一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管及整流电路制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管，包括：衬底、绝缘层、外延层、第一金属电极、第二金属电极、第一凹槽，其中，所述绝缘层、所述外延层依次层叠设置于所述衬底上；所述第一凹槽设置于所述外延层上；所述第一金属电极设置于所述外延层上，且设置于所述第一凹槽的一侧，且所述第一金属电极的下表面与所述外延层的上表面接触；所述第二金属电极设置于所述外延层上，且设置于所述第一凹槽的另一侧。本实用新型专利技术所设计的折叠空间电荷区肖特基二极管通过减小肖特基整流二极管的结电容，提高微波无线能量传输系统中的能量转化效率。

A folded space charge region Schottky diode and rectifier circuit for rectifying circuit

【技术实现步骤摘要】
一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管及整流电路
本技术属于无线传输
，具体涉及一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管及整流电路。
技术介绍
自由空间中存在无穷无尽的电磁波，如何将这些电磁波转化为电子设备的能量在当今能源危机日益显现的情况下，显得尤为重要。微波无线能量传输系统将在这个问题上发挥充分的优势，微波无线能量传输系统能够将环境中的自由电磁能直接转化为直流电，且在输送电能时，不受传输线的限制、简单方便、灵活性强、传输距离远、减少输电线的架设、不需要频繁更换电池等，但是如何提高其能量转化效率依然是目前微波无线能量传输系统研究的热点与重点。微波无线能量传输系统由接收天线，匹配电路以及整流电路组成，所以可以通过提高系统中不同组成部分的转换效率来提高整体系统的能量转换效率。近几年，国内外对整流电路中的关键器件肖特基二极管在能量转换效率方面的研究比较多。肖特基二极管是使用一种特定的金属与N型半导体之间形成的具有接触势垒的特定的金属半导体器件，其金属与半导体之间形成的势垒被称为肖特基势垒，这种接触，也被称为整流接触。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管，其特征在于，包括：衬底(001)、绝缘层(002)、外延层(003)、第一金属电极(004)、第二金属电极(005)、第一凹槽(006)，其中，/n所述绝缘层(002)、所述外延层(003)依次层叠设置于所述衬底(001)上，所述外延层(003)的厚度为0.3～0.5μm；/n所述第一凹槽(006)设置于所述外延层(003)上，所述第一凹槽(006)的厚度为0.05～0.15μm，所述第一凹槽(006)内填充有绝缘材料；/n所述第一金属电极(004)设置于所述外延层(003)上，且设置于所述第一凹槽(006)的一侧，且所述第一金属电极(004)...

【技术特征摘要】
1.一种用于整流电路的折叠空间电荷区肖特基二极管，其特征在于，包括：衬底(001)、绝缘层(002)、外延层(003)、第一金属电极(004)、第二金属电极(005)、第一凹槽(006)，其中，
所述绝缘层(002)、所述外延层(003)依次层叠设置于所述衬底(001)上，所述外延层(003)的厚度为0.3～0.5μm；
所述第一凹槽(006)设置于所述外延层(003)上，所述第一凹槽(006)的厚度为0.05～0.15μm，所述第一凹槽(006)内填充有绝缘材料；
所述第一金属电极(004)设置于所述外延层(003)上，且设置于所述第一凹槽(006)的一侧，且所述第一金属电极(004)的下表面与所述外延层(003)的上表面接触；
所述第二金属电极(005)设置于所述外延层(003)上，且设置于所述第一凹槽(006)的另一侧；
所述第一凹槽(006)的底面至所述外延层(003)的底面之间的横截面积小于所述第二金属电极(005)的底面的面积。


2.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王颖，
申请(专利权)人：西安科锐盛创新科技有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61