一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，所述机台视窗的遮挡装置包括判断模块、分析处理模块以及电机驱动模块，所述判断模块用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态，所述分析处理模块用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号，所述电机驱动模块用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。本发明专利技术避免了当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗检查内部组件状态等现象的发生。

【技术实现步骤摘要】
一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备
本专利技术涉及半导体集成电路制造
，特别是涉及一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备。
技术介绍
芯片制造工厂现有非铜制程(如：铝制程)和铜制程，有些机台会有混合运转非铜晶圆传送盒(FOUP)和铜晶圆传送盒的情况，目前厂内为了避免光照对铜制程的影响，对混合运转机台的视窗进行固定覆膜遮挡处理。当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗门检查内部组件的状态，从而判断晶圆的位置是否水平，半导体设备机械手的取向位置是否正确等，会产生非必要的内部连锁反应，增加回线时间，造成产能浪费等现象。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本专利技术的目的在于提供一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，用于解决现有技术中的当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗门检查内部组件的状态，从而判断晶圆的位置是否水平，半导体设备机械手的取向位置是否正确等，会产生非必要的内部连锁反应，增加回线时间，造成产能浪费等现象的问题。为实现上述目的及其他相关目的，本专利技术提供一种机台视窗的遮挡装置，所述机台视窗的遮挡装置包括：判断模块，用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态；分析处理模块，用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号；电机驱动模块，用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。在本专利技术的一实施例中，所述机台视窗的遮挡装置还包括：弹性支撑柱，其安装于机台载台上设定特征点位置的支撑柱孔洞内，所述弹性支撑柱与所述判断模块相连接。在本专利技术的一实施例中，所述判断模块包括：至少一第一感应模块，用于感应弹性支撑柱的位置变化；第一判断模块，用于根据所述弹性支撑柱的位置变化，以确定所述晶圆传送盒的类型；至少一第二感应模块，用于感应所述遮挡部件的位置变化；第二判断模块，用于根据所述遮挡部件的位置变化，以确定所述机台视窗的覆盖状态。在本专利技术的一实施例中，所述第一感应模块安装于弹性支撑柱上。在本专利技术的一实施例中，所述第二感应模块安装于所述机台视窗上，当所述遮挡部件位于所述机台视窗的顶端或底端时，则所述第二感应模块位于所述机台视窗的底端或顶端。在本专利技术的一实施例中，所述晶圆传送盒的类型包括铜晶圆传送盒和非铜晶圆传送盒。在本专利技术的一实施例中，所述遮挡部件的位置变化包括所述遮挡部件由所述机台视窗的顶端移动至底端，以及所述遮挡部件由所述机台视窗的底端移动至顶端。本专利技术还提供一种机台视窗的遮挡方法，所述机台视窗的遮挡方法包括：确定晶圆传送盒的类型；确定所述机台视窗的覆盖状态；根据所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，决定遮挡部件是否运动以及运动的方向。在本专利技术的一实施例中，所述确定晶圆传送盒的类型包括：感应并判断弹性支撑柱的位置变化；当所述弹性支撑柱的位置发生变化，判断所述晶圆传送盒的类型为铜晶圆传送盒；当所述弹性支撑柱的位置未发生变化，判断所述晶圆传送盒的类型为非铜晶圆传送盒。在本专利技术的一实施例中，所述确定所述机台视窗的覆盖状态包括：感应并判断遮挡部件的位置变化；当所述遮挡部件的位置发生变化，判断机台视窗为覆盖状态；当所述遮挡部件的位置未发生变化，判断机台视窗为未覆盖状态。在本专利技术的一实施例中，所述根据所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，决定所述遮挡部件是否运动以及运动的方向包括：当所述晶圆传送盒的类型为铜晶圆传送盒，所述机台视窗处于覆盖状态时，则所述遮挡部件不运动；当所述晶圆传送盒的类型为铜晶圆传送盒，所述机台视窗处于未覆盖状态时，则所述遮挡部件沿着所述机台视窗向上运动；当所述晶圆传送盒的类型为非铜晶圆传送盒，所述机台视窗处于未覆盖状态时，则所述遮挡部件不运动；当所述晶圆传送盒的类型为非铜晶圆传送盒，所述机台视窗处于覆盖状态时，则所述遮挡部件沿着所述机台视窗向下运动。本专利技术还提供一种半导体设备，包括上述的机台视窗的遮挡装置，所述半导体设备包括：机台本体，其内部设置有晶圆传送盒和/或非铜晶圆传送盒；机台视窗，其安装于所述机台本体上，所述机台视窗与遮挡部件连接；遮挡部件，其与电机驱动模块连接；机台载台，其上设定特征点位置的支撑柱孔洞内安装有弹性支撑柱。如上所述，本专利技术的一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，具有以下有益效果：本专利技术的机台视窗的遮挡装置通过感应弹性支撑柱的位置变化，以确定晶圆传送盒的类型；以及通过感应遮挡部件的位置变化，以确定所述机台视窗的覆盖状态，最终带动所述遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。本专利技术避免了当机台混合运转非铜制程出现故障、错位时，需打开视窗检查内部组件状态，造成不必要的内部连锁反应，增加回线时间，造成产能浪费等现象的发生。本专利技术的机台视窗的遮挡装置方便了作业人员随时检查机台的状态，节省了检查作业的时间。而且本专利技术的机台视窗的遮挡装置还可以随时观察机台的运行状态，提前避免了异常现象的发生。本专利技术机台视窗的遮挡方法智能化程度较高，能够自动控制视窗的遮挡，确保在铜制程时，所述机台视窗处于覆盖状态，在非铜制程时，所述机台视窗处于非覆盖状态。附图说明图1为本申请实施例提供的混合运转非铜晶圆传送盒和铜晶圆传送盒的机台的结构图。图2为本申请实施例提供的金属后的非铜晶圆传送盒的结构图。图3为本申请实施例提供的金属前的非铜晶圆传送盒的结构图。图4为本申请实施例提供的铜晶圆传送盒的结构图。图5为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的结构图。图6为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的原理框图。图7为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的分析处理模块的电路原理图。图8为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的第一感应模块的电路原理图。图9为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的第二感应模块的电路原理图。图10为本申请实施例提供的一种机台视窗的遮挡装置的电机驱动模块的电路原理图。图11为本申请一个实施例提供的一种机台视窗的遮挡方法的工作流程图。图12为本申请又一个实施例提供的一种机台视窗的遮挡方法的工作流程图。元件标号说明1弹性支撑柱2第一感应模块3第二感应模块4供电模块5分析处理模块6电机驱动模块7机台本体8把手9非铜晶圆传送盒10铜晶圆传送盒11机台载台12第一特征点13第二特征点14第三特征点15机台视窗的底端16机台视窗的顶端17第一判断模块18第二判断模块S1～S3步骤具体实施方式以下通过本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于，所述机台视窗的遮挡装置包括：/n判断模块，用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态；/n分析处理模块，用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号；/n电机驱动模块，用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于，所述机台视窗的遮挡装置包括：
判断模块，用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态；
分析处理模块，用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视窗的覆盖状态，以输出控制信号；
电机驱动模块，用于接收所述控制信号，以带动遮挡部件沿着所述机台视窗向上或向下运动。


2.根据权利要求1所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于，所述机台视窗的遮挡装置还包括：
弹性支撑柱，其安装于机台载台上设定特征点位置的支撑柱孔洞内，所述弹性支撑柱与所述判断模块相连接。


3.根据权利要求1或2所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于，所述判断模块包括：
至少一第一感应模块，用于感应弹性支撑柱的位置变化；
第一判断模块，用于根据所述弹性支撑柱的位置变化，以确定所述晶圆传送盒的类型；
至少一第二感应模块，用于感应所述遮挡部件的位置变化；
第二判断模块，用于根据所述遮挡部件的位置变化，以确定所述机台视窗的覆盖状态。


4.根据权利要求3所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于：所述第一感应模块安装于弹性支撑柱上。


5.根据权利要求3所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于：所述第二感应模块安装于所述机台视窗上，当所述遮挡部件位于所述机台视窗的顶端或底端时，则所述第二感应模块位于所述机台视窗的底端或顶端。


6.根据权利要求1所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于：所述晶圆传送盒的类型包括铜晶圆传送盒和非铜晶圆传送盒。


7.根据权利要求3所述的一种机台视窗的遮挡装置，其特征在于：所述遮挡部件的位置变化包括所述遮挡部件由所述机台视窗的顶端移动至底端，以及所述遮挡部件由所述机台视窗的底端移动至顶端。


8.一种机台视窗的遮挡方法，其特征在于，所述机台视窗的遮挡方法包括：
确定晶圆传送盒的类...

【专利技术属性】
技术研发人员：殷赛赛，程长青，秦俊明，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路有限公司，
类型：发明
国别省市：安徽;34