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本发明公开了一种钛铝钼合金靶材及其制备方法，其制备方法包括：将钛粉、铝粉和钼粉在真空或高纯氩气保护下混合；将混合后的混合粉末通过冷等静压压制，获得钛铝钼合金坯料；将所述钛铝钼合金坯料进行整形处理，使所述钛铝钼合金坯料的形状为预设形状；将整形...
该专利属于河北宏靶科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过河北宏靶科技有限公司授权不得商用。

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