测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术揭示一种用于测试待测试目标的电特性的测试装置。测试装置包含：测试插座，包括经组态以将测试信号传输至待测试目标的探针；推动器主体，耦接至测试插座；推动器单元，支撑于推动器主体上且按压及释放待测试目标；以及热屏蔽盖，用以执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的推动器单元以及释放屏蔽。部的推动器单元以及释放屏蔽。部的推动器单元以及释放屏蔽。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】测试装置


[0001]本揭示内容涉及一种用于测试半导体或类似待测试目标的电特性的测试装置。

技术介绍

[0002]在制造半导体或类似电子产品的过程中，需要一种用于测试最终制造的电子产品的电特性的测试装置。当测试电子产品时，在测试装置中产生热量。在此情况下，所产生热量通过在测试期间提高电阻而降低测试的可靠性，且通过短路内部电路造成产品失效。因此，快速散热对于测试功率半导体、车载半导体以及系统半导体至关重要。
[0003]待测试的特定目标需要在极端环境下对电特性进行测试。为此目的，测试装置包含用以创造极端环境的加热元件或冷却元件。当通过加热元件或冷却元件突然改变温度时，测试装置可能超出设定的测试温度。同时，热空气或冷空气可能引入至配置有多个测试装置的测试室中，以使得测试装置可快速达到设定的温度范围。然而，热空气或冷空气的效果视在测试室中的位置而变化，且因此存在测试室中的多个测试装置在不同时间达到设定温度而不同时满足设定温度条件的问题。

技术实现思路

[0004]技术问题
[0005]本揭示内容的实施例提供一种可靠的测试装置。
[0006]技术手段
[0007]根据本揭示内容的实施例，提供一种用于测试待测试目标的电特性的测试装置。测试装置包含：测试插座，包括经组态以将测试信号传输至待测试目标的探针；推动器主体，耦接至测试插座；推动器单元，支撑于推动器主体上且按压及释放待测试目标；以及热屏蔽盖，用以执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的推动器单元以及释放屏蔽。
[0008]推动器单元可包括具有按压表面的第一侧面及具有散热表面的第二侧面的推动器基底，及设置于推动器基底上的散热表面且散热的散热器，且热屏蔽盖执行屏蔽暴露于推动器主体的顶部的散热器以及释放屏蔽。
[0009]热屏蔽盖可包括彼此耦接以相对旋转的多个盖叶片。
[0010]多个盖叶片中的一者可包括固定至推动器主体的顶部的静止叶片，且多个盖叶片中的其他者包括通过轴耦接以相对于静止叶片可旋转地打开及关闭的多个可变叶片。
[0011]多个可变叶片可包括安置于静止叶片上方的第一可变叶片，及安置于第一可变叶片上方的第二可变叶片，静止叶片可包括一对第一导向突起，所述一对第一导向突起相对于轴对称地设置于其顶部上的圆周外端部分的一侧处，第一可变叶片可包括一对第一导向凹槽，所述一对第一导向凹槽沿其底部上的圆周外端部分延伸且分别容纳一对第一导向突起以可移动。
[0012]第一可变叶片可包括一对第二导向突起，所述一对第二导向突起相对于轴对称地设置于其顶部上的圆周外端部分的一侧处，且第二可变叶片可包括一对第二导向凹槽，所
述一对第二导向凹槽沿其底部上的圆周外端部分延伸且分别容纳一对第二导向突起以可移动。
[0013]多个盖叶片可包括相对于轴对称地耦接的一对扇形屏蔽部分，及自扇形屏蔽部分的圆周外端部分弯曲并向下延伸且与推动器主体的顶部接触的一对裙状部分。
[0014]静止叶片可包括一对停止器，所述一对停止器自其顶部的径向端部分向上突起且相对于轴对称地设置。
[0015]专利技术技术功效
[0016]在本专利技术的测试装置中，覆盖推动器单元的散热器的热屏蔽盖可根据安置于单个测试室中的多个测试装置的位置差异来调节热屏蔽盖的打开及关闭量。因此，通过根据位置差异校正不同温度，测试可在相同温度条件下执行。
附图说明
[0017]以上和/或其他实施例将自结合附图而对实施例进行的以下描述变得显而易见且更易于了解，其中：
[0018]图1示出根据本揭示内容的实施例的测试装置中的热屏蔽盖的关闭状态。
[0019]图2示出图1的测试装置中的热屏蔽盖的打开状态。
[0020]图3为自上方查看的图1的测试装置的分解透视图。
[0021]图4为自下方查看的图1的测试装置的分解透视图。
[0022]图5为示出分离图1的热屏蔽盖的透视图。
[0023]图6为自上方查看的图5的热屏蔽盖的分解透视图。
[0024]图7为自下方查看的图5的热屏蔽盖的分解透视图。
具体实施方式
[0025]在下文中，将参考附图详细地描述本揭示内容的实施例。为便于描述，通过从附图或详细描述中排除与本揭示内容不直接相关的部分，仅描述相关部分来理解本揭示内容，且相同标号通篇指代相同元件。
[0026]可不揭示对所属领域中技术人员显而易见的详细描述。在本揭示内容中，术语，诸如第一、第二等用于区分一个元件与另一元件及其之间的实际关系或次序，但并不意指其之间的实际关系或次序。
[0027]图1示出根据本揭示内容的实施例的测试装置1中的热屏蔽盖40的关闭状态，图2示出图1的测试装置1中的热屏蔽盖40的打开状态，图3为自上方查看的图1的测试装置1的分解透视图，以及图4为自下方查看的图1的测试装置1的分解透视图。
[0028]参考图1至4，测试装置1包含测试插座10、推动器主体20，推动器单元30、热屏蔽盖40、加热器50以及温度感测器60。
[0029]测试插座10包含插座框架11、安装至插座框架11且支撑多个可弹性伸缩的探针的探针支撑件12以及安置于探针支撑件12上且容纳半导体或类似电子产品(在下文称为“待测试目标”)的插入件13。此测试插座10仅作为描述的实例进行描述，且其结构不仅仅限于前述结构。
[0030]测试插座10包含与推动器主体20绞接的铰链销14，及推动器主体20(稍后将描述)
的插销22卡在其中的锁15。
[0031]待测试目标包含待测试的多个凸块或接触点，且可利用层迭半导体，如封装上封装(package
‑
on
‑
package；POP)半导体。待测试目标容纳于插入件13中以使得其端子可对应于通过探针支撑件12支撑的探针。如上文所容纳的待测试目标在通过推动器单元30(稍后将描述)推动时朝向对应探针移动，且在其端子与探针接触时进行测试。
[0032]推动器主体20枢转地耦接至测试插座10的一侧以便打开及关闭测试插座10的顶部，亦即插入件13。推动器主体20包含设置于一侧处的铰链耦接部分21、设置于另一侧处的插销22以及用于在测试时操作推动器单元30的控制杆23。
[0033]推动器主体20包含推动器容纳部分25，以在其中间中容纳推动器单元30。
[0034]推动器主体20包含保持销26以将热屏蔽盖40保持且支撑于其顶部上。
[0035]推动器单元30容纳且支撑于推动器主体20的推动器容纳部分25中，以朝向负载至测试插座10的插入件13中的待测试目标移动且与所述待测试目标分离。
[0036]推动器单元30包含形似板的推动器基底31、设置于推动器基底31的底部上的推动器32以及设置于推动器基底31的顶部上的散热器33。
[0037]推动器32接近待测试目标且与其接触，以由此在测试期间按压待测试目标。在此情况下，待测试目标的端子可与探针接触。
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种测试装置，用于测试待测试目标的电特性，所述测试装置包括：测试插座，包括经组态以将测试信号传输至所述待测试目标的探针；推动器主体，耦接至所述测试插座；推动器单元，支撑于所述推动器主体上且按压及释放所述待测试目标；以及热屏蔽盖，用以执行屏蔽暴露于所述推动器主体的顶部的所述推动器单元以及释放所述屏蔽。2.根据权利要求1所述的测试装置，其中所述推动器单元包括具有按压表面的第一侧面及具有散热表面的第二侧面的推动器基底，及设置于所述推动器基底的所述散热表面上且散热的散热器，且所述热屏蔽盖执行屏蔽暴露于所述推动器主体的所述顶部的所述散热器以及释放所述屏蔽。3.根据权利要求1所述的测试装置，其中所述热屏蔽盖包括彼此耦接以相对旋转的多个盖叶片。4.根据权利要求3所述的测试装置，其中所述多个盖叶片中的一者包括固定至所述推动器主体的所述顶部的静止叶片，且所述多个盖叶片中的其他者包括通过轴耦接以相对于所述静止叶片可旋转地打开及关闭的多个可变叶片。5.根据权利要求4所述的测试装置，其中所述多个可变叶片包括安置于所述静止叶片上方...

【专利技术属性】
技术研发人员：严熙一，
申请(专利权)人：李诺工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：