【技术实现步骤摘要】
一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置
本专利技术属于大口径光学元件表面洁净
，具体涉及一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置。
技术介绍
高能激光系统存在有大量的透镜、窗口、反射镜、透射镜等大口径光学元件。光学元件的洁净特性对系统的稳定运行起着至关重要的作用，而光学元件的失效形式又以激光损伤为主，因此光学元件进行在位清洁、减缓光学元件的激光损伤速率对维持激光聚变装置的稳定持续运行具有重要意义。在高能激光设施中，粘附在光学元件表面的各种污染物也与表面损伤密切相关，在高能激光作用下颗粒污染物等离子化，高温高速的等离子体对光学元件造成烧伤损害，因此维持光学表面洁净度对延长元件寿命、保持元件性能至关重要。在高能激光照射下，激光所在空间中的细小灰尘，很容易被电离化，从而带上电荷，进而吸附在光学元件表面，形成光学元件的缺陷，如果不及时清理，在后续的高能激光照射下，光学元件表面存在的缺陷会由于激光的能量量级过高，而发生自我破坏；进而在原有缺陷的基础上，进一步破坏光学元件的表面结构，产生烧蚀现象，甚至...
【技术保护点】
1.一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，其特征在于：所述装置包括固定支架(1)、光学元件(2)、离子风系统(3)、静电吸附系统(4)和颗粒污染物收纳盒(5)；/n所述固定支架(1)为一水平放置的三棱柱，固定支架(1)前侧的斜面为工作面(1-1)，所述工作面(1-1)与水平面的夹角为45°，工作面(1-1)上固定有底板，所述离子风系统(3)、静电吸附系统(4)和颗粒污染物收纳盒(5)由上至下固定在底板上；/n所述离子风系统(3)包括风刀(6)、离子棒支架(7)、三自由度组合位移台(8)、离子棒(9)、连接片(10)，所述三自由度组合位移台(8)通过连接片(10)与...
【技术特征摘要】
1.一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，其特征在于：所述装置包括固定支架(1)、光学元件(2)、离子风系统(3)、静电吸附系统(4)和颗粒污染物收纳盒(5)；
所述固定支架(1)为一水平放置的三棱柱，固定支架(1)前侧的斜面为工作面(1-1)，所述工作面(1-1)与水平面的夹角为45°，工作面(1-1)上固定有底板，所述离子风系统(3)、静电吸附系统(4)和颗粒污染物收纳盒(5)由上至下固定在底板上；
所述离子风系统(3)包括风刀(6)、离子棒支架(7)、三自由度组合位移台(8)、离子棒(9)、连接片(10)，所述三自由度组合位移台(8)通过连接片(10)与风刀(6)连接，所述风刀(6)在靠近两端的位置连接有两个离子棒支架(7)，所述离子棒(9)固定在两个离子棒支架(7)上；
所述静电吸附系统(4)包括两个电极固定支座一(11-1)、两个电极固定支座二(11-2)、两个电极固定支座三(11-3)、棒状电极正极(12)、棒状电极负极(13)和手动位移台(14)，所述两个电极固定支座一(11-1)和两个电极固定支座二(11-2)均沿底板横向设置，并固定在底板上，且两个电极固定支座二(11-2)设置在两个电极固定支座一(11-1)内侧，棒状电极负极(13)通过在两个电极固定支座二(11-2)上固定不同位置的顶丝来调节所述棒状电极负极(13)的高低；所述两个电极固定支座一(11-1)和两个电极固定支座三(11-3)通过手动平移台(14)连接，所述棒状电极正极(12)安装在两个电极固定支座三(11-3)上。
2.根据权利要求1所述的一种离子风与静电耦合实现光学元件表面洁净的装置，其特征在于：所述风刀(6)与离子棒(9)的宽度均为610mm，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：白清顺，窦昱昊，张祎晨，谢成浩，牛龙飞，苗心向，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙;23
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