一种微元件的转移装置及转移方法制造方法及图纸

本申请公开了一种微元件的转移装置及转移方法，所述转移装置包括：转移基板，所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针；控制电路，与多个所述探针连接，用于控制多个所述探针进行作业，多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。通过上述方式，本申请能够在批量转移过程中实现对每一颗微元件进行单独操作。

【技术实现步骤摘要】
一种微元件的转移装置及转移方法
本申请涉及显示
，特别是涉及一种微元件的转移装置及转移方法。
技术介绍
微发光二极管(Micro-LED)芯片是指以高密度集成在一定施主基板(例如，施主晶圆等)上的微小尺寸Micro-LED阵列，Micro-LED芯片的尺寸一般在100微米以下。在制造显示器过程中，一般需要采用静电吸附、磁力吸附、范德华力作用、真空吸附等技术将Micro-LED芯片从施主基板批量转移到目标基板。本申请的专利技术人在长期研究过程中发现，现有批量转移过程中无法做到对每一颗Micro-LED芯片进行单独控制。
技术实现思路
本申请主要解决的技术问题是提供一种微元件的转移装置及转移方法，能够在批量转移过程中实现对每一颗微元件进行单独操作。为解决上述技术问题，本申请采用的一个技术方案是：提供一种微元件的转移装置，所述转移装置包括：转移基板，所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针；控制电路，与多个所述探针连接，用于控制多个所述探针进行作业，多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：/n转移基板，所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针；/n控制电路，与多个所述探针连接，用于控制多个所述探针进行作业，多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。/n

【技术特征摘要】
1.一种微元件的转移装置，其特征在于，所述转移装置包括：
转移基板，所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针；
控制电路，与多个所述探针连接，用于控制多个所述探针进行作业，多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。


2.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述控制电路用于独立控制每个所述探针产生或者去除静电吸附力，所述控制电路包括：
静电产生子电路，用于提供产生静电所需第一电压；
多个开关，一个所述开关对应连接一个所述探针，所述开关的两端分别与所述探针和所述静电产生子电路连接；
开关控制电路，用于控制多个所述开关的通断。


3.根据权利要求2所述的转移装置，其特征在于，所述控制电路还包括第一检测子电路，每一所述探针与所述检测子电路连接，所述第一检测子电路用于向多个所述探针提供测试电压/测试电流。


4.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，当所述第一检测子电路向所述探针提供测试电压/测试电流时，所述开关控制电路控制所述开关断开。


5.根据权利要求3所述的转移装置，其特征在于，所述转移装置还包括：导电临时基板，至少在一表面设有导电层，所述微元件为垂直型微发光二极管芯片，所述微发光二极管芯片的两个电极分别位于所述微发光二极管芯片的相对两侧，所述导电临时基板和所述探针分别与两个所述电极接触，所述导电临时基板用于与所述探针配合向所述微元件的两端提供测试电压/测试电流，使所述微元件通电以进行性能检测。


6.根据权利要求1所述的转移装置，其特征在于，所述微元件为横向型微发光二极管，所述微发光二极管芯片的两个电极位于所述微发光二极管芯片的同一侧；所述控制电路包括第二检测子电路和第三检测子电路，相邻一组所述探针分别与所述第二检测子电路和所述第三检测子电路连接，所述第二检测子电路和所述第三检测子电路用于与所述探针配合向所述微元件的两个所述电极提供测试电压/测试电流，使所述微元件通电以进行性能检测。


7.一种微元件的转移方法，其特征在于，所述转移方法包括：
提供施主基板，所述施主基板上设置有多个微元件；
利用转移装置将多个所述微元件从所述施主基板转移，其中，所述转移装置包括转移基板和控制电路，所述转移基板包括自所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘玉春，洪志毅，王程功，李之升，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，昆山国显光电有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32