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本发明创造提供了一种基于Wafer ID Reader的自动读码装置，包括电控柜、滑台以及片篮底座，所述滑台以及片篮底座设置在电控柜内，所述电控柜还设有总控模块；所述电控柜内部设有托板，所述片篮底座设置在托板上，所述片篮底座包括底板，所述底...该专利属于中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。