【技术实现步骤摘要】
多层式托手以及具备其的搬运机器人
本专利技术涉及能搬运多片板状工件的多层式托手(Hand)以及具备其的搬运机器人。
技术介绍
例如在专利文献1记载了能一次性搬运多片半导体晶片等板状工件的多层式托手。这些文献记载的多层式托手为了能一并搬运间距不同的盒间的工件而构成为能变更托手间间距。专利文献1中另外记载了用于在多层式托手中个别保持搭载于各托手的工件的夹钳机构。该夹钳机构在各托手上具有对夹钳构件始终向前方(夹钳方向)施力的弹簧,并具有用于将各夹钳构件对抗弹簧的作用力地一齐拉回到后方的移动构件。该移动构件通过致动器而在前后方向(夹钳方向和夹钳解除方向)上移动。在不夹钳工件时,移动构件向后方(夹钳解除方向)移动来将各夹钳构件对抗上述作用力地拉回到后方。在夹钳工件时,移动构件向前方移动,而这时,夹钳构件在与工件抵接后,移动构件也仍然向前方移动给定距离,该移动构件相对于各夹钳构件成为在前方分开的状态。这是为了在各托手中在保持工件的状态或变更托手间间距时,避免移动构件和各夹钳构件相互摩擦运动。但在专利文献1记载的结构中,在 ...
【技术保护点】
1.一种多层式托手,具有在上下方向上排列的多个托手,能变更各托手的托手间间距间隔,各托手具有进行工件的夹钳以及夹钳解除的夹钳构件,/n所述多层式托手的特征在于,/n上述夹钳构件,被相对上述各托手以能在前后方向上移动的方式支承,/n上述夹钳构件还具有压缩型弹簧构件,其介于形成于前方侧的固定弹簧支架构件与能在前后方向上相对移动地设于后方侧的移动弹簧支架构件之间来安装,/n上述移动弹簧支架构件在前后方向上被驱动,在后方移动时,相对与上述夹钳构件卡合的移动体的前面,按照能在上下方向上以低阻力相对移动的方式弹性接触。/n
【技术特征摘要】
20181221 JP 2018-2397421.一种多层式托手,具有在上下方向上排列的多个托手,能变更各托手的托手间间距间隔,各托手具有进行工件的夹钳以及夹钳解除的夹钳构件,
所述多层式托手的特征在于,
上述夹钳构件,被相对上述各托手以能在前后方向上移动的方式支承,
上述夹钳构件还具有压缩型弹簧构件,其介于形成于前方侧的固定弹簧支架构件与能在前后方向上相对移动地设于后方侧的移动弹簧支架构件之间来安装,
上述移动弹簧支架构件在前后方向上被驱动,在后方移动时,相对与上述夹钳构件卡合的移动体的前面,按照能在上下方向上以低阻力相对移动的方式弹性接触。
2.根据权利要求1所述的多层式托手,其特征在于,
上述夹钳构件包含在前后方向上延伸的杆、和形成于该杆的前端并在夹钳时按压工件的夹钳体,被设于上述托手的固定器按照上述杆的比上述固定弹簧支...
【专利技术属性】
技术研发人员:笠原公博,福间邦夫,
申请(专利权)人:株式会社达谊恒,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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