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诺思天津微系统有限责任公司专利技术
诺思天津微系统有限责任公司共有255项专利
压电层下侧设置凸起或凹陷的体声波谐振器及制造方法技术
本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法。所述体声波谐振器包括基底、声学镜、底电极、顶电极和设置在底电极与顶电极之间的压电层,其中:压电层的下表面设置有压电层下凹陷和/或压电层下凸起,所述压电层下凹陷的深度或者所述压电层下凸起的高度不大于...
体声波谐振器及其制造方法、滤波器及电子设备技术
本发明涉及一种体声波谐振器及其制造方法,所述谐振器包括基底;底电极;声学镜;顶电极;和压电层,其中:所述底电极包括第一电极层和第二电极层,所述第一电极层与第二电极层之间设置有空隙层,所述空隙层限定谐振器的声学镜,所述第二电极层的一部分位...
键合结构和谐振器制造技术
本申请涉及谐振器相关技术领域,具体涉及一种键合结构和谐振器。其中,键合结构包括:衬底;所述衬底上垂直于所述衬底的侧面的通孔;键合凸起层;键合凸起层设置在所述衬底第一侧面,且环绕所述通孔;所述键合凸起层用于挤压键合对端的导电层以实现键合。...
谐振器制造技术
本申请提供了一种谐振器,谐振器包括:衬底;叠层结构,位于所述衬底上;所述叠层结构包括:沿远离衬底的方向依次层叠设置的底电极层、压电层和顶电极层;所述叠层结构上设置有边缘凸起结构;所述边缘凸起结构的材料包括绝缘材料。如此设置采用绝缘材料制...
滤波器制造技术
本发明提供一种滤波器,涉及滤波器技术领域,用于解决滤波器的带外抑制效果差和结构不紧凑的技术问题,该滤波器包括基板和设置于基板上的芯片,芯片包括第一晶圆和第二晶圆,第一晶圆和第二晶圆沿基板的厚度方向堆叠设置,且第一晶圆上设有谐振器,第二晶...
一种滤波器的二倍频传输零点设置方法及滤波器技术
本申请涉及一种滤波器的二倍频传输零点设置方法及滤波器,属于滤波器技术领域,将滤波器的目标电路结构中谐振器的电容值设置为预设的电容值,以使目标电路结构的串联谐振频率处于预设的频率范围;目标电路结构包括第一电路结构和/或第二电路结构;第一电...
中空底电极彼此绝缘的体声波谐振器组件制造技术
本发明涉及一种体声波谐振器组件及其制造方法,该组件包括:设置在基底上的相邻的两个体声波谐振器,所述相邻的两个体声波谐振器的底电极包括彼此电连接的第一底电极和第二底电极,第一底电极与第二底电极之间限定有声学镜空腔;以及共用释放孔,所述相邻...
一种体声波滤波器、双工器和电子设备制造技术
本发明涉及一种双工器,包括:天线;第一滤波器,所述第一滤波器包括至少两个第一接地焊盘和至少两个第一接地端,每个第一接地焊盘经由对应的第一电感与对应的第一接地端相接;和第二滤波器,与所述第一滤波器相邻设置,所述第二滤波器包括至少两个第二接...
双工器和通信设备制造技术
本发明公开了一种双工器和通信设备。该双工器包括由体声波谐振器构成的发射滤波器和接收滤波器,双工器包括堆叠的第一晶圆和第二晶圆,第一晶圆的第一表面和第二晶圆的第二表面相对,其中,发射滤波器的串联谐振器位于第一表面的第一侧;接收滤波器的并联...
选择凸起结构的角度以提升性能的体声波谐振器制造技术
本发明涉及一种体声波谐振器,包括基底;声学镜;底电极;顶电极;和压电层,设置在底电极与顶电极之间,其中:所述谐振器的有效区域的边缘设置有凸起结构,所述凸起结构的内端的角度在25
滤波器的优化方法、优化装置、滤波器以及存储介质制造方法及图纸
本发明提供一种滤波器的优化方法、优化装置、滤波器以及存储介质。滤波器的优化方法包括:获得滤波器对应的功率参数,功率参数为滤波器的功率参数或滤波器中各谐振器的功率参数;若功率参数位于预设阈值之外,将各谐振器中的第一谐振器拆分为至少两个第二...
滤波器、改善滤波器插损和回波性能的方法以及电子设备技术
本发明公开了一种滤波器、改善滤波器插损和回波性能的方法以及电子设备。该滤波器为梯形拓扑结构,其输入端和输出端之间包含多个串联谐振器和多个并联支路,各并联支路中包含谐振器,其中:对于多个并联支路中最靠近输入端和/或输出端的第一并联支路,该...
声波滤波器及提升其功率容量的方法、多工器、通信设备技术
本发明实施例公开了一种声波滤波器,包括位于输入端和输出端之间的至少两个串联谐振器和至少两个并联谐振器,至少两个串联谐振器具有至少两个不同的并联谐振频率,平均并联谐振频率为fpav,靠近输入端第一个串联谐振器的并联谐振频率为Fp,1.0
双工器装置、多工器及通信设备制造方法及图纸
本发明提供一种双工器装置、多工器及通信设备。双工器装置包括基板和至少两个滤波器,至少两个滤波器中的第一滤波器和第二滤波器均设置于基板的同一面,且第一滤波器和第二滤波器沿基板的第一长度方向具有位置差;第一滤波器的中心和第二滤波器的中心在基...
改善滤波器性能的方法、滤波器、多工器和电子设备技术
本发明公开了改善滤波器功率容量和非线性特性的方法、滤波器、多工器和电子设备。该方法包括:在滤波器的输入输出端之间设置至少两个父串联谐振器和至少两个父并联谐振器,将靠近输入端的第一级父串联谐振器进行串联非线性拆分,将所有父串联谐振器中并联...
一种谐振器以及滤波器制造技术
本发明涉及一种谐振器以及滤波器,属于半导体技术领域。该谐振器包括衬底;反射镜;下电极;上电极;压电层,设置在下电极和上电极之间;其中,邻近有效区边缘的压电层上表面制备有至少一个第一凹陷结构,有效区包括上电极、下电极、压电层和反射镜在竖直...
一种声波滤波器、提高性能的方法、多工器和通信设备技术
本发明实施例公开了一种声波滤波器,串联支路上有多个串联谐振器,相邻两个串联谐振器之间连并联支路,并联支路包括至少一个并联谐振器和至少一个对地电感,滤波器还包括:至少一个并联支路组,连接在两个指定串联谐振器之间,由第一路并联支路和第二路并...
一种声波滤波器及提升其性能的方法、多工器和通信设备技术
本发明实施例公开了一种声波滤波器,包括多个谐振器和环绕于多个谐振器外围的密封环,包括至少两个串联谐振器和至少两个并联谐振器,至少两个并联支路包括靠近滤波器其中一端的第一并联支路和靠近滤波器另一端的第二并联支路,第一并联支路接地节点与密封...
滤波元件及电子设备制造技术
本发明提供一种滤波元件及电子设备。滤波元件包括端口、阻抗匹配单元和至少两个带阻滤波器,端口包括输入端口和输出端口,带阻滤波器串联设置在输入端口和输出端口之间,阻抗匹配单元连接于相邻两个带阻滤波器之间或者是带阻滤波器与端口之间;至少两个带...
包括间隙电极的体声波谐振器、滤波器及电子设备制造技术
本发明涉及一种体声波谐振器,包括:基底;底电极;顶电极;声学镜;和压电层,其中:底电极为包括间隙层的间隙电极,间隙层形成所述声学镜,顶电极、底电极、压电层和声学镜在谐振器的厚度方向上的重叠区域限定谐振器的有效区域;谐振器还包括第一种子层...
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