一种便于调节的硅片线切割机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片切割设备技术领域，且公开了一种便于调节的硅片线切割机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机身，底座的顶部固定安装有电动推杆，电动推杆的顶部固定安装有工作台，工作台的内部固定安装有支撑架。该便于调节的硅片线切割机，通过旋松T形螺杆使得T形螺杆带着锥形块朝着远离排线轮轴心的方向运动，导致锥形块逐渐脱离与推块的接触，这时弹簧复位并带着推块和限位销朝着远离加工辊的方向运动，直到限位销与加工辊分离，然后就可以通过滑动排线轮在加工辊上的位置来调节相邻两个排线轮之间的距离，导致缠绕在排线轮上切割钢丝之间的距离可跟着调节，具备了切割厚度可调节的优点。

A kind of silicon wire cutting machine with easy adjustment

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节的硅片线切割机
本技术涉及硅片切割设备
，具体为一种便于调节的硅片线切割机。
技术介绍
目前，采用硅片切割方法有内圆切割和自由磨粒的多线切割两种，而固定磨粒线锯实质上是一种用线性刀具替代环型刀具的内圆切割，在这两种切割方法中，前者是传统的硅片加工方法，它的缺点是材料利用率较只有40％～50％，同时，由于结构的限制，这种方法也无法加工直径大于200mm以上的硅片，后者是近年发展起来的一种新型硅片切割技术，它通过一系列钢丝带动碳化硅研磨料进行研磨加工来切割硅片，与前者相比，多线切割具有切割效率高、刀损小、成本低、切片表面质量好、可加工硅碇直径大和每次加工硅片数多等诸多优点。多线切割技术是目前世界上较为先进的硅片加工技术，它的切割原理是通过高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割磨料对半导体等硬脆材料进行摩擦，从而达到切割效果，多线切割机主要由收放线辊、加工辊、导轮系统、张力控制系统、工作台进给系统和砂浆供给系统组成，在加工辊上按切割宽度要求，平行刻有一系列一定深度的沟槽，钢丝缠绕在这些沟槽上，形成一张由多根平行金属丝构成的金属丝网，在加工过程中，沟槽能保证钢丝始终保持平行，不跑偏，加工时，电机带动加工辊，加工辊带动缠绕其上的钢丝，使加工段部位的钢丝作单向或往复运动，现有的硅片线切割机，由于加工辊上的沟槽是固定的，因此只能切割出规定厚度的硅片，如果要加工不同厚度的硅片需要更换加工辊而且需要重新开设沟槽，这样不仅降低了生产效率而且还浪费材料提高了生产成本，故而提出一种便于调节的硅片线切割机来解决上述所提出的问题。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本技术提供了一种便于调节的硅片线切割机，具备切割厚度可调节的优点，解决了现有的硅片线切割机，由于加工辊上的沟槽是固定的，因此只能切割出规定厚度的硅片，如果要加工不同厚度的硅片需要更换加工辊而且需要重新开设沟槽，这样不仅降低了生产效率而且还浪费材料提高了生产成本的问题。(二)技术方案为实现上述切割厚度可调节的目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节的硅片线切割机，包括底座，所述底座的顶部固定安装有机身，底座的顶部固定安装有电动推杆，电动推杆的顶部固定安装有工作台，工作台的内部固定安装有支撑架，工作台的内部连通有一端贯穿并延伸至工作台底部的排污管，机身的前侧活动安装有放线辊和收线辊，机身的前侧固定安装有储液箱，储液箱的前侧固定安装有喷射管，机身的前侧活动安装有数量为两个的导轮，储液箱的前侧活动安装有数量为三个的加工辊，机身的前侧固定安装有电机，电机的输出端与上侧所述加工辊固定连接，加工辊的外侧滑动连接有排线轮，放线辊的外侧固定安装有一端按顺时针方向依次缠绕右侧所述导轮、三个加工辊上的排线轮、左侧所述导轮和收线辊的切割钢丝，切割钢丝与收线辊固定连接，排线轮的内部开设有锁腔，锁腔的内部滑动连接有推块，锁腔的内部固定安装有一端与推块固定连接的弹簧，锁腔的内部活动安装有一端贯穿并延伸至排线轮外部的T形螺杆，T形螺杆位于锁腔内部的一端固定安装有锥形块，锥形块与推块紧密贴合，推块的内部固定安装有一端贯穿并延伸至加工辊内部的限位销。优选的，所述电动推杆的数量为两个，电动推杆呈对称分布，电动推杆位于机身前侧。优选的，所述工作台的内部开设有积液槽，排污管与积液槽的槽内底壁连通，支撑架的数量为两个且呈前后对称分布。优选的，所述放线辊和收线辊大小规格一致，放线辊和收线辊以储液箱为中心呈对称分布，储液箱内填充有碳化硅微粉末和冷却液的混合物，喷射管为波纹软管，喷射管的数量为两个且呈对称分布。优选的，两个所述导轮位于储液箱的下方且呈对称分布，三个加工辊呈等腰三角形分布，三个加工辊位于左右两侧导轮之间，三个加工辊位于储液箱下方，电机位于储液箱下方。优选的，单个所述加工辊上排线轮的数量不少于八个且呈等距离分布，单个排线轮内的锁腔的数量为四个，分成两组一组两个分别位于加工辊的左右两侧，锁腔呈对称分布，排线轮的内部开设有与T形螺杆的螺纹相适配的螺纹孔。优选的，所述推块与锥形块相对的一侧为倾斜面，倾斜角度与锥形块的锥面倾斜角度一致，加工辊的内部开设有与限位销的直径相适配的限位槽，单个加工辊上限位槽的数量不少于五十个，限位槽呈等距离分布，限位槽呈对称分布。有益效果与现有技术相比，本技术提供了一种便于调节的硅片线切割机，具备以下有益效果：该便于调节的硅片线切割机，通过旋松T形螺杆使得T形螺杆带着锥形块朝着远离排线轮轴心的方向运动，导致锥形块逐渐脱离与推块的接触，这时弹簧复位并带着推块和限位销朝着远离加工辊的方向运动，直到限位销与加工辊分离，然后就可以通过滑动排线轮在加工辊上的位置来调节相邻两个排线轮之间的距离，导致缠绕在排线轮上切割钢丝之间的距离可跟着调节，具备了切割厚度可调节的优点。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术相邻两个加工辊与切割钢丝连接图；图3为本技术图2中A处放大图。图中：1底座、2机身、3电动推杆、4工作台、5支撑架、6排污管、7放线辊、8收线辊、9储液箱、10喷射管、11导轮、12加工辊、13电机、14排线轮、15切割钢丝、16锁腔、17推块、18弹簧、19T形螺杆、20锥形块、21限位销。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，一种便于调节的硅片线切割机，包括底座1，底座1的顶部固定安装有机身2，底座1的顶部固定安装有电动推杆3，电动推杆3的数量为两个，电动推杆3呈对称分布，电动推杆3位于机身2前侧，电动推杆3的顶部固定安装有工作台4，工作台4的内部开设有积液槽，排污管6与积液槽的槽内底壁连通，支撑架5的数量为两个且呈前后对称分布，工作台4的内部固定安装有支撑架5，工作台4的内部连通有一端贯穿并延伸至工作台4底部的排污管6，机身2的前侧活动安装有放线辊7和收线辊8，放线辊7和收线辊8大小规格一致，放线辊7和收线辊8以储液箱9为中心呈对称分布，储液箱9内填充有碳化硅微粉末和冷却液的混合物，喷射管10为波纹软管，喷射管10的数量为两个且呈对称分布，机身2的前侧固定安装有储液箱9，储液箱9的前侧固定安装有喷射管10，机身2的前侧活动安装有数量为两个的导轮11，两个导轮11位于储液箱9的下方且呈对称分布，三个加工辊12呈等腰三角形分布，三个加工辊12位于左右两侧导轮11之间，三个加工辊12位于储液箱9下方，电机13位于储液箱9下方，储液箱9的前侧活动安装有数量为三个的加工辊12，机身2的前侧固定安装有电机13，电机13的型号可为42BYG250C-0151，电机13的输出端与上侧加工辊12固定连接，加工辊12本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于调节的硅片线切割机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有机身(2)，底座(1)的顶部固定安装有电动推杆(3)，电动推杆(3)的顶部固定安装有工作台(4)，工作台(4)的内部固定安装有支撑架(5)，工作台(4)的内部连通有一端贯穿并延伸至工作台(4)底部的排污管(6)，机身(2)的前侧活动安装有放线辊(7)和收线辊(8)，机身(2)的前侧固定安装有储液箱(9)，储液箱(9)的前侧固定安装有喷射管(10)，机身(2)的前侧活动安装有数量为两个的导轮(11)，储液箱(9)的前侧活动安装有数量为三个的加工辊(12)，机身(2)的前侧固定安装有电机(13)，电机(13)的输出端与上侧所述加工辊(12)固定连接，加工辊(12)的外侧滑动连接有排线轮(14)，放线辊(7)的外侧固定安装有一端按顺时针方向依次缠绕右侧所述导轮(11)、三个加工辊(12)上的排线轮(14)、左侧所述导轮(11)和收线辊(8)的切割钢丝(15)，切割钢丝(15)与收线辊(8)固定连接，排线轮(14)的内部开设有锁腔(16)，锁腔(16)的内部滑动连接有推块(17)，锁腔(16)的内部固定安装有一端与推块(17)固定连接的弹簧(18)，锁腔(16)的内部活动安装有一端贯穿并延伸至排线轮(14)外部的T形螺杆(19)，T形螺杆(19)位于锁腔(16)内部的一端固定安装有锥形块(20)，锥形块(20)与推块(17)紧密贴合，推块(17)的内部固定安装有一端贯穿并延伸至加工辊(12)内部的限位销(21)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种便于调节的硅片线切割机，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定安装有机身(2)，底座(1)的顶部固定安装有电动推杆(3)，电动推杆(3)的顶部固定安装有工作台(4)，工作台(4)的内部固定安装有支撑架(5)，工作台(4)的内部连通有一端贯穿并延伸至工作台(4)底部的排污管(6)，机身(2)的前侧活动安装有放线辊(7)和收线辊(8)，机身(2)的前侧固定安装有储液箱(9)，储液箱(9)的前侧固定安装有喷射管(10)，机身(2)的前侧活动安装有数量为两个的导轮(11)，储液箱(9)的前侧活动安装有数量为三个的加工辊(12)，机身(2)的前侧固定安装有电机(13)，电机(13)的输出端与上侧所述加工辊(12)固定连接，加工辊(12)的外侧滑动连接有排线轮(14)，放线辊(7)的外侧固定安装有一端按顺时针方向依次缠绕右侧所述导轮(11)、三个加工辊(12)上的排线轮(14)、左侧所述导轮(11)和收线辊(8)的切割钢丝(15)，切割钢丝(15)与收线辊(8)固定连接，排线轮(14)的内部开设有锁腔(16)，锁腔(16)的内部滑动连接有推块(17)，锁腔(16)的内部固定安装有一端与推块(17)固定连接的弹簧(18)，锁腔(16)的内部活动安装有一端贯穿并延伸至排线轮(14)外部的T形螺杆(19)，T形螺杆(19)位于锁腔(16)内部的一端固定安装有锥形块(20)，锥形块(20)与推块(17)紧密贴合，推块(17)的内部固定安装有一端贯穿并延伸至加工辊(12)内部的限位销(21)。


2.根据权利要求1所述的一种便于调节的硅片线切割机，其特征在于：所述电动推杆(3)的数量为两个，电动推杆(3)呈对称分布，电动推杆(3)位于机身(2)前...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨定勇，
申请(专利权)人：扬州晶樱光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32