转移装置以及微元件的转移方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及微元件处理技术领域，公开了一种转移装置以及微元件的转移方法。该转移装置包括转移基板；转移手臂，转移手臂位于转移基板上，转移手臂具有第一、第二两种状态，第一状态下的转移手臂形成夹持微元件的状态，第二状态下的转移手臂形成预夹持或释放微元件的状态。通过上述方式，本发明专利技术能够提高微元件的转移效率。

Transfer device and transfer method of micro element

【技术实现步骤摘要】
转移装置以及微元件的转移方法
本专利技术涉及微元件处理
，特别是涉及一种转移装置以及微元件的转移方法。
技术介绍
发光二极管(LightEmittingDiode，LED)是一种光电半导体元件，其具有低功耗、尺寸小亮度高、易与集成电路匹配、可靠性高等优点，作为光源被广泛应用。并且，随着LED技术的成熟，直接利用LED作为自发光显示点像素的LED显示器或MicroLED(微型发光二极管)显示器的技术也逐渐被广泛应用。其中，MicroLED显示屏综合了TFT-LCD和LED显示屏的技术特点，其显示原理是将LED结构设计进行薄膜化、微小化、阵列化，之后将MicroLED从最初的生长衬底上转移到目标基板上，目前MicroLED技术发展的难点之一就在于MicroLED的转移过程。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术主要解决的技术问题是提供一种转移装置以及微元件的转移方法，能够提高微元件的转移效率。为解决上述技术问题，本专利技术采用的一个技术方案是：提供一种转移装置，该转移装置包括转移基板；转移手臂，转移手臂位于转本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n转移基板；/n转移手臂，所述转移手臂位于所述转移基板上，所述转移手臂具有第一、第二两种状态，所述第一状态下的所述转移手臂形成夹持微元件的状态，所述第二状态下的所述转移手臂形成预夹持或释放微元件的状态。/n

【技术特征摘要】
1.一种转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
转移基板；
转移手臂，所述转移手臂位于所述转移基板上，所述转移手臂具有第一、第二两种状态，所述第一状态下的所述转移手臂形成夹持微元件的状态，所述第二状态下的所述转移手臂形成预夹持或释放微元件的状态。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置还包括驱动件，所述驱动件位于所述转移基板上并连接所述转移手臂，所述驱动件具有第一、第二两种输出量；
其中，所述驱动件在输出所述第一输出量时，所述转移手臂处于所述第一状态，所述驱动件在输出所述第二输出量时，所述转移手臂处于所述第二状态。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述转移手臂远离所述转移基板的一端形成有凹槽，所述凹槽的侧面壁体形成转移支臂，所述转移支臂靠近所述转移基板的一端与所述驱动件连接，所述转移支臂远离所述转移基板的一端为其自由端。


4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述第一状态、所述第二状态下的所述转移手臂其转移支臂延长线之间的夹角不同，使得不同状态下的所述转移手臂其转移支臂自由端之间的距离不同，进而形成所述夹持微元件的状态、所述预夹持或释放微元件的状态。


5.根据权利要求4所述的转移装置，其特征在于，所述驱动件用于调整所述转移手臂的温度，所述第一状态下的所述转移手臂的温度小于所述第二状态下的所述转移手臂的温度，使得所述第一状态下的所述转移手臂其转移支臂自由端之间的距离小于所述第二状态下的所述转移手臂其转移支臂自由端之间的距离。


6....

【专利技术属性】
技术研发人员：任雅磊，程卫高，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32