一种用于旋转靶材绑定的加热炉制造技术

本实用新型专利技术提供了一种用于旋转靶材绑定的加热炉，涉及旋转靶材绑定设备技术领域。其中，一种用于旋转靶材绑定的加热炉，包括位于两端的两个一级炉体、位于两个一级炉体之间的多个二级炉体，所述一级炉体和二级炉体均铰接设置有炉门，所述一级炉体和二级炉体内部均设置有加热体，所述加热体分别位于一级炉体和二级炉体的两侧，位于底部的所述一级炉体上设置有用于固定靶材的治具，所述一级炉体和二级炉体之间、二级炉体和二级炉体之间通过快速锁扣件锁紧固定。本实用新型专利技术具有适用性高、拆装方便的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种用于旋转靶材绑定的加热炉
本技术涉及旋转靶材绑定设备
，具体而言，涉及一种用于旋转靶材绑定的加热炉。
技术介绍
靶材是一种具有高附加价值的特种电子材料、旋转靶材是由背管和靶材本体组成。主要使用在微电子、显示器、存储器以及光学镀膜等产业上，市场对靶材溅射薄膜、ITO靶材和巨磁阻薄膜材料的需求量很大。旋转靶材绑定炉是用于对背管和涂铟之后的靶材本体进行加热，使得铟融化从而使两者焊接在一起。现有的旋转靶材绑定炉是根据每款靶材的长度来定制，由于靶材的规格多化，每次有新规格的靶材都要定制新的绑定炉，使得绑定炉的使用受限，提高了生产成本。鉴于此，本申请专利技术人专利技术了一种用于旋转靶材绑定的加热炉。
技术实现思路
本技术提供了一种用于旋转靶材绑定的加热炉，旨在改善绑定炉长度固定导致使用受限的问题。为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案:一种用于旋转靶材绑定的加热炉，包括位于两端的两个一级炉体、位于两个一级炉体之间的多个二级炉体，所述一级炉体和二级炉体均铰接设置有炉门，所述一级炉体和二级炉体内部均设置有加热体，所述加热体分别位于一级炉体和二级炉体的两侧，位于底部的所述一级炉体上设置有用于固定靶材的治具，所述一级炉体和二级炉体之间、二级炉体和二级炉体之间通过快速锁扣件锁紧固定。进一步的，所述快速锁扣件包括锁钩、锁扣、拉手以及底座，所述锁钩和底座分别位于一级炉体和二级炉体的外壁上，且分别位于相邻的一级炉体和二级炉体的分界线以及相邻的两个二级炉体交界线的两边，所述拉手与底座靠近锁钩的一端铰接，所述锁扣通过连接杆与拉手铰接。进一步的，位于相邻的所述一级炉体和二级炉体的分界线以及相邻的两个二级炉体交界处的快速锁扣件为6个，6个所述快速锁扣件均分在一级炉体和二级炉体的三个侧壁。进一步的，位于底部的所述一级炉体的顶部以及二级炉体的顶部开设有凹槽，位于顶部的所述一级炉体的底部以及二级炉体的底部设置有形状与凹槽一致的凸缘。进一步的，位于底部的所述一级炉体的炉门上设置有观察窗。进一步的，所述加热体通过电加热，且为散热片式不锈钢加热管。与现有技术相比，本技术的有益效果是：在绑定时，根据靶材的长度选择对应数量的二级炉体，使得拼接好的加热炉的高度大于靶材的长度，将一级炉体和二级炉体的凸缘卡入与其相邻的凹槽内，通过快速锁扣件将一级炉体和二级炉体快速锁紧固定，将靶材本体和背管套设在治具的周侧，将炉门关闭，对加热体进行通电，从而对加热炉内的靶材本体和背管进行加热，从而使两者焊接在一起，具有高度可根据靶材长度随意调节，适用性高，拆装方便、结构稳定、加热效果好的优点。附图说明为了更清楚地说明本技术实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。图1是本技术的结构示意图；图2是图1中A的放大图；图3是图1中B的放大图。主要元件符号说明1、一级炉体；2、二级炉体；3、炉门；4、观察窗；5、加热体；6、治具；7、快速锁扣件；71、锁钩；72、锁扣；73、拉手；74、底座。具体实施方式为使本技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施方式中的附图，对本技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施方式。基于本技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本技术保护的范围。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。如图1、图2所示，一种用于旋转靶材绑定的加热炉，包括位于两端的两个一级炉体1、位于两个一级炉体1之间的多个二级炉体2。一级炉体1和二级炉体2均呈长方体状，且位于底部的一级炉体1的一侧以及顶端开口，位于顶部的一级炉体1的一侧以及底端开口，二级炉体2的两端以及一侧开口。位于一级炉体1和二级炉体2的开口均侧铰接设置有炉门3，在位于底部的一级炉体1的炉门3上设置有观察窗4，方便观察炉体内旋转靶材。在一级炉体1和二级炉体2内部均设置有加热体5，加热体5分别位于一级炉体1和二级炉体2的两侧，加热体5采用电加热，且为散热片式不锈钢加热管，加热效果好，温度均匀。在位于底部的一级炉体1的底壁上固定有用于固定靶材的治具6，治具6整体呈镂空的圆筒形，且其轴线位于一级炉体1的中部。在一级炉体1和二级炉体2和二级炉体2的交界处、二级炉体2和与其相邻的二级炉体2的交界处设置有多个，快速锁扣件7用于将两者锁紧固定。在位于相邻的一级炉体1和二级炉体2的分界线以及相邻的两个二级炉体2交界处的快速锁扣件7为6个，6个快速锁扣件7均分在一级炉体1和二级炉体2的三个侧壁，使得一级炉体1与二级炉体2的拼接、二级炉体2与二级炉体2的拼接更加牢固，具有结构稳固的优点。炉门3通过快速锁扣件7与一级炉体1或者二级炉体2扣合。在位于底部的一级炉体1的顶部以及二级炉体2的顶部开设有凹槽，位于顶部的一级炉体1的底部以及二级炉体2的底部设置有形状与凹槽一致的凸缘。通过凹槽与凸缘的配合，使得一级炉体1与二级炉体2之间的连接、二级炉体2与二级炉体2之间的连接更加稳定，提高加热炉的稳固性。如图3所示，快速锁扣件7包括锁钩71、锁扣72、拉手73以及底座74，锁钩71和底座74分别位于一级炉体1和二级炉体2的外壁上，且分别位于相邻的一级炉体1和二级炉体2的分界线以及相邻的两个二级炉体2交界线的两边，拉手73与底座74靠近锁钩71的一端铰接，锁扣本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，包括位于两端的两个一级炉体(1)、位于两个一级炉体(1)之间的多个二级炉体(2)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)均铰接设置有炉门(3)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)内部均设置有加热体(5)，所述加热体(5)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的两侧，位于底部的所述一级炉体(1)上设置有用于固定靶材的治具(6)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)之间、二级炉体(2)和二级炉体(2)之间通过快速锁扣件(7)锁紧固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，包括位于两端的两个一级炉体(1)、位于两个一级炉体(1)之间的多个二级炉体(2)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)均铰接设置有炉门(3)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)内部均设置有加热体(5)，所述加热体(5)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的两侧，位于底部的所述一级炉体(1)上设置有用于固定靶材的治具(6)，所述一级炉体(1)和二级炉体(2)之间、二级炉体(2)和二级炉体(2)之间通过快速锁扣件(7)锁紧固定。


2.根据权利要求1所述的一种用于旋转靶材绑定的加热炉，其特征在于，所述快速锁扣件(7)包括锁钩(71)、锁扣(72)、拉手(73)以及底座(74)，所述锁钩(71)和底座(74)分别位于一级炉体(1)和二级炉体(2)的外壁上，且分别位于相邻的一级炉体(1)和二级炉体(2)的分界线以及相邻的两个二级炉体(2)交界线的两边，所述拉手(73)与底座(74)靠近锁钩(71)的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴友根，
申请(专利权)人：厦门市跃邦自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35