【技术实现步骤摘要】
一种高耐久度的罩式退火炉废氢管道
本技术涉及退火炉
,具体涉及一种高耐久度的罩式退火炉废氢管道。
技术介绍
冷轧带钢退火工艺制度主要根据钢的化学成分、产品的技术标准、带钢的尺寸和卷重等因素确定。工艺制度必须保证生产中卷层间不粘结,表面不出现氧化。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂,将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面,使致密沉积的薄膜,改变生长的薄膜的状态,修复注入的损伤,移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中,例如氧化,或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉,超节能结构,采用纤维结构,节电60%。一般冷扎厂拥有罩式退火炉48-96台。冷轧厂的罩式退火炉采用氢气加热给钢卷退火消除应力。钢卷表面的轧制油受热蒸发,在废氢排放系统冷凝成积碳,容易堵塞排放系统,不易清洗。
技术实现思路
本技术的目的在于针对现有技术的缺陷和不足,提供一种高耐久度的罩式退火炉废氢管道,它由多个退火炉与管道连接形成,设置有循环水箱,容易清洗,内部涂有耐腐蚀涂料,不易腐蚀,使用周期长。为实现上述目的,本技术采用以下技术方案是:它包含退火炉1、活口法兰2、固定法兰3、循环水箱4、回水峰5、出水峰6、废氢管道主体7、管道连接端8,所述的退火炉1的左右两端固定有活口法兰2,退火炉1通过活口法兰2与废 ...
【技术保护点】
1.一种高耐久度的罩式退火炉废氢管道,其特征在于:它包含退火炉(1)、活口法兰(2)、固定法兰(3)、循环水箱(4)、回水峰(5)、出水峰(6)、废氢管道主体(7)、管道连接端(8),所述的退火炉(1)的左右两端固定有活口法兰(2),退火炉(1)通过活口法兰(2)与废氢管道主体(7)相连接,每两个退火炉(1)之间通过活口法兰(2)、废氢管道主体(7)相连接,废氢管道主体(7)的一端与活口法兰(2)的一端相连接,废氢管道主体(7)的另一端与另一个退火炉(1)两端的活口法兰(2)相连接,退火炉(1)与循环水箱(4)之间设置有回水峰(5),退火炉(1)之间设置有出水峰(6),循环水箱(4)的左右两侧设置有固定法兰(3),废氢管道主体(7)的两端设置有管道连接端(8),废氢管道主体(7)的内壁上涂抹有耐腐蚀涂料。/n
【技术特征摘要】
1.一种高耐久度的罩式退火炉废氢管道,其特征在于:它包含退火炉(1)、活口法兰(2)、固定法兰(3)、循环水箱(4)、回水峰(5)、出水峰(6)、废氢管道主体(7)、管道连接端(8),所述的退火炉(1)的左右两端固定有活口法兰(2),退火炉(1)通过活口法兰(2)与废氢管道主体(7)相连接,每两个退火炉(1)之间通过活口法兰(2)、废氢管道主体(7)相连接,废氢管道主体(7)的一端与活口法兰(2)的一端相连接,废氢管道主体(7)的另一端与另一个退火炉(1)两端的活口法兰(2)相连接,退火炉(1)与循环水箱(4)之间设置有回水峰(5),退火炉(1)之间设置有出水峰(6),循环水箱(4)的左右两侧设置有固定法兰(3),废氢...
【专利技术属性】
技术研发人员:龙志刚,王久东,王艳杰,
申请(专利权)人:唐山市康泰工贸有限公司,
类型:新型
国别省市:河北;13
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