【技术实现步骤摘要】
高温超导带材金属溅射靶材保护装置及基片薄膜制作方法
本专利技术涉及磁控溅射
，具体涉及一种第二代高温超导带材金属溅射靶材保护装置及基片薄膜制作方法。
技术介绍
21世纪以来，超导技术，尤其是高温超导技术越来越多的受到高科技行业的关注。以YBa2Cu3O7-δ(YBCO)为代表的第二代高温超导带材在强电领域，具有不可替代的优势，包括高温超导发电机、高温超导储能、高温超导磁体等具有常规线缆无法比拟的优势。第二代高温超导带材主要面临规模化成本过高，采用薄膜制备的方式来获取双轴织构等不利因素，是目前商用的重要阻碍。目前第二代高温超导带材超导层的制备方法主要有：金属有机气相沉积(MOCVD)、金属有机化学沉积(MOD)、脉冲激光沉积(PLD)、反应热蒸发(RCE-DR)。上述方法都已经被证实能够作为第二代高温超导带材超导层的制备方法，但是上述方法均有各自的优缺点。磁控溅射技术是我们自主提出的一种高速制备高温超导层的方法，该方法采用直流磁控溅射作为沉积源，直接溅射Y(Re)、Ba、Cu金属靶材，Re包括Gd、Sm、Eu、Dy等稀土...
【技术保护点】
1.一种高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：包括保护壳体、升降驱动装置、磁控溅射枪和真空溅射室，所述保护壳体内设置有保护腔室，所述磁控溅射枪设置在保护腔室内，保护壳体的底部设置有闸板阀，所述闸板阀用于封闭或打开保护腔室，所述升降驱动装置设置在保护壳体的顶部，所述磁控溅射枪通过伸缩杆与升降驱动装置连接，在保护腔室的顶部开设有供伸缩杆穿行的通孔，在所述通孔内设置有密封圈，当闸板阀打开时，升降驱动装置能驱动磁控溅射枪伸出保护腔室或收回保护腔室内；在真空溅射室内设置有基板，基板与保护壳体内的磁控溅射枪相对设置，在基板上安放待溅射的基片或基带，在真空溅射室的外侧，还设置有与...
【技术特征摘要】
1.一种高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：包括保护壳体、升降驱动装置、磁控溅射枪和真空溅射室，所述保护壳体内设置有保护腔室，所述磁控溅射枪设置在保护腔室内，保护壳体的底部设置有闸板阀，所述闸板阀用于封闭或打开保护腔室，所述升降驱动装置设置在保护壳体的顶部，所述磁控溅射枪通过伸缩杆与升降驱动装置连接，在保护腔室的顶部开设有供伸缩杆穿行的通孔，在所述通孔内设置有密封圈，当闸板阀打开时，升降驱动装置能驱动磁控溅射枪伸出保护腔室或收回保护腔室内；在真空溅射室内设置有基板，基板与保护壳体内的磁控溅射枪相对设置，在基板上安放待溅射的基片或基带，在真空溅射室的外侧，还设置有与真空溅射室的内腔相连通的抽真空装置。
2.根据权利要求1所述的高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：还设置有与闸板阀相适配的闸板阀控制器，所述闸板阀控制器与闸板阀连接，用于控制闸板阀的开启或关闭，闸板阀采用电动闸板阀、气动闸板阀或手动闸板阀；当闸板阀采用电动闸板阀或气动闸板阀时，闸板阀控制器为自动控制元件；当闸板阀采用手动闸板阀时，闸板阀控制器为手动机械控制器件。
3.根据权利要求1所述的高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：所述保护壳体、闸板阀和闸板阀控制器均设置在真空溅射室的外部，在真空溅射室与保护壳体的连接处开设有贯通孔，当闸板阀打开时，保护壳体中的保护腔室能与真空溅射室的内腔连通；在保护腔室与真空溅射室的内腔连接处设置有密封垫圈，通过密封垫圈使保护壳体和真空溅射室外部的气体不能通过真溅射室顶壁开设的贯通孔而进入到保护腔室和/或真空溅射室内。
4.根据权利要求1所述的高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：还包括锁定机构，所述锁定机构设置在保护壳体上，用于伸缩杆移动到位后对伸缩杆进行锁定，所述锁定机构包括一对对称设置的锁定组件，所述锁定组件包括驱动气缸和固定夹持件，所述驱动气缸设置在保护壳体的侧壁上，驱动气缸的驱动轴与固定夹持件连接。
5.根据权利要求2所述的高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：还包括控制模块和电源，所述控制模块分别与抽真空装置、升降驱动装置、磁控溅射枪和电源连接；通过控制模块控制升降驱动装置和抽真空装置，当闸板阀采用电动闸板阀或气动闸板阀时，其闸板阀控制器也与控制模块电连接，通过控制模块控制闸板阀的开启或关闭，在所述控制模块内设置有控制器。
6.根据权利要求5所述的高温超导带材金属溅射靶材保护装置，其特征在于：还包括人机交互模块，所述人机交互模块与控制模块连接，所述人机交互模块用于使用者输入操控指令，查看设备的工作状态信息，所述控制模块根据操控指令做出相应响应。
...
【专利技术属性】
技术研发人员：夏钰东，陶伯万，赵睿鹏，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川;51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。