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本实用新型提供一种单晶硅材料雕刻机,包括固定座、调节丝杆、限位板、硅胶圆盘、第一密封阀、压力表、真空罐、吸气管、支撑筒以及泄压阀,操作台上端面安装有固定座,单晶硅片下端面中间位置贴合有硅胶圆盘,硅胶圆盘下端面安装有支撑筒,排气管环形侧面上侧...该专利属于昆山基仕拿电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山基仕拿电子科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种单晶硅材料雕刻机,包括固定座、调节丝杆、限位板、硅胶圆盘、第一密封阀、压力表、真空罐、吸气管、支撑筒以及泄压阀,操作台上端面安装有固定座,单晶硅片下端面中间位置贴合有硅胶圆盘,硅胶圆盘下端面安装有支撑筒,排气管环形侧面上侧...