一种MO源瓶支架装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种MO源瓶支架装置，包括支架框，支架框上设置有竖直截面形状为“L”字形的MO源瓶支撑座。该MO源瓶支架装置的结构简单，放置方便，采用奥氏体不锈钢结构，随MO源瓶浸泡水中，不需要取出，不易生锈，精致小巧，可放置于水浴槽中间，将新装的MO源瓶紧贴着MO源瓶支撑座的垂直面安装，即可保证MO源瓶垂直不易倾斜，大大改善了MO源瓶倾斜与偏离的问题。

A support device for Mo source bottle

【技术实现步骤摘要】
一种MO源瓶支架装置
本技术涉及一种MO源瓶支架装置。
技术介绍
MOCVD机台的MO源瓶需要放置于水浴槽中，来控制外延生长的不同温度条件，实际安装MO源瓶时，距离水浴槽底部存在一定的间隙，导致有的MO源瓶倾斜或者偏离。倾斜或者偏离较大的MO源瓶的两端进出开关，其中一个就存在卡在水浴槽的边缘，不便于旋转MO源的开关，造成了外延生长的不便。另外，MO源瓶倾斜，就不太好判断水浴槽的水位是否适合维持MO源整体温度的稳定。
技术实现思路
鉴于现有技术的不足，本技术所要解决的技术问题是提供一种MO源瓶支架装置，不仅结构简单，而且便捷高效。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案是：一种MO源瓶支架装置，包括支架框，支架框上设置有竖直截面形状为“L”字形的MO源瓶支撑座。优选的，MO源瓶支撑座包括水平的MO源瓶底座，MO源瓶底座旁垂直固设有MO源瓶对位块。优选的，支架框中间有2根支架圆杆，支架圆杆中间固定着MO源瓶底座。优选的，支架框、支架圆杆、MO源瓶底座以及MO源瓶对位块均由奥氏体不锈钢加工而成。优本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种MO源瓶支架装置，其特征在于：包括支架框，支架框上设置有竖直截面形状为“L”字形的MO源瓶支撑座。/n

【技术特征摘要】
1.一种MO源瓶支架装置，其特征在于：包括支架框，支架框上设置有竖直截面形状为“L”字形的MO源瓶支撑座。


2.根据权利要求1所述的MO源瓶支架装置，其特征在于：MO源瓶支撑座包括水平的MO源瓶底座，MO源瓶底座旁垂直固设有MO源瓶对位块。


3.根据权利要求2所述的MO源瓶支架装置，其特征在于：支架框中间有2根支架圆杆，支架圆杆中间固定着MO源瓶底座。


4.根据权利要求2所述的MO源瓶支架装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：施文贞，
申请(专利权)人：福州中科光芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35