【技术实现步骤摘要】
调节体声波滤波器中谐振器频率的方法及体声波滤波器
本专利技术涉及滤波器
，特别地涉及一种调节体声波滤波器中谐振器频率的方法及体声波滤波器。
技术介绍
随着通信系统的发展，射频前端系统对滤波器性能的要求逐步提高。通过设计的优化来改善滤波器的性能是最重要的手段之一。对于滤波器来说，通过串并联之间形成一定的频率差来实现通带和带外的传输特性。滤波器的通带的设计需要尽量保证和端口阻抗匹配良好，以此来保证信号的通过，带外的设计需要尽量保证和端口阻抗不匹配，以此来阻断信号的通过。因此对于带内和带外都需要调节匹配特性。一般来说，滤波器的频率和机电耦合系数的多样性可以保证通带和带外都能实现特定的阻抗，因此，带内的插损和带外抑制都能得到改善。对于传统的体声波滤波器来说，多种频率的调节通过增加额外质量负载层来实现，多一种频率对应多一层质量负载层，也就是对应的额外多使用一层光刻板来实现。通过多层质量负载来实现多种频率一方面会增加成本，包括光刻板的成本和多步工艺的加工成本；另一方面，受限于加工精度，不同质量负载层之间的频率误差增加，会严...
【技术保护点】
1.一种调节体声波滤波器中谐振器频率的方法，其特征在于，通过调节所述体声波滤波器中的一个或多个谐振器的上电极表面的质量负载层的面积来调节质量负载量，从而实现调整该谐振器的频率。/n
【技术特征摘要】
1.一种调节体声波滤波器中谐振器频率的方法，其特征在于，通过调节所述体声波滤波器中的一个或多个谐振器的上电极表面的质量负载层的面积来调节质量负载量，从而实现调整该谐振器的频率。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述调节所述体声波滤波器中的一个或多个谐振器的上电极表面的质量负载层的面积的步骤包括：在所述一个或多个谐振器的上电极上分别形成厚度相同、面积不同的第一质量负载层，使多个谐振器的上电极上的质量负载量不同。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，在所述一个或多个谐振器的上电极上分别形成厚度相同、面积不同的第一质量负载层之前，该方法还包括：在所述多个谐振器的上电极上分别形成至少一层面积相同、厚度相同的第二质量负载层，使所述多个谐振器调整至预设质量负载量；并且所述第一质量负载层形成在所述第二质量负载层上。
4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，
多个所述谐振器之间的所述第一质量负载层的面积比为固定值；
并且所述方法还包括：根据所述面积比调整所述第一质量负载层的厚度。<...
【专利技术属性】
技术研发人员：庞慰，蔡华林，
申请(专利权)人：诺思天津微系统有限责任公司，
类型：发明
国别省市：天津;12
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