保持夹具制造技术

本发明专利技术提供一种对板状被处理物实施液浴处理时使用的保持夹具，其清洗性良好，并且能够防止板状被处理物紧贴保持夹具的背面部件，清洗后易于将板状被处理物取下。该板状被处理物用保持夹具用于对板状被处理物实施液浴处理，其中，所述板状被处理物被配置于背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间，所述背面部件在与所述正面部件的对置面上具有多个凸起部。

Holding fixture

【技术实现步骤摘要】
保持夹具
本专利技术涉及一种用于对板状被处理物实施液浴处理的保持夹具，其中，所述板状被处理物被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间。
技术介绍
当对板状的被处理物实施表面处理等液浴处理时，例如，使用固定板状被处理物的保持夹具，将固定于该保持夹具的板状被处理物浸渍在液浴中进行液浴处理。作为固定板状被处理物的保持夹具，例如使用具有背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件的保持夹具，上述板状被处理物被配置在背面部件与正面部件之间。固定这样的板状被处理物的保持夹具被专利文献1公开。专利文献1所公开的半导体晶片的电镀夹具为了使半导体晶片易于安装而构成为，具有第1保持部件和设置有密封垫的第2保持部件，在该第1保持部件与该第2保持部件的密封垫之间夹持保持半导体晶片，并且，被保持于该密封垫的内周部的该半导体晶片表面露出。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-172492号公报
技术实现思路
另外，在将上述板状被处理物固定于上述保持夹具而实施液浴处理之后，例如，与该保持夹具一起浸渍在清洗液中，清洗之后将板状被处理物从该保持夹具取下。但是，存在即使进行清洗也难以除去附着于保持夹具的处理液的情况。另外，存在板状被处理物紧贴保持夹具的背面部件而难以将板状被处理物取下的情况。本专利技术是着眼于上述的各种情况而完成的，其目的在于，提供一种对板状被处理物实施液浴处理时使用的保持夹具，该保持夹具清洗性良好，并且能够防止板状被处理物紧贴保持夹具的背面部件，从而在清洗后易于将板状被处理物取下。本专利技术包括以下技术方案。[1]一种保持夹具，该保持夹具为用于对被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间的板状被处理物实施液浴处理的板状被处理物用保持夹具，其特征在于，所述背面部件在与所述正面部件的对置面上具有多个凸起部。[2]根据[1]所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状具有与正交于重力方向的方向非平行的直线部。[3]根据[2]所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状为多边形。[4]根据[3]所述的保持夹具，其中，所述多边形为菱形。[5]根据[1]-[4]中任意一项所述的保持夹具，其中，所述凸起部在所述对置面上被配置成格子状。[6]根据[5]所述的保持夹具，其中，所述格子状为斜方格子、三角格子或者平行四边形格子。[7]根据[1]-[6]中任意一项所述的保持夹具，其中，所述凸起部在所述背面部件的厚度方向截面中，平均高度为1-3mm。[8]根据[1]-[7]中任意一项所述的保持夹具，其中，所述背面部件具有在厚度方向上连通的通孔。[9]根据[8]所述的保持夹具，其中，所述通孔形成于比被配置在重力方向的最上方的凸起部靠上侧、和/或比被配置在重力方向的最下方的凸起部靠下侧的位置。[10]根据[1]～[9]中任意一项所述的保持夹具，其中，相对于所述开口部的面积，所述凸起部的上表面的合计面积为80面积％以下。根据本专利技术，作为构成保持夹具的背面部件，在与被安装的板状被处理物接触的表面侧形成有多个凸起部，因此，保持夹具的背面部件与板状被处理物的接触面积变小。其结果，能够防止板状被处理物紧贴保持夹具的背面部件，处理液难以滞留在保持夹具的背面部件与板状被处理物之间，清洗性提高。另外，能够防止板状被处理物与背面部件紧贴，因此在清洗后能够容易地将板状被处理物取下。附图说明图1是本专利技术所涉及的保持夹具的实施方式的一个例子的立体图，表示将背面部件和正面部件闭合的状态。图2是本专利技术所涉及的保持夹具的实施方式的一个例子的立体图，表示将背面部件和正面部件打开的状态。图3是针对本专利技术所涉及的保持夹具的实施方式的一个例子，示出背面部件与正面部件的连接部分的放大图。图4是表示凸起部的上表面的俯视形状的一个例子的示意图。附图标记说明1：保持夹具；11：背面部件；12：开口部；13：正面部件；14a、14b：开闭锁；15：凸起部；16a，16b：通孔；21：导向部；31：接点；32：遮蔽部件。具体实施方式本专利技术所涉及的保持夹具为用于对被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间的板状被处理物实施液浴处理的板状被处理物用保持夹具，其特征在于，上述背面部件在与上述正面部件的对置面上具有多个凸起部。下面，一边参照附图一边对本专利技术所涉及的保持夹具进行具体地说明，但本专利技术并不限于图示的例子，在符合前后文的主旨的范围内可以增加变形来实施，它们均包含在本专利技术的技术范围内。图1和图2是表示本专利技术所涉及的保持夹具1的实施方式的一个例子的立体图，图1表示将背面部件11和与该背面部件11对置且具有开口部12的正面部件13闭合的状态，图2表示将上述背面部件11和上述正面部件13打开的状态。另外，在图1和图2中没有图示出板状被处理物。图3表示在上述图1和图2中示出的上述背面部件11与上述正面部件13的连接部分的放大图。对与上述附图相同的位置标注相同的标记而避免重复说明。在图3中，将上述正面部件13拆下，而示出设置于背面部件11与正面部件13的连接部分的接点31和遮蔽部件32。接点31表示电极与板状被处理物的连接位置。遮蔽部件32是使电流和处理液难以流入板状被处理物的边缘部的用于遮蔽的部件。对使用保持夹具1对板状处理物实施液浴处理的步骤进行说明。首先，如图2所示，将背面部件11和正面部件13打开，在背面部件11的与正面部件13的对置面上配置板状被处理物(未图示)之后，如图1所示，使背面部件11和正面部件13闭合，且使用开闭锁14a、14b以使背面部件11和正面部件13不会打开。接着，将保持着板状被处理物的保持夹具1例如浸渍在进行液浴处理的处理槽的处理液内，进行液浴处理。液浴处理后，与保持夹具1一起进行清洗之后，将开闭锁14a、14b解除，打开背面部件11和正面部件13，将板状被处理物从保持夹具1取下。上述保持夹具1在背面部件11的与正面部件13的对置面上具有多个凸起部15。由于具有多个凸起部15，背面部件11上的与正面部件13的对置面与板状被处理物不紧贴，在该对置面与板状被处理物之间产生间隙，因此，处理液易于被从保持夹具1排出，清洗性提高。由于多个上述凸起部15使得上述对置面与板状被处理物的接触面积变小，因此，易于将板状被处理物从上述保持夹具1的背面部件11取下。另外，本专利技术的保持夹具1的处理液的断液性也良好，因此，能够减少从处理槽带出的处理液的量。上述凸起部15是指向上述背面部件11的厚度方向突出的部分，优选地，该凸起部15的上表面位于同一平面上。上述凸起部15的上表面是指与上述板状被处理物接触的表面。上述凸起部的上表面的俯视形状没有特别地限定，例如可以举出圆形、椭圆形、半圆形、扫帚形状(船的船桨形状)、多边形等。上述凸起部的上表面的俯视形状是指，从垂直于上述背面部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种保持夹具，该保持夹具为用于对被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间的板状被处理物实施液浴处理的板状被处理物用保持夹具，其特征在于，/n所述背面部件在与所述正面部件的对置面上具有多个凸起部。/n

【技术特征摘要】
20181126 JP 2018-2202451.一种保持夹具，该保持夹具为用于对被配置在背面部件和与该背面部件对置且具有开口部的正面部件之间的板状被处理物实施液浴处理的板状被处理物用保持夹具，其特征在于，
所述背面部件在与所述正面部件的对置面上具有多个凸起部。


2.根据权利要求1所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状具有与正交于重力方向的方向非平行的直线部。


3.根据权利要求2所述的保持夹具，其中，所述凸起部的上表面的俯视形状为多边形。


4.根据权利要求3所述的保持夹具，其中，所述多边形为菱形。


5.根据权利要求1-4中任意一项所述的保持夹具，其中，所述凸起部在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：松山大辅，桥本大督，西元一善，奥田朋士，
申请(专利权)人：上村工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP