【技术实现步骤摘要】
一种单晶硅材料雕刻机
本技术是一种单晶硅材料雕刻机，属于雕刻机
技术介绍
雕刻从加工原理上讲是一种钻铣组合加工，雕刻机多种数据输入模式根据需要游刃有余。电脑雕刻机有激光雕刻和机械雕刻两类，这两类都有大功率和小功率之分。因为雕刻机的应用范围非常广泛，因此有必要了解各种雕刻机的最合适的应用范围。小功率的只适合做双色板、建筑模型、小型标牌、三维工艺品等，雕刻玉石、金属等。大功率雕刻机可以做小功率雕刻机的东西。最适合做大型切割、浮雕、雕刻。随着科技发展，出现一种单晶硅材料制成的集成电路板，单晶硅片按其长度分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。长度越大的单晶硅片，所能刻制的集成电路越多，芯片的成本也就越低。以往的雕刻机在雕刻之前固定单晶硅圆片时，由于晶体硬而脆，容易在损坏单晶硅圆片，导致单晶硅圆片导电性变差，传统固定单晶硅圆片方法大多数为夹持固定，此种方法不仅控制不了夹持力度，而且固定时韧性较低，使单晶硅圆片在雕刻时容易出现裂痕，的现在急需一种单晶硅材料雕刻机来解决上述出现的问题。
【技术保护点】
1.一种单晶硅材料雕刻机，包括单晶硅片、雕刻机主体、真空吸附机构以及操作台，其特征在于：所述雕刻机主体下侧安装有操作台，所述操作台上侧放置有单晶硅片，所述操作台内部设置有真空吸附机构；/n所述真空吸附机构包括固定座、调节丝杆、限位板、硅胶圆盘、第一密封阀、压力表、真空罐、第二密封阀、真空泵、吸气管、支撑筒、排气管以及泄压阀，所述操作台上端面安装有固定座，所述单晶硅片下端面中间位置贴合有硅胶圆盘，所述硅胶圆盘下端面安装有支撑筒，所述支撑筒环形侧面前侧连接有排气管，所述排气管环形侧面上侧装配有泄压阀，所述单晶硅片右侧安装有限位板，所述限位板内部右侧连接有调节丝杆，所述支撑筒左端...
【技术特征摘要】
1.一种单晶硅材料雕刻机，包括单晶硅片、雕刻机主体、真空吸附机构以及操作台，其特征在于：所述雕刻机主体下侧安装有操作台，所述操作台上侧放置有单晶硅片，所述操作台内部设置有真空吸附机构；
所述真空吸附机构包括固定座、调节丝杆、限位板、硅胶圆盘、第一密封阀、压力表、真空罐、第二密封阀、真空泵、吸气管、支撑筒、排气管以及泄压阀，所述操作台上端面安装有固定座，所述单晶硅片下端面中间位置贴合有硅胶圆盘，所述硅胶圆盘下端面安装有支撑筒，所述支撑筒环形侧面前侧连接有排气管，所述排气管环形侧面上侧装配有泄压阀，所述单晶硅片右侧安装有限位板，所述限位板内部右侧连接有调节丝杆，所述支撑筒左端面下侧连接有吸气管，所述吸气管环形侧面上侧装配有第一密封阀，所述吸气管左端面安装有真空罐，所述真空罐上端面安装有压力表，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：阮起作，
申请(专利权)人：昆山基仕拿电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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