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本实用新型涉及一种旋转靶材绑定用抽真空装置，绑定时，背管放置在模具底座的圆形凹槽内，旋转靶材套装在背管外侧并放置在圆形凹槽外的模具底座上，密封盖的圆形端盖放置在背管上，密封盖的凸缘与旋转靶材上端面接触，压杆放置在密封盖上，所述密封环Ⅰ设置于...
该专利属于广西晶联光电材料有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过广西晶联光电材料有限责任公司授权不得商用。

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