源瓶制造技术

本发明专利技术公开了一种源瓶，包括瓶体、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体温度的测温元件和设置在所述瓶体上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体相连，所述进气组件用于向所述瓶体输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体内的反应源。本发明专利技术实施例通过循环组件，一方面增加了反应源的流动，提高了所述反应源的温度均匀性，增加气体蒸发量，也使得测温元件能够准确地反馈瓶体的温度，并减少温度反馈时间；另一方面增加了加热元件与源瓶的接触面积，提高了反应源的热交换效率，保证了反应源供气的稳定性。

Source bottle

【技术实现步骤摘要】
源瓶
本专利技术涉及化学气相沉积
，特别是指一种源瓶。
技术介绍
化学气相沉积(CVD)是一种薄膜沉积方式，参与反应的反应源一般置于源瓶中。一般来说，源瓶包括进气管路、进气阀、源瓶瓶体、出气管路和出气阀等，源瓶瓶体内放置有反应源，用于蒸发出反应气体，使得反应气体参与工艺反应。因此，源瓶外侧通常采用加热部件进行加热和热电偶反馈温度的方式来保证瓶内的反应源蒸发出足够的反应气体，使其参与反应，从而保证工艺稳定。但是，现有的源瓶主要存在以下技术问题：温度反馈周期长，温度波动性大；加热部件与源瓶接触面积小，导致换热面积较小。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提出一种源瓶，以解决温度反馈周期长、温度波动性大以及换热面积小的技术问题。本专利技术实施例提供了一种源瓶，包括瓶体、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体温度的测温元件和设置在所述瓶体上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体相连，所述进气组件用于向所述瓶体输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体内的反应源。在本专利技术的一些实施例中，所述瓶体的中上部设置有入口管路，所述瓶体的底部设置有出口管路；所述循环组件包括入口循环管路、出口循环管路以及连接在所述入口循环管路与出口循环管路之间的循环泵，所述入口循环管路与所述入口管路连通，所述出口循环管路与所述出口管路连通。在本专利技术的一些实施例中，所述入口管路高于出口管路，并且所述瓶体内的反应源的液面高于所述入口管路。在本专利技术的一些实施例中，所述循环组件还包括设置在所述入口循环管路和所述出口循环管路外壁的第二加热元件。在本专利技术的一些实施例中，所述第二加热元件为加热带，所述加热带缠绕在所述入口循环管路和所述出口循环管路的外壁。在本专利技术的一些实施例中，所述循环组件还包括缠绕在所述第二加热元件外部的保温层。在本专利技术的一些实施例中，所述进气组件包括进气管路和连接在所述进气管路上的进气阀，所述进气管路伸入至所述瓶体内的底部附近；所述出气组件包括出气管路(和连接在所述出气管路上的出气阀，所述出气管路伸入至所述瓶体内的顶部附近。在本专利技术的一些实施例中，所述第一加热元件包括分别缠绕在所述瓶体外壁的底部、侧壁和顶部的底部加热带、侧部加热带和顶部加热带。在本专利技术的一些实施例中，所述测温元件的数量为多个，分别设置在所述瓶体的底部和侧壁。在本专利技术的一些实施例中，所述多个测温元件包括至少一个第一热电偶和至少一个第二热电偶，所述至少一个第一热电偶设置在所述瓶体的底部，所述至少一个第二热电偶设置在所述瓶体的侧壁。对于相同体积的反应源，本专利技术实施例通过循环组件，一方面增加了反应源的流动，提高了所述反应源的温度均匀性，增加气体蒸发量，也使得测温元件能够准确地反馈瓶体的温度，并减少温度反馈时间；另一方面增加了加热元件与源瓶的接触面积，提高了反应源的热交换效率，保证了反应源供气的稳定性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例的源瓶的结构示意图。具体实施方式为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，本专利技术的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本专利技术的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。应当注意，图1所示的源瓶的结构示意图只是示例性的，而非限制性的。本专利技术的至少一个实施例提供了一种源瓶，该源瓶的结构示意图如图1所示，所述源瓶包括瓶体3、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体3温度的测温元件和设置在所述瓶体3上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体3相连，所述进气组件用于向所述瓶体3输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体3内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体3内的反应源12。在该实施例中，所述瓶体3内装有反应源12，反应源12的液面上有反应源12蒸发出的反应气体11。由于反应源12的饱和蒸气压不够大，导致反应气体通过出气组件输出的动力不足，因此，需要所述进气组件向所述瓶体3内的反应源12输入载气(例如惰性气体)，以提高充分的动力，使得反应气体11随着载气一起通过出气组件输出，从而参与工艺反应。所述瓶体3的外侧一般要加热来保证所述反应源12蒸发出足够的反应气体参与反应，以保证工艺稳定。在本专利技术的实施例中，所述第一加热元件可以对所述瓶体3进行加热，从而提高所述瓶体3内的反应源12的温度，使得反应源12不断地蒸发出反应气体11。而且，所述测温元件实时测量所述瓶体3的温度，从而根据所述测温元件测得的温度，控制是否对所述瓶体3进行加热。因此，通过所述第一加热元件和测温元件可以实现对所述反应源12的加热和温度控制。所述循环组件可以对所述瓶体3内的反应源12进行循环回流，增加了反应源12的流动，提高了所述反应源12的温度均匀性，使得测温元件能够准确地反馈瓶体3的温度，并减少温度反馈时间。需要指出的是，所述瓶体3内的反应源12的液面高度应当高于所述循环组件，以使所述循环组件能够实现对所述反应源2的循环回流。在本专利技术的另一个实施例中，所述瓶体3的中上部设置有入口管路101，所述瓶体3的底部设置有出口管路106；所述循环组件包括入口循环管路102、出口循环管路104以及连接在所述入口循环管路102与出口循环管路104之间的循环泵103，并且，所述入口循环管路102与所述入口管路101连通，所述出口循环管路104与所述出口管路106连通。因此，当所述循环泵103开启时，瓶体3内的反应源通过出口管路106流出所述瓶体3，并依次经过出口循环管路104、循环泵103和入口循环管路102后，通过入口管路101流入所述瓶体3，从而实现循环回流，增加反应源12的流动性。可选地，所述入口管路101高于出口管路106，并且所述瓶体3内的反应源12的液面高于所述入口管路101，以实现对所述反应源由下至本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种源瓶，其特征在于，包括瓶体(3)、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体(3)温度的测温元件和设置在所述瓶体(3)上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体(3)相连，所述进气组件用于向所述瓶体(3)输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体(3)内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体(3)内的反应源(12)。/n

【技术特征摘要】
1.一种源瓶，其特征在于，包括瓶体(3)、进气组件、出气组件、循环组件、用于测量所述瓶体(3)温度的测温元件和设置在所述瓶体(3)上的第一加热元件，所述进气组件、出气组件、循环组件分别与所述瓶体(3)相连，所述进气组件用于向所述瓶体(3)输入载气，所述出气组件用于输出所述瓶体(3)内的气体，所述循环组件用于循环回流所述瓶体(3)内的反应源(12)。


2.根据权利要求1所述的源瓶，其特征在于，所述瓶体(3)的中上部设置有入口管路(101)，所述瓶体(3)的底部设置有出口管路(106)；
所述循环组件包括入口循环管路(102)、出口循环管路(104)以及连接在所述入口循环管路(102)与出口循环管路(104)之间的循环泵(103)，所述入口循环管路(102)与所述入口管路(101)连通，所述出口循环管路(104)与所述出口管路(106)连通。


3.根据权利要求2所述的源瓶，其特征在于，所述入口管路(101)高于出口管路(106)，并且所述瓶体(3)内的反应源(12)的液面高于所述入口管路(101)。


4.根据权利要求2所述的源瓶，其特征在于，所述循环组件还包括设置在所述入口循环管路(102)和所述出口循环管路(104)外壁的第二加热元件(105)。


5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：张军，
申请(专利权)人：君泰创新北京科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11