一种靶材箱制造技术

本实用新型专利技术提供了一种靶材箱，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点呈扇形翻转。本实用新型专利技术在常规的靶材箱上加以改进，设置了翻转装置，在吊装靶材的同时实现了靶材的竖直翻转，省去了将靶材吊装到转移车上，再在转移车上将靶材竖直吊装的过程，节省了吊装时间和人力物力，也降低了吊装过程对靶材的损伤风险。

A target box

【技术实现步骤摘要】
一种靶材箱
本技术属于靶材运输
，涉及一种靶材箱，尤其涉及一种便于旋转靶材吊装的靶材箱。
技术介绍
为防止靶材在运输或者储藏的过程中发生变形或损坏，需要在运输过程中将靶材置于靶材箱中短暂存放。LCD旋转靶材用于美国AKT溅射镀膜机台，靶材在箱子内部存放时处于平躺状态，而靶材在安装设备上使用时处于竖直状态，因此需要将靶材吊装成竖直状态安装到机台上。但当前的旋转靶材箱只能实现平行吊装，因此当靶材安装于机台前，需要先将靶材平行吊起放置于靶材转移车上面，再从靶材转移车上面竖直吊起安装于设备上。缺点是需要两次吊装增加靶材上机安装时间，同时靶材吊装过程中会增加风险发生的概率。CN209023478U公开了一种靶材箱，该靶材箱包括箱体和箱盖，所述箱体与所述箱盖可密封连接以形成收容靶材的收容空间；所述箱体或所述箱盖开设有第一气孔，所述第一气孔用于与真空泵连接，以对所述靶材箱进行抽真空，或者，所述第一气孔用于向处于预设真空度的所述靶材箱内通入惰性气体。CN206842003U公开了一种铝木靶材箱，包括底框和盖在底框上的上盖以及安装在底框内用于支撑靶材的支撑组件，底框包括底板和横向固定连接在底板下表面上的至少两列脚托组件，底板的四周外侧壁与上盖的四周外侧壁之间连接有至少四个锁紧扣环，上盖由左盖板和右盖板拼接而成，左盖板和右盖板均由左侧板、右侧板和端板以及上盖板围成具有一缺口的盖板。CN208326019U公开了一种轮子圆筒靶材箱，包括底板、安装设置在底板上的用于支撑靶材的支撑组件以及盖在支撑组件上方的盖板组件，所述的底板下表面上安装有至少两排轮子组和至少一个液压支撑座。根据掌握的现有技术，尚未存在可实现原位翻转的靶材箱，因此在吊装过程中需要先将旋转靶材水平吊装到转移车上，再在转移车上将旋转靶材翻转成竖直状态，如此一来不仅需要两次吊装调整靶材位置，延长装配时间，更重要的是在吊装过程中极易发生靶材损坏，从而影响溅射，因此，亟需设计一款新型的用于存放旋转靶材的靶材箱，以实现靶材的原位翻转。
技术实现思路
针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种靶材箱，通过设置翻转装置，在吊装靶材的同时实现了靶材的竖直翻转，节省了吊装时间和人力物力，也降低了吊装过程对靶材的损伤风险。为达此目的，本技术采用以下技术方案：本技术提供了一种靶材箱，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点翻转。本技术在常规的靶材箱上加以改进，设置了翻转装置，在吊装靶材的同时实现了靶材的竖直翻转，省去了将靶材吊装到转移车上，再在转移车上将靶材竖直吊装的过程，节省了吊装时间和人力物力，也降低了吊装过程对靶材的损伤风险。作为本技术一种优选的技术方案，所述的翻转装置包括铰接的翻转基座和翻转件，所述的翻转基座固定于箱体底面，所述的翻转件用于固定靶材一端并带动靶材绕铰接点翻转。本技术将现有靶材箱中的某一组靶材基座替换为翻转装置，吊装设备将靶材一端吊起的同时，由于翻转件与靶材固定，导致靶材径向方向的位移受阻，整根靶材在翻转件的限位作用下只能绕铰接点呈扇形翻转，翻转到竖直状态时，吊装设备向上抬高靶材，靶材脱离翻转件，随后将靶材竖直吊装至机台上。作为本技术一种优选的技术方案，所述的翻转件为卡箍。本技术对翻转件的形状结构并未加以特殊要求，其所能实现的基本功能是：(1)固定靶材，使得靶材在一端吊起的过程中，可以绕铰接点呈扇形翻转；(2)在靶材翻转至竖直状态时，可以与靶材脱离。符合上述要求的任意结构的翻转件均可用于本技术中，示例性地，基于实用性和经济性的角度，本技术提供了一种满足实际生产需求的翻转件，所述的翻转件可选为卡箍，卡箍优选为可拆卸式的合拢型卡箍，卡箍径向两侧设置翻转基座，卡箍与两侧的翻转基座铰接。卡箍一方面在存放过程中承担了靶材基座的功能，防止靶材在运输过程中由于颠簸导致磕损；另一方面在吊装过程中也起到了上述翻转件的基本功能。作为本技术一种优选的技术方案，所述的箱体为敞口的长方体结构，敞口处设置有箱盖。所述箱体的形状因靶材尺寸形状而定，本技术对此不作具体限定和特殊要求，自然也不限于长方体。基于此，本领域的技术人员需要了解的是，对箱体进行常规的变形改体或基础结构的简单替换后，所得到的靶材箱同样落入本技术的公开范围和保护范围之内。所述的箱盖与箱体盖合后形成用于存放靶材的容置腔室。内部形成的容置腔室的大小同样根据不同靶材的尺寸和体积而定。作为本技术一种优选的技术方案，所述箱体内部还设置有至少一个靶材基座，所述的靶材基座用于承托靶材。靶材基座为现有靶材箱的基础结构，主要用于稳固靶材，防止靶材在运输过程中由于颠簸导致磕损，因此，其形状和尺寸与待存放的靶材相匹配；个数因靶材的长度而定，靶材过长，个数相应增多；其材质多采用业内常用的硬质海绵，但也不限于此。本技术对靶材基座的形状、结构、尺寸、数量和材质等均不做特殊要求，可以稳固靶材不致滚落即可。所述的靶材为LCD旋转靶材。本申请提供的靶材箱主要用于存放旋转靶材，这是由于圆形靶材不存在竖直吊装的问题，但也需要说明的是，本技术提供的靶材箱不限于存放旋转靶材。作为本技术一种优选的技术方案，沿靶材长度方向纵向并排布置至少两个靶材基座。各靶材基座位于所述翻转支架的同一侧用于承托靶材待起吊的一端。一个靶材基座位于箱体的一侧，用于承载靶材待起吊的一端；另一个靶材基座可设置于箱体中部，用于承载靶材中段。若靶材较短，也可以只在靶材待起吊一端设置靶材基座，本领域技术人员可以根据存放靶材的长度、箱体大小等实际情况适当调整。作为本技术一种优选的技术方案，所述的靶材基座上还设置有与所述的翻转装置数量相同且位置对应的弧形通槽，所述弧形通槽与靶材的断面弧度相匹配。靶材待起吊的一端嵌置于弧形通槽上，另一端与翻转件固定。本技术对弧形通槽的结构尺寸不作特殊要求和具体限定，一切的结构尺寸以可以稳固存放靶材为准。本技术限定了弧形通槽的数量与翻转装置的数量相同，究其根本主要基于待存放的靶材数量。较为稳妥的靶材存放数量是两个，即在一个靶材箱内横向并排存放两根靶材，基于此，弧形通槽也应与靶材数量及存放位置相匹配。示例性地，本技术提供了一种具体的相对位置关系，箱体内部沿存放靶材的长度方向并排设置了两个靶材基座，承托靶材待起吊一端的靶材基座记为第一基座，承托靶材中段的靶材基座记为第二基座，靶材另一端则与相应的翻转装置固定。第一基座表面轴向开设有两个用于嵌置靶材待起吊一端的第一弧形通槽，相邻两个第一弧形通槽并排设置，第二基座表面轴向开设有两个用于嵌置靶材中段的第二弧形通槽，相邻两个第二弧形通槽并排设置，第一弧形通槽、第二弧形通槽以及位置对应的翻转装置在同一轴线上。需要特别强调的是，上述有关靶材基座相对位置关系的示例性描述旨在帮助本领域技术人员更好地了解本技术提供的靶材箱的整体结构，不作为对靶材基本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点翻转；/n所述的翻转装置包括铰接的翻转基座和翻转件，所述的翻转基座固定于箱体底面，所述的翻转件用于固定靶材一端并带动靶材绕铰接点翻转；所述的翻转件为卡箍。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材箱，其特征在于，所述的靶材箱包括箱体，所述的箱体内部设置至少一个翻转装置，所述的翻转装置用于固定靶材一端并带动靶材绕固定点翻转；
所述的翻转装置包括铰接的翻转基座和翻转件，所述的翻转基座固定于箱体底面，所述的翻转件用于固定靶材一端并带动靶材绕铰接点翻转；所述的翻转件为卡箍。


2.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述的箱体为敞口的长方体结构，敞口处设置有箱盖；
所述的箱盖与箱体盖合后形成用于存放靶材的容置腔室。


3.根据权利要求1所述的靶材箱，其特征在于，所述的箱体内部还设置有至少一个靶材基座，所述的靶材基座用于承托靶材；
所述的靶材为LCD旋转靶材。


4.根据权利要求3所述的靶材箱，其特征在于，沿靶材长度方向纵向并排布置至少两个靶材基座。


5.根据权利要求4所述的靶材箱，其特征在于，所述的靶材基座上还设置有与所述翻转...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，王学泽，呼雷，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33