下载一种微元件的转移装置及转移方法的技术资料

文档序号:24127273

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本申请公开了一种微元件的转移装置及转移方法,所述转移装置包括:转移基板,所述转移基板包括自所述转移基板的至少一表面凸起的多个探针;控制电路,与多个所述探针连接,用于控制多个所述探针进行作业,多个所述探针独立吸附或者释放选定的微元件。通过上述...
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