一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置制造方法及图纸

本发明专利技术系涉及直拉硅单晶生长炉中热系统的一种快速拆装的装置。一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置，包括下炉筒（１４）及下石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的下保温层（１３），中炉筒（１０）及中石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的中保温层（６），在中炉筒（１０）的下边缘向炉内设置至少三块水平托板（１２），托板（１２）支托一圆环状托盘（１１），托盘（１１）界于下炉筒（１４）内部的下保温层（１３）和中炉筒（１０）内部的中保温层（６）之间。本发明专利技术提供了一种直拉晶体生长炉内热系统快速拆装的装置和方法，改变了国内外现有技术方案，大大提高了单晶炉生产效率和降低了操作者的工作强度，具有很显著的经济效益和突出的技术先进性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及坩埚法生长晶体炉子装置的改进机构，更具体地说是直拉硅 单晶棒生长炉子中热系统安装和拆除的一种拆装装置。
技术介绍
公知，单晶生长的工艺炉的结构为自下而上依次是炉体支架、坩埚轴传 动升降部分、炉底板、下炉筒、中炉筒和炉盖，炉盖上方设置可容纳生长出 晶体的副室，副室上方是晶体提拉和旋转机构，籽晶轴、重锤、籽晶夹头和 籽晶从副室上方中心可一直下降到与石英坩埚内硅熔体接触，通过温度和各 种控制，使硅熔体定向在籽晶下结晶并不断长大，达到晶体生长的目的。热系统是晶体生长炉中核心部件，它主要包括三大部份，安装在炉底两 电极柱上的石墨电阻加热器为硅料熔化和晶体生长提供热量，其二是安装在 加热器中间的石墨坩埚托(用于承放装有固体硅料的石英坩埚)及连接炉底坩 埚轴的连杆和坩埚托盘，其三是提供保温及形成晶体生长所需的各部位、方 向的温度梯度器件。保温器件材料主要分两大类， 一类是内层保温器件需要 材料耐高温、致密、有强度，通常采用高纯石墨、碳碳纤维或表面进行过气 相沉积的梯度保温材料，另一类是在内保温层外面的热导率很低的保温材料， 主要有石墨软毡、固化毡。保温器件的分布有炉底石墨保温底板及本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置，包括下炉筒（１４）及由包括下石墨保温罩、软毡或固化毡组成的下保温层（１３），中炉筒（１０）及由包括中石墨保温罩和软毡或固化毡组成的中保温层（６），其特征在于，在中炉筒（１０）的下边缘向炉内设置至少三块水平托板（１２），托板（１２）支托一圆环状托盘（１１），托盘（１１）界于下炉筒（１４）内部的下保温层（１３）和中炉筒（１０）内部的中保温层（６）之间。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：施承启，胡如权，
申请(专利权)人：上海卡姆丹克太阳能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]