一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统技术方案

本发明专利技术公开了一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，系统包括产品登记模块、内控运算模块、实时数据分析模块、数据推送模块、人工解锁模块；本发明专利技术提供的一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，晶圆数据自动判断系统只需要工程师将需要分析的产品录入到系统中，录入内容包含外控良率标准、Map图失效图形、DC测试项等，设置每天定时去分析登记的产品历史测试数据，设置为内控良率标准。每当有晶圆测试完成后系统将各种判断标准结合起来共同判断，当系统判断出结果异常时会推送给工程师查看，工程师确认无误后再通过系统进行解锁，否则无法进入下一个流程，而没有异常时则可自动进入下一个流程。

An automatic judgment system of IC wafer test data

【技术实现步骤摘要】
一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统
本专利技术涉及晶圆测试
，进一步说，尤其涉及一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统。
技术介绍
随着集成电路的发展，晶圆测试越来越被重视，很多重要参数都移到晶圆测试中去进行测试，测试数据变得越来越庞大，分析的内容越来越多，而且每个产品分析的内容并不相同，需要进行数据的筛选、剔除、合并等动作，如果全部人工手动去进行分析，将会需要大量时间，并且准确性也不能完全保证。随着测试数量越来越多，可以从历史数据中找到产品的特性，人工无法做到每天定时去进行历史数据的分析。现有技术一：人工进行数据判断，耗时耗力，容易出错；晶圆测试中的测试数据量越来越大，每个产品的要求也不相同，如果人工进行判断，需要大量人力去进行数据的筛选、合并等动作，并且判断标准也可能每个人都不一致，导致判断结果没有统一标准，特别容易出错。现有技术二：每片晶圆测完后需等待人工进行确认，无法做到实时分析晶圆测试产品越来越多，人工分析无法做到每片晶圆测试完成后第一时间进行分析，就这导致整个晶圆测试流程运转中间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，其特征在于：/n系统包括产品登记模块、内控运算模块、实时数据分析模块、数据推送模块、人工解锁模块；/n产品登记模块由工程师将产品登记到系统中，产品名、测试平台、测试流程三者定义为一个产品，里面有必填信息；/n内控运算模块将登记好的产品在后台开始运算，将每一片的数据进行处理分析，得到每片的良率、复测率、回复率、每个Bin的失效个数、Site之间的差异、提取所需的DC参数放到数据库中，并将这些数据通过算法得出合理的范围；/n实时数据分析模块是当每一片晶圆测完后，系统会自动触发，通过登记好的标准和内控运行模块算出的内控标准相结合进行数据的分析，有任何一个标准...

【技术特征摘要】
1.一种集成电路晶圆测试数据自动判断系统，其特征在于：
系统包括产品登记模块、内控运算模块、实时数据分析模块、数据推送模块、人工解锁模块；
产品登记模块由工程师将产品登记到系统中，产品名、测试平台、测试流程三者定义为一个产品，里面有必填信息；
内控运算模块将登记好的产品在后台开始运算，将每一片的数据进行处理分析，得到每片的良率、复测率、回复率、每个Bin的失效个数、Site之间的差异、提取所需的DC参数放到数据库中，并将这些数据通过算法得出合理的范围；
实时数据分析模块是当每一片晶圆测完后，系统会自动触发，通过登记好的标准和内控运行模块算出的内控标准相结合进行数据的分析，有任何一个标准不符合的就会通过数据推送模块将数据推给工程师再次确认，此时这片晶圆会被锁住，无法进入下一个流程，登记标准不符合的优先级较高，在数据较多时优先推送处理。两者都符合的直接可进入下一个流程，无需人工再次确认；
数据推送模块将系统锁住的异常晶圆数据推送给工程师，工程师通过再次分析确认是否为测试问题，可以安排复测或重测等排除测试问题，如果确认为晶圆本身问题，通过人工解锁模块将晶圆解...

【专利技术属性】
技术研发人员：王玉龙，吴一，吴勇佳，刘惠巍，谢勤，
申请(专利权)人：上海华岭集成电路技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31