下载一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置的技术资料

文档序号:2476752

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本发明系涉及直拉硅单晶生长炉中热系统的一种快速拆装的装置。一种直拉晶体生长炉热系统的拆装装置,包括下炉筒(14)及下石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的下保温层(13),中炉筒(10)及中石墨保温罩和外面的软毡或固化毡组成的中保温层(6),...
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