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本发明公开一种机台视窗的遮挡装置、方法及半导体设备，所述机台视窗的遮挡装置包括判断模块、分析处理模块以及电机驱动模块，所述判断模块用于确定晶圆传送盒的类型以及确定所述机台视窗的覆盖状态，所述分析处理模块用于接收所述晶圆传送盒的类型以及机台视...
该专利属于合肥晶合集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过合肥晶合集成电路有限公司授权不得商用。

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