工件保持夹具和表面处理装置制造方法及图纸

提供工件保持夹具和表面处理装置。对工件通电而对工件的两面进行处理，包括：固定夹紧片，其以电绝缘方式固定于导电部件；可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片摆动自如；以及板簧，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，所述板簧包括：第1固定部，其与所述可动夹紧片电导通而被固定；第2固定部，其与所述导电部件电导通而被固定；第3固定部，其与所述固定夹紧片电导通而被固定；一对臂部，它们将所述第1固定部与所述第2固定部连结，所述第2固定部在所述板簧的长度方向上位于所述第1固定部与所述第3固定部之间，所述一对臂部的俯视时配置于所述固定夹紧片和所述可动夹紧片的两侧的一部分包括U字状的弯曲部。

【技术实现步骤摘要】
工件保持夹具和表面处理装置本申请是申请日为：2017年9月27日、申请号为：201780060162.6(PCT/JP2017/034923)、专利技术名称为“工件保持夹具和表面处理装置”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及在连续电镀装置等表面处理装置中使用的工件保持夹具和表面处理装置等。
技术介绍
在连续电镀装置等表面处理装置中，使用工件保持夹具下垂保持工件，并在表面处理槽内的液体中连续搬送工件。例如专利文献1所示那样，通常情况下工件保持夹具夹紧工件的上端而下垂保持工件。另外，工件保持夹具的其他功能在于，相对于配置在表面处理槽内的阳极(阳极)，将工件设定为阴极(阴极)。在阴极-阳极之间形成电场，对电镀液进行电解而对工件表面进行电镀。因此，夹紧工件上端的夹紧部件由导电性部件形成，通过工件保持夹具将工件设定为阴极。但是，仅凭在工件的上端确保通电路径，在确保工件的表面处理的面内均匀性方面存在局限。因此，本申请的申请人开发出了通过夹紧工件的上端和下端的夹紧部件从工件的上下方向供电的工件保持夹具(专利文献2)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特开2009-132956号公报专利文献2：日本特许第5898540号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题根据专利文献2所公开的技术，能够提高工件的电流分布的面内均匀性，然而例如要求进一步减小向工件的上下端部通电的通电路径的电阻差，或者同时减小向工件的正反面通电的通电路径的电阻差来进一步提高面内均匀性。本专利技术的若干方式的目的在于，提供进一步减小向工件的上下端部或正反面通电的通电路径的电阻差，从而能够进一步提高工件的电流分布的面内均匀性的工件保持夹具和表面处理装置。用于解决课题的手段(1)本专利技术的一个方式涉及工件保持夹具，其将矩形的工件在处理槽内的处理液中保持为垂直状态，并且将所述工件设定为阴极，该工件保持夹具的特征在于，具有：导电性的框状部件，其包括具有上框部件和下框部件的横框部件以及与所述下框部件电连接的一对纵框部件，该框状部件包围所述工件而配置；导电性的多个第1夹紧部件，它们被所述上框部件支承，把持所述工件的上边；导电性的多个第2夹紧部件，它们被所述下框部件支承，把持所述工件的下边；共用供电部；第1通电部，其从所述共用供电部对所述上框部件通电；以及第2通电部，其从所述共用供电部对所述一对纵框部件通电，并且其电阻值小于所述第1通电部的电阻值，所述第1通电部包括：一对第1导电部件，它们与所述上框部件的两端部电连接而被固定，隔着绝缘部件分别上下移动自如地引导所述一对纵框部件；以及一对第2导电部件，它们将所述共用供电部与所述一对第1导电部件电连接。根据本专利技术的一个方式，从共用供电部通过作为第1通电部的一对第1、第2导电部件和上框部件而对多个第1夹紧部件通电，并且从共用供电部通过电阻值小于第1通电部的第2通电部、一对纵框部件和下框部件而对多个第2夹紧部件通电。在此，第1通电部并非如专利文献2那样直接以最短路径对上框部件通电，而是通过兼作为一对纵框部件的升降引导件的一对第1、第2导电部件而被通电。因此，容易将第1通电部的电阻值设定为与第2通电部和一对纵框部件的总电阻值大致相等。由此，能够使从多个第1夹紧部件流向工件的电流与从多个第2夹紧部件流向工件的电流大致相等，能够进一步提高工件的电流分布的面内均匀性。另外，与上框部件的两端部电连接而被固定的一对第1导电部件还兼用作通过绝缘部件将一对纵框部件分别以上下移动自如的方式进行引导的部件。由此，由一对纵框部件支承的下框部件和多个第2夹紧部件利用自重向下方移动，对工件赋予张力，从而尤其能够防止在薄板状的工件上可能产生的挠曲。而且，由于上框部件和一对第1导电部件与一对纵框部件通过绝缘部件而电绝缘，所以能够使第1、第2通电部的通电路径电绝缘。(2)本专利技术的一个方式还可以构成为，所述一对第2导电部件分别在各个所述一对第1导电部件与共用供电部之间的各最短路径中迂回而冗长地形成。这样，更为容易将第1通电部的电阻值设定为与第2通电部和一对纵框部件的总电阻值大致相等。(3)本专利技术的一个方式还可以构成为，在所述一对第1导电部件分别设置有纵长孔，在所述一对纵框部件分别设置有沿所述纵长孔而被引导的所述绝缘部件。这样，由于具有纵长孔的一对第1导电部件的电阻值增大，因此更为容易将第1通电部的电阻值设定为与第2通电部和一对纵框部件的总电阻值大致相等。(4)本专利技术的一个方式还可以构成为，所述第2通电部包括将所述共用供电部与所述一对纵框部件的上端部电连接的2根导电电缆。这样，通过减小第2通电部的电阻值，从而更为容易将第1通电部的电阻值设定为与第2通电部和一对纵框部件的总电阻值大致相等。(5)本专利技术的一个方式还可以构成为，所述工件保持夹具对所述工件通电而对所述工件的两面进行处理，所述多个第1夹紧部件和多个第2夹紧部件分别包括：固定夹紧片，其固定于所述横框部件；可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片被支承为摆动自如；以及弹性部件，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，所述弹性部件是至少与所述横框部件和所述可动夹紧片电连接而被固定的导电性的板簧。(6)本专利技术的另一个方式涉及工件保持夹具，其对工件通电而对所述工件的两面进行处理，该工件保持夹具的特征在于，包括：固定夹紧片，其固定于导电部件；可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片摆动自如；以及弹性部件，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，所述弹性部件是至少与所述导电部件和所述可动夹紧片电导通而被固定的导电性的板簧。根据上述的(5)和(6)的方式，能够从横框部件(导电部件)通过板簧对可动夹紧片通电。通常，可动夹紧片摆动自如地支承在被固定夹紧片支承的轴部上，作为维持被固定夹紧片和可动夹紧片夹持的工件的夹持状态的弹性部件而使用插通轴部的扭转螺旋弹簧。在该情况下，在导电部件和可动夹紧片的通电路径上介入有固定夹紧片、轴部和扭转螺旋弹簧。但是，形成为轴部和扭转螺旋弹簧的介入部件仅与固定夹紧片和可动夹紧片局部接触。因此，从导电部件经由介入部件到达可动夹紧片的通电路径的电阻值比从导电部件到达固定夹紧片的通电路径的电阻值大很多。在对工件的两面通电而对工件的两面进行表面处理的情况下，由于上述电阻值的不同而无法确保工件正反面的处理的均匀性。根据上述的(4)和(5)的方式，从电部件通过板簧对可动夹紧片通电，从而能够提高工件正反面的处理的均匀性。而且，通过将维持被固定夹紧片7和可动夹紧片夹持的工件的夹持状态的板簧兼用作通电部件，使得部件数量不会增加。(7)本专利技术的另一个方式还可以构成为，所述板簧包括：第1固定部，其与所述可动夹紧片电导通而被固定；第2固定部，其与所述导电部件电导通而被固定；以及<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种工件保持夹具，其对工件通电而对所述工件的两面进行处理，该工件保持夹具的特征在于，包括：/n固定夹紧片，其以电绝缘的方式固定于导电部件；/n可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片摆动自如；以及/n板簧，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，/n所述板簧包括：/n第1固定部，其与所述可动夹紧片电导通而被固定；/n第2固定部，其与所述导电部件电导通而被固定；/n第3固定部，其与所述固定夹紧片电导通而被固定；以及/n一对臂部，它们将所述第1固定部与所述第2固定部连结，/n所述第2固定部在所述板簧的长度方向上位于所述第1固定部与所述第3固定部之间，/n所述一对臂部的俯视时配置于所述固定夹紧片和所述可动夹紧片的两侧的一部分包括U字状的弯曲部。/n

【技术特征摘要】
20160929 JP 2016-1921081.一种工件保持夹具，其对工件通电而对所述工件的两面进行处理，该工件保持夹具的特征在于，包括：
固定夹紧片，其以电绝缘的方式固定于导电部件；
可动夹紧片，其相对于所述固定夹紧片摆动自如；以及
板簧，其维持被所述固定夹紧片和所述可动夹紧片夹持的所述工件的夹持状态，
所述板簧包括：
第1固定部，其与所述可动夹紧片电导通而被固定；
第2固定部，其与所述导电部件电导通而被固定；
第3固定部，其与所述固定夹紧片电导通而被固定；以及
一对臂部，它们将所述第1固定部与所述第2固定部连结，
所述第2固定部在所述板簧的长度方向上位于所述第1固定部与所述第3固定部之间，
所述一对臂部的俯视时配置于所述固定夹紧片和所述可动夹紧片的两侧的一部分包括U字状的弯曲部。


2.根据权利要求1所述的工件保持夹具，其特征在于，
该工件保持夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井胜己，渡边重幸，
申请(专利权)人：ALMEXPE株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP