【技术实现步骤摘要】
一种底部磁控式自动旋转粘蜡装置
本技术涉及石英环加工
,具体为一种底部磁控式自动旋转粘蜡装置。
技术介绍
由于石英制品的化学程度高、化学稳定性好,使其成为半导体集成电路制造过程不可替代的理想配套辅材,石英空心环货石英圆饼一般放置于平面度较好的石英板材之上进行机械加工,以往固定石英空心环或石英圆饼的方式主要是先用铅笔沿产品的内外径画圆线,再用石蜡块在石英板材上涂抹,然后将石英产品放置在石英板材之上进行加热烘干,固化后石英产品即固定在石英板材之上。中国专利CN201220319752.0提出石英环类产品加工治具,该石英环类产品加工治具具有大提高产品合格率,降低生产成本,缩短了产品的生产周期,可广泛用于石英环类产品加工的生产线上的优点,目前石英制品在加工过程中还需要继续粘蜡处理,以往固定石英空心环或石英圆饼的方式主要是先用铅笔沿产品的内外径画圆线,再用石蜡块在石英板材上涂抹,然后将石英产品放置在石英板材之上进行加热烘干,固化后石英产品即固定在石英板材之上,由于铅会对石英制品造成污染,在后道工序的刻蚀、洗净过程当中会导 ...
【技术保护点】
1.一种底部磁控式自动旋转粘蜡装置,包括机壳(1),其特征在于:所述机壳(1)的内部固定安装有轴承(2),所述轴承(2)的内部固定安装有旋转箱(3),所述旋转箱(3)的顶部固定安装有位于机壳(1)内部的电机(9),所述电机(9)的输出轴固定安装有一端延伸至旋转箱(3)内部的旋转轴(8),所述旋转轴(8)的外侧底部固定安装有固定环(19),所述旋转箱(3)的内部固定安装有位于旋转轴(8)左侧的蜡罐(6),所述蜡罐(6)的右侧固定安装有软管泵(7),所述软管泵(7)的右侧固定安装有输送管(18),所述旋转轴(8)的右侧固定安装有套管(16),所述套管(16)的内部活动安装有活塞 ...
【技术特征摘要】
1.一种底部磁控式自动旋转粘蜡装置,包括机壳(1),其特征在于:所述机壳(1)的内部固定安装有轴承(2),所述轴承(2)的内部固定安装有旋转箱(3),所述旋转箱(3)的顶部固定安装有位于机壳(1)内部的电机(9),所述电机(9)的输出轴固定安装有一端延伸至旋转箱(3)内部的旋转轴(8),所述旋转轴(8)的外侧底部固定安装有固定环(19),所述旋转箱(3)的内部固定安装有位于旋转轴(8)左侧的蜡罐(6),所述蜡罐(6)的右侧固定安装有软管泵(7),所述软管泵(7)的右侧固定安装有输送管(18),所述旋转轴(8)的右侧固定安装有套管(16),所述套管(16)的内部活动安装有活塞(15),所述活塞(15)的右侧固定安装有活动弯管(14),所述旋转箱(3)的底部开设有活动槽(4),所述活动弯管(14)的外侧固定安装有位于活动槽(4)内部的连接管(5),所述活动弯管(14)的右侧固定安装有连接板(13),所述连接板(13)的左侧固定安装有位于套管(16)上方的电动伸缩杆(12),所述旋转箱(3)内部顶壁固定安装有位于电动伸缩杆(12)顶部的电池箱(11),所述电池箱(11)的...
【专利技术属性】
技术研发人员:刘奇伟,杨军,蔡文军,朱军,王鹏,
申请(专利权)人:江苏富乐德石英科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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