一种靶材箱制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材箱，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点呈扇形翻转。本实用新型专利技术在常规的靶材箱上加以改进，设置了翻转装置，在吊装靶材的同时实现了靶材的竖直翻转，省去了将靶材吊装到转移车上，再在转移车上将靶材竖直吊装的过程，节省了吊装时间和人力物力，也降低了吊装过程对靶材的损伤风险。

A target box

【技术实现步骤摘要】
一种靶材箱
本技术属于靶材运输
，涉及一种靶材箱，尤其涉及一种便于旋转靶材吊装的靶材箱。
技术介绍
为防止靶材在运输或者储藏的过程中发生变形或损坏，需要在运输过程中将靶材置于靶材箱中短暂存放。LCD旋转靶材用于美国AKT溅射镀膜机台，靶材在箱子内部存放时处于平躺状态，而靶材在安装设备上使用时处于竖直状态，因此需要将靶材吊装成竖直状态安装到机台上。但当前的旋转靶材箱只能实现平行吊装，因此当靶材安装于机台前，需要先将靶材平行吊起放置于靶材转移车上面，再从靶材转移车上面竖直吊起安装于设备上。缺点是需要两次吊装增加靶材上机安装时间，同时靶材吊装过程中会增加风险发生的概率。CN209023478U公开了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。CN206842003U公开了一种铝木靶材箱，包括底框和盖在底框上的上盖以及安装在底框内用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点翻转；/n所述的翻转装置包括铰接的翻转基座和翻转件，所述的翻转基座固定于箱体底面，所述的翻转件用于固定靶材一端并带动靶材绕铰接点翻转；所述的翻转件为卡箍。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点翻转；
所述的翻转装置包括铰接的翻转基座和翻转件，所述的翻转基座固定于箱体底面，所述的翻转件用于固定靶材一端并带动靶材绕铰接点翻转；所述的翻转件为卡箍。


2.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述的箱体为敞口的长方体结构，敞口处设置有箱盖；
所述的箱盖与箱体盖合后形成用于存放靶材的容置腔室。


3.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述的箱体内部还设置有至少一个靶材基座，所述的靶材基座用于承托靶材；
所述的靶材为LCD旋转靶材。


4.根据权利要求3所述的靶材箱，其特征在于，沿靶材长度方向纵向并排布置至少两个靶材基座。


5.根据权利要求4所述的靶材箱，其特征在于，所述的靶材基座上还设置有与所述翻转...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，呼雷，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33