【技术实现步骤摘要】
用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构
本技术涉及了一种化学制备的石英舟结构，尤其是涉及一种用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构。
技术介绍
碳纳米管是一种由碳原子组成的直径为纳米量级的碳管，在碳纳米管石墨层中央部份都是六元环,而在末端或转折部份则有五元环或七元环。碳纳米管是在1991年由Iijima在电弧放电的产物中首次发现的,发表在1991年出版的Nature354,56。碳纳米管的特殊结构决定了其具有优良的综合力学性能，如高弹性模量、高杨氏模量和低密度，以及优异的电学性能、热学性能和吸附性能。随着碳纳米管的长度、直径和螺旋方式的变化，碳纳米管可呈现出金属性或半导体性质。由于碳纳米管的优异特性,因此可望其在纳米电子学、材料科学、生物学、化学等领域中发挥重要作用。目前制备碳纳米管的方法主要有电弧放电法、脉冲激光蒸发法及化学气相沉积法几种。化学气相沉积作为一种常用的方法，在基底双面同时生长碳纳米管阵列时，上下表面的碳管形貌通常相差较大。这是由于常用的石英舟无法使基底上下表面处在相同的生长环境下，导致上下表面的碳管生长不一致。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中存在的问题，主要解决在使用化学气相沉积双面生长碳纳米管阵列时基底上下表面的碳管形貌不一致的问题，本技术提出了一种特殊的石英舟结构，提供了基底片在化学气相沉积中相同的生长环境，有效解决了碳纳米管阵列上下表面形貌不一致的问题，能够用于在化学气相沉积装置中双面生长碳纳米管阵列。本技术采用的技术方案如下：所...
【技术保护点】
1.一种用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构，其特征在于：所述的石英舟结构包括石英舟主体(1)和在石英舟主体(1)表面的多个卡槽(2)，卡槽中用来放置生长碳纳米管阵列的基底；卡槽为布置于石英舟主体(1)上表面的截面为U形的条形槽，条形槽的两端非封闭，多个卡槽相平行间隔布置且位于石英舟主体(1)上表面的中部；/n所述的石英舟主体(1)为上端开口的方形壳体结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积装置中生长碳纳米管阵列的石英舟结构，其特征在于：所述的石英舟结构包括石英舟主体(1)和在石英舟主体(1)表面的多个卡槽(2)，卡槽中用来放置生长碳纳米管阵列的基底；卡槽为布置于石英舟主体(1)上表面的截面为U形的条形槽，条形槽的两端非封闭，多个卡槽相平行间隔布置且位于石英舟主体(1)上表面的中部；
所述的石英舟主体(1)为上端开口的方形壳体结构。
2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积装置中生长碳纳...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪小知，张亮，沈龙，胡海洋，
申请(专利权)人：杭州英希捷科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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