【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用硅初步生产设备
本技术涉及硅纯化附属装置的
，特别是涉及一种芯片生产用硅初步生产设备。
技术介绍
众所周知，芯片在生产制造过程中，需要用到硅晶圆这一必不可少的原料，在硅晶圆的生产制造过程中，基本可以分别为三个步骤，依次为硅的初步纯化、多晶硅的制造和硅晶圆的制造，硅的初步纯化则是至关重要的一步，由于硅不溶于酸，因此对粗硅的初步纯化是使用HCl、H2SO4、王水、HF等混酸泡洗至硅含量99.7%以上，提高硅的纯度，以方便对硅进行后续的精馏提纯操作，当对硅进行初步提纯操作时，其不方便将硅原料与酸充分均匀的接触，提纯速度较慢，并且其不方便将处理后的部分倒出。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种可以提高硅原料与酸的接触均匀性，提高提纯速度，并且可以方便将处理后的部分倒出的芯片生产用硅初步生产设备。本技术的一种芯片生产用硅初步生产设备，包括底座、多组支撑柱、料仓、传输管、处理箱、过滤网、排液管、翻转箱、驱动轴、左转盘、传动轴、多组搅拌叶和右转盘，所述多组支撑柱两端分别与料仓底部和...
【技术保护点】
1.一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，包括底座（1）、多组支撑柱（2）、料仓（3）、传输管（4）、处理箱（5）、过滤网（6）、排液管（7）、翻转箱（8）、驱动轴（9）、左转盘（10）、传动轴（11）、多组搅拌叶（12）和右转盘（13），所述多组支撑柱（2）两端分别与料仓（3）底部和底座（1）顶部连接，所述料仓（3）内设置有储存腔，并在料仓（3）顶部设置有加料口，加料口与储存腔相通，所述传输管（4）输入端与料仓（3）底部连通，并在传输管（4）上设置有开关阀（14），所述传输管（4）输出端位于翻转箱（8）上方区域，所述处理箱（5）安装在底座（1）顶部右半区域，并在处理箱...
【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，包括底座（1）、多组支撑柱（2）、料仓（3）、传输管（4）、处理箱（5）、过滤网（6）、排液管（7）、翻转箱（8）、驱动轴（9）、左转盘（10）、传动轴（11）、多组搅拌叶（12）和右转盘（13），所述多组支撑柱（2）两端分别与料仓（3）底部和底座（1）顶部连接，所述料仓（3）内设置有储存腔，并在料仓（3）顶部设置有加料口，加料口与储存腔相通，所述传输管（4）输入端与料仓（3）底部连通，并在传输管（4）上设置有开关阀（14），所述传输管（4）输出端位于翻转箱（8）上方区域，所述处理箱（5）安装在底座（1）顶部右半区域，并在处理箱（5）内设置有处理腔，所述处理箱（5）顶部设置有进出口，所述进出口与处理腔相通，所述处理箱（5）左侧壁和右侧壁分别设置有两组第一通孔，所述驱动轴（9）和传动轴（11）一端分别穿过两组第一通孔，并且驱动轴（9）和传动轴（11）另一端分别与左转盘（10）和右转盘（13）连接，所述驱动轴（9）与放翻转箱（8）连接，所述翻转箱（8）内设置有工作腔，并在翻转箱（8）顶部设置有进料口，进料口与工作腔相通，所述翻转箱（8）右侧壁上设置有第二通孔，所述传动轴（11）穿过第二通孔伸入至翻转箱（8）中，所述驱动轴（9）和传动轴（11）与两组第一通孔内壁之间分别设置有两组第一机械密封件（15），并且传动轴（11）与第二通孔内壁之间设置有第二机械密封件（16），所述多组搅拌叶（12）均位于翻转箱（8）中，并且多组搅拌叶（12）均安装在传动轴（11）上，所述过滤网（6）横向安装在处理箱（5）内下半区域，所述排液管（7）输入端与处理箱（5）右侧壁底部连通。
2.如权利要求1所述的一种芯片生产用硅初步生产设备，其特征在于，还包括两组限位杆（17）、两组移动环（18）、两组移动把手（19）、两组固定杆（20）和刮板（21），所述两组限位杆（17）左右两端分别与处理箱（5）内左侧壁和内右侧壁上半区域连接，所述两组移动环（18）分别套装至两组限位杆（17）上，所述两组移动把手（19）分别安装在两组移动环（18）上，所述两组固定杆（20）两端分别与两组移动环（18）和刮板（21）连接，所述刮板（21）与过滤网（6）顶...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭志宏，
申请(专利权)人：大同新成新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山西;14
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