基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置制造方法及图纸

提供基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置，防止基板的偏移和落下，并且减少对基板的损伤。基板支承装置具有叶片和固定于叶片并对基板进行支承的衬垫。衬垫具有第1固定部、第2固定部以及桥接部。第1固定部固定在比所支承的基板的外周部靠外侧的位置。第2固定部固定在比外周部靠内侧的位置。桥接部连接第1固定部和第2固定部，对外周部进行支承。桥接部由挠性部件形成，在未对基板进行支承的状态下，桥接部的上表面从第1固定部朝向第2固定部向下倾斜。

Baseplate support device, baseplate transport robot and alignment device

【技术实现步骤摘要】
基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置
公开的实施方式涉及基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置。
技术介绍
以往，公知有对硅晶片等基板进行运送的水平多关节机器人等基板运送机器人。另外，还提出了具有以夹着基板的边缘部的方式进行把持的、所谓的边缘夹持式手部的基板运送机器人(例如，参照专利文献1)。专利文献1：日本特开2002-170862号公报但是，虽然如上述现有技术那样对基板进行把持的方式在防止基板的偏移或脱落的方面存在优点，但从降低对基板的损伤的观点来看，还有改善的余地。这里，作为对基板的损伤，例如，存在伴随着把持动作的冲击而产生的应变、把持动作过程中的由夹持力产生的应变、在把持动作时附着于边缘部的膜等飞散而产生颗粒。另外，该课题并不限于基板运送机器人，在调整基板的方向的对准装置等对基板进行支承的各种装置中也同样产生该课题。
技术实现思路
实施方式的一个方式的目的在于，提供能够防止基板的偏移和落下并且能够减少对基板的损伤的基板支承装置、基板运送机器人以及对准装置。r>实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板支承装置，其特征在于，该基板支承装置具有：/n叶片；以及/n衬垫，其固定于所述叶片，对基板进行支承，/n所述衬垫具有：/n第1固定部，其固定在比所支承的所述基板的外周部靠外侧的位置；/n第2固定部，其固定在比所述外周部靠内侧的位置；以及/n桥接部，其连接所述第1固定部和所述第2固定部，对所述外周部进行支承，/n所述桥接部由挠性部件形成，/n在未对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部的上表面从所述第1固定部朝向所述第2固定部向下倾斜。/n

【技术特征摘要】
20181129 JP 2018-2232251.一种基板支承装置，其特征在于，该基板支承装置具有：
叶片；以及
衬垫，其固定于所述叶片，对基板进行支承，
所述衬垫具有：
第1固定部，其固定在比所支承的所述基板的外周部靠外侧的位置；
第2固定部，其固定在比所述外周部靠内侧的位置；以及
桥接部，其连接所述第1固定部和所述第2固定部，对所述外周部进行支承，
所述桥接部由挠性部件形成，
在未对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部的上表面从所述第1固定部朝向所述第2固定部向下倾斜。


2.根据权利要求1所述的基板支承装置，其特征在于，
在未对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部的下表面与所述叶片的表面分离，在对所述基板进行支承的状态下，所述桥接部借助该基板的自重而模仿着该基板的边缘部的形状挠曲。


3.根据权利要求1或2所述的基板支承装置，其特征在于，
所述基板是圆板状，
所述衬垫以所述第1固定部和所述第2固定部沿着该基板的径向的方式在所述叶片上至少设置有3个。


4.根据权利要求1或2所述的基板支承装置，其特征在于，
所述叶片具有：
第1孔部，其供所述第1固定部嵌入；以及
第2孔部，其供所述第2固定部嵌入。


5.根据权利要求4所述的基板支承装置，其特征在于，
所述第2孔部设置于第2凹部，该第2凹部具有比所述叶片的上表面低的底面，

【专利技术属性】
技术研发人员：约瑟夫·张，岛田克彦，古川伸征，姜龙求，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：发明
国别省市：日本;JP