河北宏靶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13