测试探针模块与测试插座制造技术

本发明专利技术公开一种测试探针模块。所述测试探针模块包括：导电管；探针，被非接触式地插入于所述管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及绝缘探针支撑部件，被配置成在所述管的内壁与所述探针的外表面之间支撑所述探针。本发明专利技术的测试探针模块在噪声屏蔽效能上得以改良且便于修理探针，乃因探针是通过被非接触式地支撑于金属管中而被安装至探针插座。

Test probe module and test socket

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测试探针模块与测试插座
本专利技术涉及一种用于对欲测试的射频半导体或高速半导体或者类似物件进行测试的测试探针模块(testprobeassembly)与测试插座(testsocket)。
技术介绍
在用于测试射频半导体或高速半导体的测试插座中，信号探针被非接触式地安装至导电块(conductiveblock)以屏蔽来自相邻信号探针的噪声。在此种情形中，信号探针所包括的相对的两个端部分在信号探针非接触式地经过导电块之后被支撑于绝缘支撑板上，所述绝缘支撑板安排于导电块的两侧上。然而，对于此种传统的方法而言，当绝缘支撑板的厚度不足以支撑探针时，难以支撑住探针。另一方面，当绝缘支撑板是厚的时，支撑板会造成噪声在各信号探针之间泄漏的问题。为解决此种问题，韩国专利公开案第10-2010-0105622号的相关技术已公开：在导电测试插座中的探针孔的相对两端处安排环氧树脂绝缘体且以环氧树脂绝缘体来支撑信号探针。大测量试探针被安装至测试插座。此种传统的方法具有如下问题：甚至在安装至测试插座的测试探针中仅有一个测试探针受损坏时，亦必须更换整个测试插座。此外，传统的方法具有如下问题：将环氧树脂绝缘体插入于测试插座的探针孔中是非常不便且困难的。具体而言，传统的方法具有如下问题：插入于测试插座的探针孔中的环氧树脂绝缘体不易被支撑住且因此会伸出。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目标被设想成解决传统的问题并提供一种用于测试射频半导体或高速半导体的测试探针模块及一种改良噪声屏蔽且便于修理及维护的测试插座。r>本专利技术的另一目标是提供一种用于测试射频半导体或高速半导体的测试探针模块及一种易于制造且具有优良耐久性的测试插座。技术解决方案根据本专利技术的实施例，提供一种测试探针模块及一种测试插座来解决上述问题。所述测试探针模块包括：导电管；探针，被非接触式地插入于所述管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及绝缘探针支撑部件(insulationprobesupportingmember)，被配置成在所述管的内壁与所述探针的外表面之间支撑所述探针。所述探针支撑部件可在被插入于所述管中之前预先制造出，且包括突起部容置器(projectionaccommodator)，所述突起部容置器容置通过向内挤压所述管而形成的突起部。所述探针支撑部件可通过在所述管中注射液体环氧树脂并使所述液体环氧树脂硬化而形成。所述管可包括彼此纵向连接的第一管及第二管。所述探针支撑部件可包括管插入部分(pipeinsertionportion)、自所述管插入部分径向延伸的延伸部分(extendedportion)、以及形成于所述管插入部分的外表面上的第一螺纹，且所述管可包括与所述第一螺纹对应的第二螺纹。所述探针可包括筒及柱塞，所述柱塞在自所述筒局部突出的同时被插入于所述筒中，且所述探针支撑部件可包括用以容置所述筒的筒孔及用以容置所述柱塞的柱塞孔。所述突起部容置器可形成于所述柱塞孔的外圆周表面上。所述管的两个端部分中的至少一者可包括在直径上缩小的缩拢部分。一种测试插座包括：上述测试探针模块；以及导电块，被配置成对各所述测试探针模块进行平行支撑，以使得所述探针的两个端部分能够自所述导电块的顶表面及底表面局部突出。一种制造测试探针模块的方法包括：在管的一个端部分处形成突起部，所述突起部是通过轧制加工或压凹加工(rollingordimplingwork)而向内突出；将管安装至托盘；将形状与探针的外观相似的模具插入至所述管的一侧中；以具有树脂注射孔的盖板(coverplate)封盖所述管的另一侧；经由所述树脂注射孔注射树脂，并使所述树脂硬化；以及移除所述模具及所述盖板。有利效果根据本专利技术的测试探针模块及测试插座具有如下优点。第一，探针孔尽可能多地被金属管封盖，藉此使各信号探针之间的影响最小化且改良噪声屏蔽效能。第二，在测试插座中可仅更换受损坏的测试探针模块，藉此降低修理成本。第三，探针支撑部件被牢固地支撑于金属管中，藉此改良耐久性。第四，易于将测试探针模块制造成能屏蔽噪声。附图说明图1及图2分别是根据本专利技术第一实施例的测试探针模块的立体图及剖视图。图3是安装有图1所示测试探针模块的测试插座的局部剖视图。图4及图5分别是被应用根据本专利技术第二实施例及第三实施例的测试探针模块的测试插座的剖视图。图6是根据本专利技术第四实施例的测试探针模块的分解立体图。图7及图8是说明制造根据本专利技术第一实施例的测试探针模块的制程的视图。图9及图10分别是说明根据本专利技术第五实施例及第六实施例的探针支撑部件的视图。图11是根据本专利技术第七实施例的测试探针模块的分解立体图。图12是被应用图11所示测试探针模块的测试插座的局部剖视图。具体实施方式以下，将参照附图阐述根据本专利技术实施例的测试探针模块100。图1及2分别是根据本专利技术第一实施例的测试探针模块100的立体图及剖视图。如图1及图2中所示，测试探针模块100包括导电管110、容置于管110中的探针120、及将探针120支撑于管110中的绝缘探针支撑部件130。导电管110被制造为由金属(例如铁、铜、铝、铍铜、或其合金等)制成的中空管。导电管110包括：凸缘112，在导电管110的外表面的中间径向延伸；以及第一突起部114-1及第二突起部114-2，通过在导电管110的相对两端处进行轧制加工而沿圆周向内突出。第一突起部114-1及第二突起部114-2分别容置于稍后欲阐述的探针支撑部件130的第一突起部容置器134-1及第二突起部容置器134-2中。此处，轧制加工是在探针支撑部件130被插入至管110中的情况下实施。因此，探针支撑部件130被牢固地紧固于导电管110中。当测试探针模块100被安装至稍后欲阐述的测试插座1时，凸缘112防止测试探针模块100伸出。作为另一选择，代替通过轧制加工形成的圆周突起部，可通过压凹加工来形成点状突起部(dot-shapedprojection)。探针120可通过可在长度方向上伸缩的弹针(pogopin)来达成。探针120包括：筒122；第一柱塞124及第二柱塞126，被插入于筒122的相对两端中且可在长度方向上伸缩；以及弹性体，例如弹簧128，使第一柱塞124及第二柱塞126能够在筒122内可弹性伸缩。第一柱塞124及第二柱塞126中的一者可选择性地固定至筒122。探针120由探针支撑部件130支撑而不接触管110的内壁。第一柱塞124及第二柱塞126基本上自管110的各端突出，且在测试时移动至筒122中同时对弹簧128进行压缩。探针120的上述结构仅是为进行说明而以举例方式给出。此外，探针亦可具有各种结构。探针支撑部件130将探针120支撑成不接触管110的内壁。探针支撑部件130包括被放置于管110的一端处的第一探针支撑部件130-1、以及被放置于管110的另一端处的第二探针支撑部件13本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种测试探针模块，包括：/n导电管；/n探针，被非接触式地插入于所述管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及/n绝缘探针支撑部件，被配置成在所述管的内壁与所述探针的外表面之间支撑所述探针。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171107 KR 10-2017-0147488;20180614 KR 10-2018-001.一种测试探针模块，包括：
导电管；
探针，被非接触式地插入于所述管中且可沿长度方向弹性伸缩；以及
绝缘探针支撑部件，被配置成在所述管的内壁与所述探针的外表面之间支撑所述探针。


2.根据权利要求1所述的测试探针模块，其中所述探针支撑部件是在被插入至所述管中之前预先制造出。


3.根据权利要求1所述的测试探针模块，其中所述探针支撑部件包括突起部容置器，所述突起部容置器容置通过向内挤压所述管而形成的突起部。


4.根据权利要求1所述的测试探针模块，其中所述探针支撑部件是通过在所述管中注射液体环氧树脂并使所述液体环氧树脂硬化而形成。


5.根据权利要求1所述的测试探针模块，其中所述管包括彼此纵向连接的第一管及第二管。


6.根据权利要求1所述的测试探针模块，其中：
所述探针支撑部件包括管插入部分、自所述管插入部分径向延伸的延伸部分、以及形成于所述管插入部分的外表面上的第一螺纹，且

【专利技术属性】
技术研发人员：郑宰欢，金勤洙，申晶澈，
申请(专利权)人：李诺工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR