本发明专利技术创造提供了一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮底座包括底板，所述底板为对称结构，底板上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关，多个所述定位块沿底板的对称轴对称设有两组。本发明专利技术创造所述的一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。
An automatic reading device based on wafer ID reader
【技术实现步骤摘要】
一种基于WaferIDReader的自动读码装置
本专利技术创造属于半导体视觉识别领域，尤其是涉及一种基于WaferIDReader的自动读码装置。
技术介绍
在半导体硅片视觉识别领域中,人为读取打标号，容易产生视觉疲劳，导致读码错误，工作效率低。通过自动化设备，可以缩短读码时间，提高自动化程度。由此可见,准确、快速地读取打标号对半导体领域工业应用上具有非常重要的实用价值。专利技术创造内容有鉴于此，本专利技术创造旨在提出一种基于WaferIDReader的自动读码装置，可以实现自动并准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。为达到上述目的，本专利技术创造的技术方案是这样实现的：一种基于WaferIDReader的自动读码装置，包括电控柜、电动滑台、片篮底座以及读码器，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电动滑台用于带动读码器移动，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上；所述片篮底座包括底板，所述底板为对称结构，底板上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关，多个所述定位块沿底板的对称轴对称设有两组。进一步的，多个所述定位块包括第一定位块、第二定位块、第三定位块以及第四定位块，所述第一定位块设置在底板上表面端部，第一定位块设有多个定位口，多个所述定位口呈阶梯型；所述第二定位块、第三定位块以及第四定位块为L型定位块，所述第二定位块、第三定位块以及第四定位块的开口与第一定位块的多个阶梯型定位口开口形成放置硅片的容纳空间，所述第四定位块沿底板向上延伸的高度大于第二定位块以及第三定位块的高度；所述第一定位块的多个定位口的截面为阶梯型，所述第一定位块的定位口截面的阶梯高度与第二定位块、第三定位块以及第四定位块的高度对应。进一步的，所述电动滑台设有多个，包括相互垂直的第一滑台以及第三滑台，多个所述滑台均设有驱动电机以及电动丝杆，电动丝杆与驱动电机的输出轴连接，多个所述滑台的滑块与电动丝杆连接，通过电动丝杆带动滑块移动，所述伺服电机与总控模块连接；所述电控柜还设有背板，所述背板竖立设置在托板下方，第一滑台设置在背板的一侧，所述第一滑台包括第一滑轨以及第一滑块，所述第一滑台上还设有连接板，所述连接板设置在第一滑块上方，所述连接板与第一滑块通过连接杆固定连接，所述第一滑块通过连接杆带动连接板在竖直方向移动；进一步的，所述第三滑台包括第三滑轨以及第三滑块，所述第三滑轨设置在连接板上，第三滑台上还设有竖直板，所述竖直板底部与第三滑块固定连接；所述第一滑台和第三滑台设置在同一水平面上。进一步的，所述连接板上还设有拖链安装板，第三滑台还连接有电缆拖链，所述电缆拖链设置在拖链安装板内。进一步的，所述第二滑台设置在背板的另一侧，所述第二滑台包括第二滑轨以及第二滑块，所述第二滑台上部还包括读码器安装板，读码器安装板下端与第二滑块固定连接，上端安装有读码器，所述读码器设有两个，两个所述读码器与总控模块连接。进一步的，所述竖直板顶部向读码器一侧延伸还设有陶瓷手指，所述陶瓷手指端部还设有激光传感器以及真空负压吸片机构，所述陶瓷手指、激光传感器以及真空负压吸片机构与总控模块连接。进一步的，所述激光传感器设置在两个读码器之间。相对于现有技术，本专利技术创造所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置具有以下优势：本专利技术创造所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置准确读取打标号，有效地避免了人为读错、增加颗粒度的风险，提高读码效率，减少人为劳动强度，降低人工成本。附图说明构成本专利技术创造的一部分的附图用来提供对本专利技术创造的进一步理解，本专利技术创造的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术创造，并不构成对本专利技术创造的不当限定。在附图中：图1为本专利技术创造所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置示意图；图2为本专利技术创造所述的片篮底座结构图示意图；图3为本专利技术创造所述的三电缸滑台驱动系统结构图示意图。附图标记说明：1-电控柜；2-片篮底座；3-片篮；4-总控模块；5-报警灯；6-FFU；7-离子棒；8-三电缸滑台；9-微动开关；10-第一定位块；11-底板；12-第二定位块；13-第三定位块；14-第四定位块；15-背板；16-第一滑台；17-拖链安装板；18-第二滑台；19-读码器安装板；20-激光传感器；21-读码器；22-陶瓷手指；23-真空负压吸片机构；24-连接板；25-竖直板；26-第三滑台；27-拖链。具体实施方式需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术创造中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。在本专利技术创造的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术创造和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术创造的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。在本专利技术创造的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本专利技术创造中的具体含义。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本专利技术创造。一种基于WaferIDReader的自动读码装置，包括电控柜1、电动滑台、片篮底座2以及读码器21，所述滑台以及片篮底座2设置在电控柜1内，所述电动滑台用于带动读码器21移动，所述电控柜1还设有总控模块4；所述电控柜1内部设有托板，所述片篮底座2设置在托板上，所述片篮底座2包括底板11，所述底板11为对称结构，底板11上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板11上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关9，多个所述定位块沿底板11的对称轴对称设有两组。多个所述定位块包括第一定位块10、第二定位块12、第三定位块13以及第四定位块14，所述第一定位块10设置在底板11上表面端部，第一定位块10设有多个定位口，多个所述定位口呈阶梯型；所述第二定位块12、第三定位块13以及第四定位块14为L型定位块，所述第二本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，其特征在于：包括电控柜(1)、滑台、片篮底座(2)以及读码器(21)，所述滑台以及片篮底座(2)设置在电控柜(1)内，所述滑台用于带动读码器(21)移动，所述电控柜(1)还设有总控模块(4)；/n所述电控柜(1)内部设有托板，所述片篮底座(2)设置在托板上，所述片篮底座(2)包括底板(11)，所述底板(11)为对称结构，底板(11)上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板(11)上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关(9)，多个所述定位块沿底板(11)的对称轴对称设有两组。/n
【技术特征摘要】
1.一种基于WaferIDReader的自动读码装置，其特征在于：包括电控柜(1)、滑台、片篮底座(2)以及读码器(21)，所述滑台以及片篮底座(2)设置在电控柜(1)内，所述滑台用于带动读码器(21)移动，所述电控柜(1)还设有总控模块(4)；
所述电控柜(1)内部设有托板，所述片篮底座(2)设置在托板上，所述片篮底座(2)包括底板(11)，所述底板(11)为对称结构，底板(11)上还设有多个定位块，多个所述定位块用于放置不同尺寸的硅片，所述底板(11)上还设有多个用于检测硅片放置位置的微动开关(9)，多个所述定位块沿底板(11)的对称轴对称设有两组。
2.根据权利要求1所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置，其特征在于：多个所述定位块包括第一定位块(10)、第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)，所述第一定位块(10)设置在底板(11)上表面端部，第一定位块(10)设有多个定位口，多个所述定位口呈阶梯型；
所述第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)为L型定位块，所述第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)的开口与第一定位块(10)的多个阶梯型定位口开口形成放置硅片的容纳空间，所述第四定位块(14)沿底板(11)向上延伸的高度大于第二定位块(12)以及第三定位块(13)的高度；
所述第一定位块(10)的多个定位口的截面为阶梯型，所述第一定位块(10)的定位口截面的阶梯高度与第二定位块(12)、第三定位块(13)以及第四定位块(14)的高度对应。
3.根据权利要求1所述的一种基于WaferIDReader的自动读码装置，其特征在于：所述滑台包括相互垂直的第一滑台(16)以及第三滑台(26)，
所述电控柜(1)还设有背板(15)，所述背板(15)竖立设置在托板下方，第一滑台(16)设置在背板(15)的一侧，所述第一滑台(16...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴超，齐风，李伦，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，天津中环领先材料技术有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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