一种高可靠性的阵列基板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高可靠性的阵列基板，包括基板和依次由下往上覆盖在基板上的第一金属层、第一绝缘层、第二金属层、第二绝缘层、以及ITO层；所述第一绝缘层和第二绝缘层上设有过孔，所述ITO层通过所述过孔实现第一金属层和第二金属层的电连接；所述过孔内填充有绝缘膜。本实用新型专利技术通过在过孔内填充绝缘膜，使得ITO层上增加一绝缘膜，保护ITO层，同时绝缘膜不影响显示，提高产品的可靠性，且不需要额外的光罩，节约成本。

A high reliability array substrate

【技术实现步骤摘要】
一种高可靠性的阵列基板
本技术涉及显示
，尤其涉及一种高可靠性的阵列基板。
技术介绍
随着显示器制造技术的发展，薄膜晶体管液晶显示器因具有体积小、功耗低、无辐射等特点，在电子设备中的到广泛使用。在现有技术中，如图1所示，显示器的阵列基板一般包括基板和依次由下往上覆盖在基板上的第一金属层、第一绝缘层、第二金属层、第二绝缘层、以及ITO层。第一绝缘层和第二绝缘层通过干法刻蚀或湿法刻蚀分别形成过孔，以实现第一金属层、第二金属层和ITO层之间的相互短接。对于第二金属层和ITO层的短接，通常在第二绝缘层刻蚀过孔，使ITO层和第二金属层在过孔位置直接接触，以实现其短接。而对于第一金属层和ITO层的短接，则需要同时在第一绝缘层和第二绝缘层的相同位置进行刻蚀过孔，以保证第一金属层的表面露出。但本申请的专利技术人在实现本申请实施例的过程中，发现上述技术至少存在如下技术问题：ITO层作为桥接第一金属层和第二金属层的膜层，但因其防水性差，TFT完成模组后，水汽会穿过ITO层，导致金属层被腐蚀，最终使薄膜晶体管液晶显示器失效。因此，提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高可靠性的阵列基板，包括基板和依次由下往上覆盖在基板上的第一金属层、第一绝缘层、第二金属层、第二绝缘层、以及ITO层；所述第一绝缘层和第二绝缘层上设有过孔，所述ITO层通过所述过孔实现第一金属层和第二金属层的电连接；其特征在于，所述过孔内填充有绝缘膜。/n

【技术特征摘要】
1.一种高可靠性的阵列基板，包括基板和依次由下往上覆盖在基板上的第一金属层、第一绝缘层、第二金属层、第二绝缘层、以及ITO层；所述第一绝缘层和第二绝缘层上设有过孔，所述ITO层通过所述过孔实现第一金属层和第二金属层的电连接；其特征在于，所述过孔内填充有绝缘膜。


2.如权利要求1所述的高可靠性的阵列基板，其特征在于，所述第一金属层设于所述基板上，所述第一绝缘层设于所述第一金属层和基板上，所述第二金属层设于所述第一绝缘层上，所述第二绝缘层设于所述第二金属层和第一绝缘层上，所述ITO层设于所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳发霖，张泽鹏，马亮，
申请(专利权)人：信利仁寿高端显示科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51