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一种晶圆盒搬运装置，X轴运动模块滑动设于Z轴运动模块，搬运机械手滑动设于X轴运动模块；Z轴运动模块包括遮挡防护装置，遮挡防护装置的遮挡带的两端分别与第一端挡板和第二端挡板固定连接，遮挡带覆盖于条形开口上，滑台设于遮挡带上，滑台相对于遮挡带可...
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