基片传输方法、控制模块和基片传输系统技术方案

本发明专利技术提供一种基片传输方法，用于依次传输多个容纳有基片的基片箱，其中，所述基片传输方法包括：以第一传输速度依次将前M个容纳有待处理基片的基片箱从承载架传递至预备区域；以第二传输速度依次将其余容纳有待处理基片的基片箱从所述承载架传递至所述预备区域；以第三传输速度依次将所述预备区域中的第1个容纳有已处理基片的基片箱至第L‑N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架；以第四传输速度依次将所述预备区域中的后N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架。本发明专利技术还提供一种基片传输装置的控制模块和一种基片传输系统。利用所述基片传输方法可以有效提高基片传输的速率。

Substrate transmission method, control module and substrate transmission system

【技术实现步骤摘要】
基片传输方法、控制模块和基片传输系统
本专利技术涉及微电子加工领域，具体地，涉及一种基片传输方法、一种用于基片传输装置的控制模块和一种包括该控制模块的基片传输系统。
技术介绍
在加工微电子产品的过程中，通常需要将基片从一个位置转移至另一个位置。例如，基片在机台内的传输过程如下：基片存储盒进入机台的转存区暂存，利用存储盒机械手将基片从基片存储盒中传输到真空准备区(loadlock)，然后利用基片机械手将基片从基片存储盒内取出，并放置在石英舟上，石英舟上升进入管道中进行工艺，工艺结束后，石英舟降回原位，利用基片机械手将基片从石英舟上传输至基片存储盒内。最后，在利用存储盒机械手将基片存储盒移动至转存区存储。为了提高基片的传输效率，可以提高基片箱机械手的运行速度。但是，实践证明，通过提高所有基片箱机械手的传输速度，整体时间仅仅缩短了19s。因此，如何有效地提高传输效率成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基片传输方法、一种用于基片传输装置的控制模块和一种包括该控制模块的基片传输系统。利用所述基片传输方法传输基片既可以提高基片传输的效率。为了实现上述目的，作为本专利技术的一个方面，提供一种基片传输方法，用于依次传输多个容纳有基片的基片箱，其中，所述基片传输方法包括：以第一传输速度依次将前M个容纳有待处理基片的基片箱从承载架传递至预备区域；以第二传输速度依次将其余容纳有待处理基片的基片箱从所述承载架传递至所述预备区域；其中，在传递过程中，一旦容纳有待处理基片的基片箱被传递至所述预备区域，将所述预备区域中的该容纳有待处理基片的基片箱中的待处理基片传输至石英舟进行处理，并将已处理基片放入所述预备区域中的空基片箱中；以第三传输速度依次将所述预备区域中的第1个容纳有已处理基片的基片箱至第L-N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架；以第四传输速度依次将所述预备区域中的后N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架，其中，所述第一传输速度大于所述第二传输速度；和/或，所述第四传输速度大于所述第三传输速度；M和N均为正整数，且M＜L，N＜L，L为基片箱的总数。优选地，利用基片箱传输模块传输所述基片箱时：所述第一传输速度为所述基片箱传输模块最大传输速度的50％至80％；所述第二传输速度为所述基片箱传输模块最大传输速度的40％至50％；所述第四传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的50％至80％；所述第三传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的40％至50％。优选地，将所述待处理基片传输至所述石英舟进行处理的步骤具体包括：依次进行的多个加速传输子阶段、平稳传输子阶段和多个减速传输子阶段，其中，在所述多个加速传输子阶段中，第一个加速传输子阶段的加速度最小；在所述多个减速传输子阶段中，最后一个减速传输子阶段的加速度最大。优选地，利用基片机械手传输所述基片，在传输所述基片的过程中，检测所述基片在所述基片机械手上的位移，当当前基片在所述基片机械手上的位移超过预设阈值时，降低传输下一片基片时加速传输子阶段的加速度。作为本专利技术的第二个方面，提供一种用于基片传输装置的控制模块，所述基片传输装置包括基片箱传输模块和基片传输模块，所述控制模块用于控制基片传输装置依次传输多个容纳有基片的基片箱，其特征在于，所述控制模块包括基片箱传输控制单元和基片传输控制单元，所述基片箱传输控制单元用于控制所述基片箱传输模块以第一传输速度依次将前M个容纳有待处理基片的基片箱从承载架传递至预备区域、以第二传输速度依次将其余容纳有待处理基片的基片箱从所述承载架传递至所述预备区域、以第三传输速度依次将所述预备区域中的第1个容纳有已处理基片的基片箱至第L-N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架、以第四传输速度依次将所述预备区域中的后N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架；所述基片传输控制单元用于控制基片传输模块将预备区中的容纳有待处理基片的基片箱中的待处理基片传输至石英舟进行处理，并控制所述基片传输模块将已处理基片放入所述预备区域中的空基片箱中；其中，所述第一传输速度大于所述第二传输速度；和/或，所述第四传输速度大于所述第三传输速度；M和N均为正整数，且M＜L，N＜L，L为基片箱的总数。优选地，所述第一传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的50％至80％；所述第二传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的40％至50％；所述第四传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的50％至80％；所述第三传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的40％至50％。优选地，所述基片传输控制单元用于控制所述基片传输模块在传送每片基片时按照依次进行的多个加速传输子阶段、平稳传输子阶段和多个减速传输子阶段进行传输，其中，在所述多个加速传输子阶段中，第一个加速传输子阶段的加速度最小；在所述多个减速传输子阶段中，最后一个减速传输子阶段的加速度最大。优选地，所述基片传输模块包括基片机械手，所述基片传输控制单元用于在接收到当前基片在所述基片机械手上的位移超过预设阈值的触发信号时，控制所述基片传输模块降低传输下一片基片时加速传输子阶段的加速度。作为本专利技术的第三个方面，提供一种基片传输系统，包括基片传输装置和本专利技术所提供的上述控制模块，其中，所述基片传输装置包括基片箱传输模块和基片传输模块。优选地，所述基片传输系统还包括基片检测单元，所述基片检测单元包括反射式光线传感器和触发信号生成单元，所述反射式光线传感器设置在基片传输机械手上，所述触发信号单元用于接收所述反射式光线传感器的读数，且在所述反射式光线传感器的读数发生变化时生成触发信号。在本专利技术所提供的基片传输方法中，传输前M个基片箱的传输速度被提高，确保第一个基片箱的传输速度被提高；和/或传输后N个基片箱的传输速度被提高，确保最后一个基片箱的传输速度被提高。由此可知，利用本专利技术所提供的基片传输方法可以实现整体提高基片传输效率。附图说明附图是用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本专利技术，但并不构成对本专利技术的限制。在附图中：图1是本专利技术所提供的基片传输方法的流程图；图2是将基片箱从承载架上转移至准备区的示意图；图3是将基片从准备区转移至石英舟的示意图；图4是转移基片时，基片传输机械手的动作示意图；图5是传输基片时的一种加速曲线；图6是传输基片时的另一种加速曲线；图7是本专利技术所提供的基片传输模块的示意图。具体实施方式以下结合附图对本专利技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本专利技术，并不用于限制本专利技术。作为本专利技术的一个方面，提供一种基片传输方法，其中，基片传输方法用于依次传输多个容纳有基片的基片箱，如图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基片传输方法，用于依次传输多个容纳有基片的基片箱，其特征在于，所述基片传输方法包括：/n以第一传输速度依次将前M个容纳有待处理基片的基片箱从承载架传递至预备区域；/n以第二传输速度依次将其余容纳有待处理基片的基片箱从所述承载架传递至所述预备区域；/n其中，在传递过程中，一旦容纳有待处理基片的基片箱被传递至所述预备区域，将所述预备区域中的该容纳有待处理基片的基片箱中的待处理基片传输至石英舟进行处理，并将已处理基片放入所述预备区域中的空基片箱中；/n以第三传输速度依次将所述预备区域中的第1个容纳有已处理基片的基片箱至第L-N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架；/n以第四传输速度依次将所述预备区域中的后N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架，其中，/n所述第一传输速度大于所述第二传输速度；和/或，所述第四传输速度大于所述第三传输速度；M和N均为正整数，且M＜L，N＜L，L为基片箱的总数。/n

【技术特征摘要】
1.一种基片传输方法，用于依次传输多个容纳有基片的基片箱，其特征在于，所述基片传输方法包括：
以第一传输速度依次将前M个容纳有待处理基片的基片箱从承载架传递至预备区域；
以第二传输速度依次将其余容纳有待处理基片的基片箱从所述承载架传递至所述预备区域；
其中，在传递过程中，一旦容纳有待处理基片的基片箱被传递至所述预备区域，将所述预备区域中的该容纳有待处理基片的基片箱中的待处理基片传输至石英舟进行处理，并将已处理基片放入所述预备区域中的空基片箱中；
以第三传输速度依次将所述预备区域中的第1个容纳有已处理基片的基片箱至第L-N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架；
以第四传输速度依次将所述预备区域中的后N个容纳有已处理基片的基片箱传送至所述承载架，其中，
所述第一传输速度大于所述第二传输速度；和/或，所述第四传输速度大于所述第三传输速度；M和N均为正整数，且M＜L，N＜L，L为基片箱的总数。


2.根据权利要求1所述的基片传输方法，其特征在于，利用基片箱传输模块传输所述基片箱时：
所述第一传输速度为所述基片箱传输模块最大传输速度的50％至80％；所述第二传输速度为所述基片箱传输模块最大传输速度的40％至50％；所述第四传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的50％至80％；所述第三传输速度为所述基片箱传输模块的最大传输速度的40％至50％。


3.根据权利要求1或2所述的基片传输方法，其特征在于，将所述待处理基片传输至所述石英舟进行处理的步骤具体包括：依次进行的多个加速传输子阶段、平稳传输子阶段和多个减速传输子阶段，其中，
在所述多个加速传输子阶段中，第一个加速传输子阶段的加速度最小；
在所述多个减速传输子阶段中，最后一个减速传输子阶段的加速度最大。


4.根据权利要求3所述的基片传输方法，其特征在于，利用基片机械手传输所述基片，在传输所述基片的过程中，检测所述基片在所述基片机械手上的位移，当当前基片在所述基片机械手上的位移超过预设阈值时，降低传输下一片基片时加速传输子阶段的加速度。


5.一种用于基片传输装置的控制模块，所述基片传输装置包括基片箱传输模块和基片传输模块，所述控制模块用于控制基片传输装置依次传输多个容纳有基片的基片箱，其特征在于，所述控制模块包括基片箱传输控制单元和基片传输控制单元，
所述基片箱传输控制单元用于控制所述基片箱传输模块以第一传输速度依次将前M个容纳...

【专利技术属性】
技术研发人员：王凯，张云鹏，慕晓航，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11