【技术实现步骤摘要】
一种坩埚熔融机用隔热板
本技术涉及半导体加工设备领域，具体涉及坩埚熔融机。
技术介绍
隔热板是坩埚熔融机的主要部件之一。坩埚熔融机在进行熔炼的过程中，为了避免炉内零件过热损伤，往往需要在坩埚熔融机内部安装隔热板，隔热板中部开设有可穿过加热装置外围的通孔，隔热板内有循环水作为冷却系统。现有的隔热板由于隔热板内部为中空结构，不设有导流通道，水冷效果不佳，且强度也不佳，如专利号为201420706072.3的一种石英坩埚熔制用的隔热板，就公开了一种隔热板为中空结构的板体。并且传统不锈钢材质隔热板长期使用于高温环境，不断经受热量冲击，表面产生的氧化物容易脱落至模具中，造成坩埚污染。
技术实现思路
针对现有技术存在的问题，本技术提供一种坩埚熔融机用隔热板，以解决现有的隔热板污染的技术问题。并且通过合理布置隔热板结构，来增强隔热板的使用效果。本技术的技术方案是：一种坩埚熔融机用隔热板，包括隔热板，其特征在于，所述隔热板是两个隔热组件左右拼合构成的，两个隔热组件均包括中空壳体，所述中空壳体上开设有与所述中空...
【技术保护点】
1.一种坩埚熔融机用隔热板，包括隔热板，其特征在于，所述隔热板是两个隔热组件左右拼合构成的，两个隔热组件均包括中空壳体，所述中空壳体上开设有与所述中空壳体的内腔导通的进水口与出水口，且进水口以及出水口位于所述中空壳体的两端；/n两个隔热组件还包括一将所述中空壳体的内腔分隔成一弯曲的导流通道的导流机构，所述导流通道的一端与所述进水口对接，所述导流通道的另一端与所述出水口对接；/n两个隔热组件上均开设有半圆形缺口；/n两个隔热组件拼合时，两个隔热组件的半圆形缺口对接构成一圆形通孔，两个隔热组件中任意一个隔热组件的进水口与另一个隔热组件的出水口相邻。/n
【技术特征摘要】
1.一种坩埚熔融机用隔热板，包括隔热板，其特征在于，所述隔热板是两个隔热组件左右拼合构成的，两个隔热组件均包括中空壳体，所述中空壳体上开设有与所述中空壳体的内腔导通的进水口与出水口，且进水口以及出水口位于所述中空壳体的两端；
两个隔热组件还包括一将所述中空壳体的内腔分隔成一弯曲的导流通道的导流机构，所述导流通道的一端与所述进水口对接，所述导流通道的另一端与所述出水口对接；
两个隔热组件上均开设有半圆形缺口；
两个隔热组件拼合时，两个隔热组件的半圆形缺口对接构成一圆形通孔，两个隔热组件中任意一个隔热组件的进水口与另一个隔热组件的出水口相邻。
2.根据权利要求1所述的一种坩埚熔融机用隔热板，其特征在于：所述中空壳体包括顶板、底板以及围边，所述底板的外边缘与所述围边的下端的外边缘焊接相连，所述顶板的外边缘与所述围边的顶端的外边缘焊接相连；
所述导流机构包括至少三个沿着径向依次设置的弧形弯曲的导流板，沿着导流板的长度方向依次设有至少三个柱状凸起，所述柱状凸起顶部在竖直方向上与所述导流板平齐；
所述柱状凸起底部与底板焊接固定，所述导流板的下端与底板焊接相连；
所述顶板上开设有与所述柱状凸起相对应的顶板通孔，所述柱状凸起的顶部与顶板底面相抵，所述柱状突起的顶部与顶板焊接相连，而且所述顶板通孔通过焊缝焊接封堵。
3.根据权利要求2所述的一种坩埚熔融机用隔热板，其特征在于：所述导流通道包括沿着径向依次设置的五个导流子单元，五个导流子单元相邻的导流子单元的相连对接构成所述导流通道；
所述导流板设有四个，四个导流板分别为沿着径向从外至内依次设置的第一导流板、第二导流板、第三导流板以及第四导流板；
所述导流机构还包括第一直板、第二直板以及第三直板，所述第一直板以及第二直板分别连接所述第四导流板的两端，进而构成一最靠近径向内侧的第一分隔板，所述第一分隔板靠近进水口的一侧与所述围边的内壁焊接相连...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏孝平，贺贤汉，徐淑文，曹豪杰，赖章田，
申请(专利权)人：上海汉虹精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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