温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及将用于对基板进行加热处理的热板高效地冷却的热板的冷却方法和加热处理装置。在用于对基板进行加热处理的热板的冷却方法中，所述热板被划分为多个区域，能够通过加热机构针对每个该区域进行温度设定，在从多个制冷剂供给部向所述热板供给冷却介质来...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。