一种晶圆盒搬运装置制造方法及图纸

一种晶圆盒搬运装置，X轴运动模块滑动设于Z轴运动模块，搬运机械手滑动设于X轴运动模块；Z轴运动模块包括遮挡防护装置，遮挡防护装置的遮挡带的两端分别与第一端挡板和第二端挡板固定连接，遮挡带覆盖于条形开口上，滑台设于遮挡带上，滑台相对于遮挡带可滑动。上述晶圆盒搬运装置，Z轴运动模块、X轴运动模块、搬运机械手分别实现三个正交方向的直线运动，完成晶圆盒的搬运。Z轴运动模块的遮挡防护装置，通过遮挡带浮动的覆盖在直线运动模块上，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间，可以减小Z轴运动模块长度尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒搬运装置
本专利技术涉及一种自动化物料搬运及存储装置，具体涉及一种应用于半导体工厂的晶圆盒搬运装置。
技术介绍
目前半导体集成电路制造厂自动化程度很高。其中自动化物料搬运系统(AMHS)广泛应用于各工艺处理模块之间晶圆的移动作业。自动化物料搬运系统存在一个临时存储库(stocker)作为半导体生产工序及工序之间半成品的临时存储，如此可以缩短工艺设备流程结束到下一工艺流程设备开始之间的时间差。但由于洁净室空间受限，以及洁净室超高的建造成本，需要临时存储库在受限的空间范围内，拥有与工艺处理流程相匹配的足够多的库位。临时存储库尺寸大小与临时存储库内部的晶圆搬运装置结构尺寸有关。临时存储库尺寸还与库位间距有关，参考图1、图2，搬运机械手厚度会影响库位竖直方向间距d1；搬运机械手回转半径和晶圆盒大小会影响库位水平间距d2。现有一些洁净室临时存储库晶圆盒搬运装置，为保证刚度、增加防护，导致晶圆搬运装置尺寸过大，临时存储库尺寸增加，占用洁净室空间多，洁净室成本增加。
技术实现思路
为解决上述问题，提出一种晶圆盒搬运装置，在保证装置刚性的前提下，Z轴运动模块的遮挡防护装置，不需要预留容纳遮挡防护件的空间，减小了装置尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。一种晶圆盒搬运装置，包括Z轴运动模块、X轴运动模块和搬运机械手，所述X轴运动模块滑动设于所述Z轴运动模块，所述搬运机械手滑动设于所述X轴运动模块；所述Z轴运动模块包括遮挡防护装置，所述遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带和滑台，所述挡板组件包括第一端挡板、第二端挡板、第一侧挡板、第二侧挡板、第一上挡板和第二上挡板，所述第一端挡板、所述第一侧挡板、所述第二端挡板和所述第二侧挡板依次收尾相连，所述第一上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第一侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第二上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第二侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第一上挡板和所述第二上挡板之间设有条形开口，所述遮挡带的两端分别与所述第一端挡板和所述第二端挡板固定连接，所述遮挡带覆盖于所述条形开口上，所述滑台设于所述遮挡带上，所述滑台相对于所述遮挡带可滑动；所述X轴运动模块包括导轨，所述导轨的一端和所述滑台固定连接；所述搬运机械手滑动设于所述导轨上。在一个实施例中，所述滑台的两端均设有导向轮，所述遮挡带和所述导向轮接触。在一个实施例中，所述滑台的两端设有压紧装置，所述遮挡带从所述滑台和所述压紧装置之间穿过。在一个实施例中，所述压紧装置包括压紧支架、摆杆组件和第一弹性件，所述压紧支架的两端分别和所述滑台固定连接，所述摆杆组件的两端分别设于所述压紧支架上，所述第一弹性件设于所述摆杆组件和所述压紧支架之间，所述摆杆组件相对于所述压紧支架可摆动，所述第一弹性件用于限制所述摆杆组件的摆动。在一个实施例中，所述压紧支架包括连接架和设于所述连接架中部的压紧件，所述连接架的两端分别和所述滑台固定连接；所述摆杆组件包括连接杆、连接片和压杆，所述连接杆的一端与所述压紧件的一端转动连接，所述连接杆的另一端与所述压紧件的另一端转动连接，所述压杆和所述连接杆平行设置，所述连接片的一端和所述连接杆固定连接，所述连接片的另一端和所述压杆固定连接；所述第一弹性件为扭转弹簧，所述扭转弹簧套设于所述连接杆上，且所述扭转弹簧的一个扭转臂和所述压杆抵接，所述扭转弹簧的另一个扭转臂和所述压紧件抵接。在一个实施例中，所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置，所述遮挡带的一端通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板或所述第二端挡板上；或所述第一端挡板和所述第二端挡板上均设有张紧装置，所述遮挡带的两端分别通过所述张紧装置固定在所述第一端挡板和所述第二端挡板上。在一个实施例中，所述张紧装置包括张紧支架和压板，所述遮挡带的一端通过压板固定在张紧支架上；所述第一端挡板或所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，或所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉；所述第一端挡板和所述第二端挡板上设有张紧装置时，所述张紧支架与所述第一端挡板之间设有紧定螺钉，所述张紧支架与所述第二端挡板之间设有紧定螺钉。在一个实施例中，所述搬运机械手为SCARA型机械手。在一个实施例中，所述搬运机械手包括基座、大臂、小臂和末端承载，所述基座设于所述导轨上，所述大臂相对于所述基座可转动，所述小臂相对于所述大臂可转动，所述末端承载相对于所述小臂可转动。在一个实施例中，所述基座内设有驱动机构，所述驱动机构驱动所述大臂；所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。所述的大臂212内部设置第一带轮和第二带轮，所述第一带轮固定设置在基座上，所述第二带轮以大臂212为机架驱动所述小臂213，所述小臂213内部设置第三带轮和第四带轮，所述的第三带轮固定设置在大臂212上，所述的第四带轮以小臂213为机架驱动末端承载。上述晶圆盒搬运装置，Z轴运动模块安装于临时存储库。Z轴运动模块、X轴运动模块、搬运机械手分别实现三个正交方向的直线运动，完成晶圆盒的搬运。Z轴运动模块的遮挡防护装置，通过遮挡带浮动的覆盖在直线运动模块上，比刚性防护罩更节省空间，与波纹罩防护相比，不需要预留容纳波纹罩本体的空间，可以减小Z轴运动模块长度尺寸。从而减小临时存储库的整体尺寸，降低洁净室成本。附图说明图1为临时存储库透视结构示意图；图2为临时存储库库位间距的结构示意图；图3为一实施方式的晶圆盒搬运装置的结构示意图；图4为一实施方式的Z轴运动模块的遮挡防护装置示意图；图5为图4所示的遮挡防护装置的滑台的结构示意图；图6为图4所示的遮挡防护装置的局部结构示意图；图7为图4所示的遮挡防护装置的压紧装置的结构示意图；图8为图4所示的遮挡防护装置的张紧装置的结构示意图；图9为图8所示的张紧装置的侧面结构示意图；图10为图3所示的晶圆盒搬运装置的搬运机械手的结构示意图；图11为图10所示的搬运机械手初始位置肩关节、腕关节剖视图；图12为图10所示的搬运机械手的肘部关节输出轮示意图。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清晰，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参考图1，其显示了晶圆盒传输装置20所应用的环境，即临时存储库00。其中，晶圆盒传输装置20设于框架10上，框架10上还设有和晶圆盒F和晶圆盒载入端口30。由于洁净室造价昂贵，临时存储库00空间有限，晶圆盒传输装置20需要在狭小空间内进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，包括Z轴运动模块、X轴运动模块和搬运机械手，所述X轴运动模块滑动设于所述Z轴运动模块，所述搬运机械手滑动设于所述X轴运动模块；/n所述Z轴运动模块包括遮挡防护装置，所述遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带和滑台，所述挡板组件包括第一端挡板、第二端挡板、第一侧挡板、第二侧挡板、第一上挡板和第二上挡板，所述第一端挡板、所述第一侧挡板、所述第二端挡板和所述第二侧挡板依次收尾相连，所述第一上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第一侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第二上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第二侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第一上挡板和所述第二上挡板之间设有条形开口，所述遮挡带的两端分别与所述第一端挡板和所述第二端挡板固定连接，所述遮挡带覆盖于所述条形开口上，所述滑台设于所述遮挡带上，所述滑台相对于所述遮挡带可滑动；/n所述X轴运动模块包括导轨，所述导轨的一端和所述滑台固定连接；/n所述搬运机械手滑动设于所述导轨上。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒搬运装置，其特征在于，包括Z轴运动模块、X轴运动模块和搬运机械手，所述X轴运动模块滑动设于所述Z轴运动模块，所述搬运机械手滑动设于所述X轴运动模块；
所述Z轴运动模块包括遮挡防护装置，所述遮挡防护装置包括挡板组件、遮挡带和滑台，所述挡板组件包括第一端挡板、第二端挡板、第一侧挡板、第二侧挡板、第一上挡板和第二上挡板，所述第一端挡板、所述第一侧挡板、所述第二端挡板和所述第二侧挡板依次收尾相连，所述第一上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第一侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第二上挡板的三条边分别与所述第一端挡板、所述第二侧挡板和所述第二端挡板连接，所述第一上挡板和所述第二上挡板之间设有条形开口，所述遮挡带的两端分别与所述第一端挡板和所述第二端挡板固定连接，所述遮挡带覆盖于所述条形开口上，所述滑台设于所述遮挡带上，所述滑台相对于所述遮挡带可滑动；
所述X轴运动模块包括导轨，所述导轨的一端和所述滑台固定连接；
所述搬运机械手滑动设于所述导轨上。


2.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述滑台的两端均设有导向轮，所述遮挡带和所述导向轮接触。


3.如权利要求1所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述滑台的两端设有压紧装置，所述遮挡带从所述滑台和所述压紧装置之间穿过。


4.如权利要求3所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述压紧装置包括压紧支架、摆杆组件和第一弹性件，所述压紧支架的两端分别和所述滑台固定连接，所述摆杆组件的两端分别设于所述压紧支架上，所述第一弹性件设于所述摆杆组件和所述压紧支架之间，所述摆杆组件相对于所述压紧支架可摆动，所述第一弹性件用于限制所述摆杆组件的摆动。


5.如权利要求4所述的晶圆盒搬运装置，其特征在于，所述压紧支架包括连接架和设于所述连接架中部的压紧件，所述连接架的两端分别和所述滑台固定连接；
所述摆杆组件包括连接杆、连接片和压杆，所述连接杆的一端与所述压紧件的一端转动连接，所述连接杆的另一端与所述压紧件...

【专利技术属性】
技术研发人员：周昊，徐方，边弘晔，赵治国，董吉顺，杨奇峰，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21