热板的冷却方法和加热处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及将用于对基板进行加热处理的热板高效地冷却的热板的冷却方法和加热处理装置。在用于对基板进行加热处理的热板的冷却方法中，所述热板被划分为多个区域，能够通过加热机构针对每个该区域进行温度设定，在从多个制冷剂供给部向所述热板供给冷却介质来对该热板进行冷却时，根据所述区域间的相对的降温速度的差异来进行每个所述制冷剂供给部的冷却介质的流量控制。

【技术实现步骤摘要】
热板的冷却方法和加热处理装置
本公开涉及一种热板的冷却方法和加热处理装置。
技术介绍
专利文献1中公开了一种对基板进行加热处理的加热处理装置。加热处理装置具备用于对基板进行加热处理的加热板和向加热板的背面供给冷却气体来对加热板进行降温的冷却气体供给单元。冷却气体供给单元以使冷却气体从加热板的冷却速度慢的部位向加热板的冷却速度快的部位流动的方式供给冷却气体。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2001-189250号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题本公开所涉及的技术将对基板进行加热处理的热板高效地冷却。用于解决问题的方案本公开的一个方式是一种热板的冷却方法，该热板对基板进行加热处理，在所述热板的冷却方法中，所述热板被划分为多个区域，能够通过加热机构针对每个该区域进行温度设定，在从多个制冷剂供给部向所述热板供给冷却介质来对该热板进行冷却时，根据所述区域间的相对的降温速度的差异，来进行每个所述制冷剂供给部的冷却介质的流量控制。专利技术的效果本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种热板的冷却方法，该热板用于对基板进行加热处理，在所述热板的冷却方法中，/n所述热板被划分为多个区域，能够通过加热机构针对每个所述区域进行温度设定，在从多个制冷剂供给部向所述热板供给冷却介质来对该热板进行冷却时，根据所述区域间的相对的降温速度的差异，来进行每个所述制冷剂供给部的冷却介质的流量控制。/n

【技术特征摘要】
20190109 JP 2019-0015711.一种热板的冷却方法，该热板用于对基板进行加热处理，在所述热板的冷却方法中，
所述热板被划分为多个区域，能够通过加热机构针对每个所述区域进行温度设定，在从多个制冷剂供给部向所述热板供给冷却介质来对该热板进行冷却时，根据所述区域间的相对的降温速度的差异，来进行每个所述制冷剂供给部的冷却介质的流量控制。


2.根据权利要求1所述的热板的冷却方法，其特征在于，
从所述多个制冷剂供给部供给的冷却介质的总流量是固定的，
在所述流量控制中，对所述多个制冷剂供给部的冷却介质的流量平衡进行控制。


3.根据权利要求1所述的热板的冷却方法，其特征在于，
在所述流量控制中，使从所述多个制冷剂供给部供给的冷却介质的总流量随时间而变化。


4.根据权利要求1至3中的任一项所述的热板的冷却方法，其特征在于，
所述多个区域与所述热板呈同心圆状地配置，
在所述流量控制中，控制来自所述制冷剂供给...

【专利技术属性】
技术研发人员：沟部优，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP