表面处理装置和搬送治具制造方法及图纸

表面处理装置(10)具有：表面处理槽(200)，其收纳处理液(Q)，具有上部开口(200A)；搬送治具(30)，其包含将工件(20)保持为从表面处理槽的上部开口向处理液内垂下的工件保持部(340)，并且该搬送治具(30)沿着搬送方向(A)对工件(20)进行搬送；供电部(260)，其与搬送治具接触，向工件供电；驱动部(270)，其向搬送治具赋予驱动力，对搬送治具进行搬送驱动；以及引导部(280)，其与搬送治具接触，对搬送治具进行搬送引导，在俯视观察时，引导部与工件保持部的距离(L1)比驱动部与工件保持部的距离(L2)短，并且比供电部与工件保持部的距离(L3)短。

Surface treatment device and transfer fixture

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面处理装置和搬送治具
本专利技术涉及对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。
技术介绍
专利文献1公开了对工件的表面实施镀覆处理等的表面处理装置和搬送工件的搬送治具。该表面处理装置兼作经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，搬送治具的一部分与供电/搬送轨道面接触。另一方面，专利文献2公开了能够对每个设定为阴极的工件进行电流控制的、所谓的阴极分割方式的表面处理装置，专利文献3公开了阴极分割方式的表面处理装置和搬送治具的构造。如专利文献1所公开的那样，表面处理装置包含对保持着工件的搬送治具进行连续搬送的区域和间歇搬送的区域。间歇搬送如专利文献1所公开的那样例如采用通过推杆从后方推动搬送治具的方式等。另一方面，关于连续搬送，如专利文献1所公开的那样使固定有与设置于搬送治具的爪卡合的齿块的链条连续移动。此外，如专利文献4所公开的那样，将直线搬送路分割为多个区间，通过交替驱动设置于每个区间的2个推杆，能够从后方推动搬送治具而对搬送治具进行连续搬送。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2012-046782号公报专利文献2：日本特开2009-132999号公报专利文献3：日本特开2013-011009号公报专利文献4：日本特许第6117891号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题例如如上述的阴极分割方式等那样，有时像专利文献3所示的那样设置经由搬送治具向工件供电的供电轨道和对搬送治具进行搬送引导的导轨，而不是像专利文献1那样使用供电/搬送轨道。在该情况下，如专利文献3所示，表面处理装置在俯视观察时在表面处理槽的两侧具有导轨，搬送治具的水平臂部的两端部在俯视观察时在工件保持部的两侧被导轨支承。因此，搬送治具的宽度尺寸较大，治具大型化。表面处理装置的宽度尺寸也会变大，装置大型化。另外，如专利文献3那样，不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触，减小了如专利文献1那样随着面接触而增大的摩擦力。虽然搬送治具被连续搬送或间歇搬送，但需要保持这些搬送驱动结束后的停止位置的精度。这是为了不对下一个工序的搬送产生妨碍。本专利技术的几个方式的目的在于，提供能够减小宽度尺寸而实现小型化，并且能够稳定地对搬送治具进行搬送的表面处理装置和搬送治具。本专利技术的其他的几个方式的目的在于，提供能够使不具有供电功能的导轨的顶面与设置于搬送治具的辊滚动接触而减小摩擦力，并且能够确保连续搬送或间歇搬送结束后的搬送治具的停止位置精度的表面处理装置和搬送治具。用于解决课题的手段(1)本专利技术的一个方式涉及表面处理装置，其具有：表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及引导部，其与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。根据本专利技术的一个方式，能够稳定地对保持工件的搬送治具进行连续或间歇地搬送。这里，在搬送治具中，工件保持部的重量比与供电部接触的被供电部和被驱动部驱动的被驱动部大。由于大重量的工件保持部与引导部的距离变短，作用于工件保持部的无用的力矩减小，因此能够稳定地对搬送治具进行搬送。此外，由于作用于工件保持部的无用的力矩减小，因此能够减小从驱动部赋予搬送治具的驱动力。另外，相比于像专利文献3那样对搬送治具的两端部的被引导部进行引导的结构，搬送治具的宽度尺寸变短，因此表面处理装置的宽度尺寸也变短，实现装置的小型化。这里，在本专利技术的一个方式中，在俯视观察时，可以像专利文献3的构造那样在工件保持部的两侧设置引导部(双支撑梁构造)，或者也可以像专利文献1的构造那样仅在工件保持部的一侧设置引导部(悬臂梁构造)。根据双支撑梁构造，进一步减小作用于工件保持部的无用的力矩。即使采用悬臂梁构造，由于工件保持部与引导部的距离较短，因此作用于工件保持部的无用的力矩减小。此时，在俯视观察时，可以将引导部、驱动部以及供电部设置于工件保持部的一侧，或者也可以在工件保持部的一侧设置驱动部和供电部，在工件保持部的另一侧设置引导部。前者是悬臂梁构造，关于后者，在俯视观察时工件保持部的一侧被驱动部和供电部支承，另一侧被引导部支承，因此是双支撑梁构造。这样，能够更稳定地对搬送治具进行搬送引导，并且减小作用于工件保持部的无用的力矩，从而能够减小从驱动部赋予搬送治具的驱动力。(2)在本专利技术的一个方式中，可以为，所述搬送治具包含水平臂部，该水平臂部以所述工件保持部垂下的方式对所述工件保持部进行支承，所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，所述水平臂部包含：被引导部，其被所述引导部引导；被驱动部，其被所述驱动部驱动；以及被供电部，其与所述供电部接触。这样，工件保持部包含将工件的至少上端部(必要时为工件的上端部和下端部)卡住的卡盘部，并且工件保持部的重量比被引导部、被驱动部或被供电部重，但通过上述的引导部的作用，稳定地对搬送治具进行搬送引导。(3)在本专利技术的一个方式中，可以为，所述引导部配置于所述表面处理槽的所述上部开口的上方，所述驱动部和所述供电部配置于从所述表面处理槽的所述上部开口的上方偏离的位置。与引导部和被引导部的接触能够采用辊的滚动接触，因此几乎不产生由滑动引起的灰尘。由此，即使将引导部配置在表面处理槽的上部开口的上方而使滑动产生的灰尘落入到处理液中，也不会将处理液污染成表面处理的品质恶化的程度。由此，相比于引导部配置在从表面处理槽的上部开口的上方偏离的位置的情况，能够进一步缩短引导部与工件保持部的距离。另外，在像专利文献1那样使搬送治具的被供电部与供电/引导轨道面接触的情况下，为了减小摩擦阻力等，在供电/引导轨道上涂布润滑油。由此，从该供电/引导轨道飞溅的润滑油落入到表面处理槽内，因此供电/引导轨道不得不配置于从表面处理槽的上部开口的上方偏离的位置。供辊滚动接触的引导部不需要润滑油。(4)在本专利技术的一个方式中，可以为，所述表面处理槽具有减小所述上部开口的面积的罩。通过设置罩，利用罩来防止由于辊的滚动接触而万一产生的灰尘等落入到处理液中。(5)本专利技术的其他方式涉及搬送治具，其对提供给表面处理装置的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其中，该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，所述水平臂部包含：被引导部，其被设置于所述表面处理装置的引导部引导；被驱本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面处理装置，其特征在于，/n该表面处理装置具有：/n表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；/n搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；/n供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；/n驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及/n引导部，其与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，/n在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170530 JP 2017-1070401.一种表面处理装置，其特征在于，
该表面处理装置具有：
表面处理槽，其收纳处理液，具有上部开口；
搬送治具，其包含将工件保持为从所述表面处理槽的所述上部开口向所述处理液内垂下的工件保持部，并且该搬送治具沿着搬送方向对所述工件进行搬送；
供电部，其与所述搬送治具接触，向所述工件供电；
驱动部，其向所述搬送治具赋予驱动力，对所述搬送治具进行搬送驱动；以及
引导部，其与所述搬送治具接触，对所述搬送治具进行搬送引导，
在俯视观察时，所述引导部与所述工件保持部的距离比所述驱动部与所述工件保持部的距离短，并且比所述供电部与所述工件保持部的距离短。


2.根据权利要求1所述的表面处理装置，其特征在于，
所述搬送治具包含水平臂部，该水平臂部以所述工件保持部垂下的方式对所述工件保持部进行支承，
所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，
所述水平臂部包含：
被引导部，其被所述引导部引导；
被驱动部，其被所述驱动部驱动；以及
被供电部，其与所述供电部接触。


3.根据权利要求2所述的表面处理装置，其特征在于，
所述引导部配置于所述表面处理槽的所述上部开口的上方，
所述驱动部和所述供电部配置于从所述表面处理槽的所述上部开口的上方偏离的位置。


4.根据权利要求3所述的表面处理装置，其特征在于，
所述表面处理槽具有减小所述上部开口的面积的罩。


5.一种搬送治具，其对提供给表面处理装置的工件进行保持，并沿着搬送方向搬送所述工件，其特征在于，
该搬送治具包含水平臂部和从所述水平臂部垂下的工件保持部，
所述工件保持部包含卡盘部，该卡盘部将所述工件的至少上端部卡住，
所述水平臂部包含：
被引导部，其被设置于所述表面处理装置的引导部引导；
被驱动部，其被设置于所述表面处理装置的驱动部驱动；以及
被供电部，其与设置于所述表面处理装置的供电部接触，

【专利技术属性】
技术研发人员：石井胜己，渡边重幸，
申请(专利权)人：ALMEXPE株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP