表面处理装置制造方法及图纸

表面处理装置(1)具有：处理槽(3‑1)，其容纳处理液；至少一个阳极(20)，其配置于处理槽内；N(N是2以上的整数)个阴极轨道(40A、40B)；多个夹具(30)，它们分别保持浸渍在处理液中的多个工件(2)中的各一个工件，并且与N个阴极轨道接触而将多个工件中的各一个工件设定为阴极；以及至少N个整流器(50)，其与N个阴极轨道中的各一个阴极轨道和至少一个阳极连接。多个夹具分别包含N个导通路径(31A、31B)，所述N个导通路径(31A、31B)从N个阴极轨道中的各一个阴极轨道导通到多个工件中的各一个工件的不同的N个部位中的各一个部位，N个导通路径相互绝缘。

Surface treatment device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面处理装置
本专利技术涉及将被夹具保持的工件设定为阴极来进行处理的表面处理装置等。
技术介绍
在专利文献1中公开有电镀装置，所述电镀装置将多个工件间歇地输送到容纳有电镀液的电镀槽内，通过整流器分别对在多个工件各自的停止位置处在阳极与工件(阴极)之间流过的电流进行控制，来对各工件进行电镀。尤其是，在该电镀装置中，将在电镀槽内的各停止位置处供给到工件的电流量进行累计，若该累计值达到了工件的所需电流量，则通过控制装置驱动升降装置，使支承输送工件的吊钩向电镀槽的上方移动，解除对工件的通电。由此，能够分别地调整例如对多品种且少量的工件所供给的电流量，从而与工件的形状以及表面积对应地分别调整电流量。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特许第2727250号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题近年来，要求对工件进行的表面处理的更精确的控制。即使欲通过一个整流器调整在被一个夹具保持的一个工件中流过的电流，但由于设置于一个夹具的多个导通路径中的电阻值的差异等，也未必能够实现精确的电流控制。无论是在连续输送工件的情况下，还是在间歇地输送工件的情况下，这都是共同的课题。并且，由于设置于一个夹具的多个导通路径中的电阻值的差异等，在对被一个夹具保持的多个工件进行批处理的情况下，被同时处理的多个工件中的每一个的表面处理质量有可能不同。本专利技术的至少一个方式的目的在于提供一种表面处理装置，其能够将包括被一个夹具保持的工件在内的阴极设定部位设定为独立的多个阴极，并按照每个阴极进行精确的电流控制。本专利技术的其他至少一个方式的目的在于提供一种表面处理装置，其能够将被一个夹具保持来进行实施批处理的多个工件中的每一个设定为独立的阴极，并按照每个工件进行精确的电流控制。用于解决课题的手段(1)本专利技术的一个方式涉及表面处理装置，所述表面处理装置具有：处理槽，其容纳处理液；至少一个阳极，其配置于所述处理槽内；N个阴极轨道，其中，N是2以上的整数；多个夹具，它们分别保持被浸渍于所述处理液的多个工件中的各一个，并且与所述N个阴极轨道接触而将所述多个工件中的各一个设定为阴极；以及至少N个整流器，它们与所述N个阴极轨道中的各一个和所述至少一个阳极连接，所述多个夹具各自包含N个导通路径，所述N个导通路径从所述N个阴极轨道中的各一个导通到所述多个工件中的各一个的不同的N个部位中的各一个，所述N个导通路径相互绝缘。在本专利技术的一个方式中，分别保持浸渍在处理液中的多个工件中的每一个的、多个夹具中的每一个包含相互绝缘的N个导通路径，N个导通路径通过N个阴极轨道而分别与N个整流器连接。由此，包括被一个夹具保持的工件在内的供电部位被设定为N个阴极。N个整流器针对N个阴极中的每个阴极控制电流，由此能够对包括被一个夹具保持的工件在内的N个阴极设定部位(可以包含工件及其周围的虚拟被处理部)的兼用精确地进行电流控制。(2)在本专利技术的一个方式(1)中，可以是，所述N个导通路径从所述N个阴极轨道中的各一个导通到所述多个工件中的各一个的不同的N个部位。这样，能够将被一个夹具保持的工件设定为N个阴极，从而能够提高被处理的工件的面内均匀性。(3)在本专利技术的一个方式(2)中，可以是，所述多个夹具各自包含夹持工件的至少N个夹持件，所述多个工件中的各一个的不同的部位是被所述至少N个夹持件把持的至少各一个的部位。这样，能够通过N个夹持件将被一个夹具保持的工件设定为N个阴极，从而能够提高被处理的工件的面内均匀性。(4)在本专利技术的一个方式(3)中，可以是，被所述至少N个夹持件把持的所述至少各一个的部位包含被所述多个夹具中的各一个保持的所述多个工件中的各一个的上端部和下端部。一般来说，夹具的上部夹持件和下部夹持件由于相对于阴极轨道的距离的不同而很难相等地设定配线电阻值，但是，整流器能够以该电阻值的差异为前提来控制电流。由此，提高了被处理的工件的面内均匀性。(5)在本专利技术的一个方式(3)中，可以是，所述至少一个阳极包含与所述多个工件的正面和背面对置的至少2个阳极，被所述至少N个夹持件把持的所述至少各一个的部位包含被所述多个夹具中的各一个保持的所述多个工件中的各一个的所述正面和所述背面。这样，被一个夹具保持的工件的正面和背面能够通过夹持件而设定为独立的阴极，从而能够在工件的正面和背面提高处理质量。另外，如果将一个夹持件的与工件的正反面接触的一侧设为导电部，并将另一侧设为绝缘部，则能够只对工件的正反面中的一方通电。(6)在本专利技术的一个方式(1)中，可以是，所述多个夹具分别在所述多个工件中的各一个的周围包含虚拟被处理部，所述N个导通路径包含：第1导通路径，其从所述N个阴极轨道中的至少一个导通到所述多个工件中的各一个；以及第2导通路径，其从所述N个阴极轨道中的至少另一个导通到所述虚拟被处理部。这样，虚拟被处理部也与工件同样地被处理。由于工件的周缘位于虚拟被处理部的内侧，因此工件的周缘不会成为边缘。由此，电场不会集中于工件的周缘，因此不产生被称作所谓的狗骨(dogbone)的厚膜部。通过将虚拟被处理部设成独立于工件的阴极来进行电流控制，由此提高工件的面内均匀性。(7)在本专利技术的一个方式(1)～(6)中，可以是，以1个整流器来兼作所述至少N个整流器中的至少2个，所述1个整流器的端子经由所述N个阴极轨道中的一个与所述N个导通路径中的一个连接，并且，所述1个整流器的端子经由可变电阻器和所述N个阴极轨道中的另一个而与所述N个导通路径中的另一个连接。这样，也可以代替至少一个整流器而共用其他整流器的端子，并且通过可变电阻器的调整来控制对设置于夹具的N个导通路径中的至少一个导通路径所供给的电流。(8)在本专利技术的一个方式(1)～(7)中，可以是，所述表面处理装置还具有间歇输送装置，所述间歇输送装置以所述处理槽内的M个停止位置为起始点和/或终点来间歇地输送所述多个夹具，其中，M是2以上的整数，所述N个阴极轨道各自包含M个导电部，所述M个导电部分别与分别停止在所述M个停止位置处的M个夹具接触，并且所述M个导电部电绝缘，所述多个整流器与共计N×M个导电部对应地设置有N×M个，所述N×M个整流器中的各一个与所述N×M个导电部中的各一个连接。本专利技术的一个方式还能够应用于连续输送式的表面处理装置，但是在上述情况下，需要N×M条阴极轨道。尤其适合于能够将阴极轨道的数量减少为N条(每1条包含M个导电部)的间歇输送式的表面处理装置。(9)在本专利技术的一个方式(1)～(8)中，可以是，所述至少一个阳极包含与分别停止在所述M个停止位置处的M个工件对置的至少M个阳极，所述M个阳极中的每一个共同连接于N个整流器，所述N个整流器与分别停止在所述M个停止位置处的M个夹具中的各一个连接。这样，对于多个工件中的每一个，多个阴极以及一个阳极绝缘地连接，因此能够实现每个工件的完全单独地供电和工件内的阴极分割。(10)本专利技术的其他方式涉及表面处理装置，所述表面处理装置具有：处理槽，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面处理装置，其特征在于，/n所述表面处理装置具有：/n处理槽，其容纳处理液；/n至少一个阳极，其配置于所述处理槽内；/nN个阴极轨道，其中，N是2以上的整数；/n多个夹具，它们分别保持被浸渍于所述处理液的多个工件中的各一个，并且与所述N个阴极轨道接触而将所述多个工件中的各一个设定为阴极；以及/n至少N个整流器，它们与所述N个阴极轨道中的各一个和所述至少一个阳极连接，/n所述多个夹具各自包含N个导通路径，所述N个导通路径从所述N个阴极轨道中的各一个导通到所述多个工件中的各一个的不同的N个部位中的各一个，所述N个导通路径相互绝缘。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171020 JP 2017-2038671.一种表面处理装置，其特征在于，
所述表面处理装置具有：
处理槽，其容纳处理液；
至少一个阳极，其配置于所述处理槽内；
N个阴极轨道，其中，N是2以上的整数；
多个夹具，它们分别保持被浸渍于所述处理液的多个工件中的各一个，并且与所述N个阴极轨道接触而将所述多个工件中的各一个设定为阴极；以及
至少N个整流器，它们与所述N个阴极轨道中的各一个和所述至少一个阳极连接，
所述多个夹具各自包含N个导通路径，所述N个导通路径从所述N个阴极轨道中的各一个导通到所述多个工件中的各一个的不同的N个部位中的各一个，所述N个导通路径相互绝缘。


2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
所述N个导通路径从所述N个阴极轨道中的各一个导通到所述多个工件中的各一个的不同的N个部位。


3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，
所述多个夹具各自包含夹持工件的至少N个夹持件，
所述多个工件中的各一个的不同的部位是被所述至少N个夹持件把持的至少各一个的部位。


4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，
被所述至少N个夹持件把持的所述至少各一个的部位包含被所述多个夹具中的各一个保持的所述多个工件中的各一个的上端部和下端部。


5.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，
所述至少一个阳极包含与所述多个工件的正面和背面对置的至少2个阳极，
被所述至少N个夹持件把持的所述至少各一个的部位包含被所述多个夹具中的各一个保持的所述多个工件中的各一个的所述正面和所述背面。


6.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
所述多个夹具分别在所述多个工件中的各一个的周围包含虚拟被处理部，
所述N个导通路径包含：第1导通路径，其从所述N个阴极轨道中的至少一个导通到所述多个工件中的各一个；以及第2导通路径，其从所述N个阴极轨道中的至少另一个导通到所述虚拟被处理部。


7.根据权利要求1至6中的任意一项所述的表面处理装置，其特征在于，

【专利技术属性】
技术研发人员：石井胜己，渡边重幸，
申请(专利权)人：ALMEXPE株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP