一种用于旋转靶材绑定的加热炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于旋转靶材绑定的加热炉，涉及旋转靶材绑定设备技术领域。其中，一种用于旋转靶材绑定的加热炉，包括位于两端的两个一级炉体、位于两个一级炉体之间的多个二级炉体，所述一级炉体和二级炉体均铰接设置有炉门，所述一级炉体和二级炉体内部均设置有加热体，所述加热体分别位于一级炉体和二级炉体的两侧，位于底部的所述一级炉体上设置有用于固定靶材的治具，所述一级炉体和二级炉体之间、二级炉体和二级炉体之间通过快速锁扣件锁紧固定。本实用新型专利技术具有适用性高、拆装方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于旋转靶材绑定的加热炉
本技术涉及旋转靶材绑定设备
，具体而言，涉及一种用于旋转靶材绑定的加热炉。
技术介绍
靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料、旋转靶材是由背管和靶材本体组成。主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。旋转靶材绑定炉是用于对背管和涂铟之后的靶材本体进行加热，使得铟融化从而使两者焊接在一起。现有的旋转靶材绑定炉是根据每款靶材的长度来定制，由于靶材的规格多化，每次有新规格的靶材都要定制新的绑定炉，使得绑定炉的使用受限，提高了生产成本。鉴于此，本申请专利技术人专利技术了一种用于旋转靶材绑定的加热炉。
技术实现思路
本技术提供了一种用于旋转靶材绑定的加热炉，旨在改善绑定炉长度固定导致使用受限的问题。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案:一种用于旋转靶材绑定的加热炉，包括位于两端的两个一级炉体、位于两个一级炉体之间的多个二级炉体，所述一级炉体和二级炉体均铰接设置有炉门，所述一级炉体和二级炉体内部均设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，包括位于两端的两个一级炉体(1)、位于两个一级炉体(1)之间的多个二级炉体(2)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)均铰接设置有炉门(3)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)内部均设置有加热体(5)，所述加热体(5)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的两侧，位于底部的所述一级炉体(1)上设置有用于固定靶材的治具(6)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)之间、二级炉体(2)和二级炉体(2)之间通过快速锁扣件(7)锁紧固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，包括位于两端的两个一级炉体(1)、位于两个一级炉体(1)之间的多个二级炉体(2)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)均铰接设置有炉门(3)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)内部均设置有加热体(5)，所述加热体(5)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的两侧，位于底部的所述一级炉体(1)上设置有用于固定靶材的治具(6)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)之间、二级炉体(2)和二级炉体(2)之间通过快速锁扣件(7)锁紧固定。


2.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，所述快速锁扣件(7)包括锁钩(71)、锁扣(72)、拉手(73)以及底座(74)，所述锁钩(71)和底座(74)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的外壁上，且分别位于相邻的一级炉体(1)和二级炉体(2)的分界线以及相邻的两个二级炉体(2)交界线的两边，所述拉手(73)与底座(74)靠近锁钩(71)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴友根，
申请(专利权)人：厦门市跃邦自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35