【技术实现步骤摘要】
一种用于测试半导体裸片的测试探针设备及方法
本专利技术涉及半导体材料测试
，具体为一种用于测试半导体裸片的测试探针设备及方法。
技术介绍
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明应用、大功率电源转换等领域应用，如二极管就是采用半导体制作的器件，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。现有的测试装置在进行检测的过程中，探针设备直接撞击在检测材料上，容易造成探针的端部受力弯曲、断裂，部分探针直接开裂，进一步影响对材料的测试，测出的结果无法做到精确化，且随着检测材料体积不断的增大，从而易出现测试装置检测不到的部位，从而给检测带来不便。
技术实现思路
本专利技术就是为了克服现有技术中的不足，提供一种用于测试半导体裸片的测试探针设备。技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一...
【技术保护点】
1.一种用于测试半导体裸片的测试探针设备，包括检测台(1)和测试装置(4)，其特征在于：所述检测台(1)的顶部固定连接有支撑杆(2)，支撑杆(2)的顶部固定连接有调节箱(3)，调节箱(3)的内壁活动连接有转盘(5)，转盘(5)的外表面固定连接有挤压杆(6)和矩形框(7)，支撑杆(2)的内部设有活动杆(8)，活动杆(8)的正面固定连接有固定块(9)，固定块(9)设在矩形框(7)的内部，调节箱(3)的内底壁设有连接杆(11)，连接杆(11)的顶部固定连接有升降板(10)。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于测试半导体裸片的测试探针设备，包括检测台(1)和测试装置(4)，其特征在于：所述检测台(1)的顶部固定连接有支撑杆(2)，支撑杆(2)的顶部固定连接有调节箱(3)，调节箱(3)的内壁活动连接有转盘(5)，转盘(5)的外表面固定连接有挤压杆(6)和矩形框(7)，支撑杆(2)的内部设有活动杆(8)，活动杆(8)的正面固定连接有固定块(9)，固定块(9)设在矩形框(7)的内部，调节箱(3)的内底壁设有连接杆(11)，连接杆(11)的顶部固定连接有升降板(10)。
2.根据权利要求1所述的一种用于测试半导体裸片的测试探针设备，其特征在于：所述连接杆(11)贯穿调节箱(3)的内底壁并延伸至调节箱(3)的底部，连接杆(11)的底部固定连接有挡板(12)，挡板(12)的一侧面固定连接有第一滑杆(13)，第一滑杆(13)的外表面滑动连接有活动块(14)，挡板(12)的一侧面活动连接有第一螺杆(15)，活动块(14)螺纹连接在第一螺杆(15)的外表面，测试装置(4)固定连接在第一螺杆(15)的底部。
3.根据权利要求2所述的一种用于测试半导体裸片的测试探针设备，其特征在于：所述测试装置(4)的内侧壁固定连接有固定板(19)，测试装置(4)的内顶壁固定连接有第一套杆(24)和第二套杆(25)，第一套杆(24)的外表面滑动连接有探针(20)，测试装置(4)的底部固定连接有连接套筒(29)，探针(20)依次贯穿固定板(19)的顶部、测试装置(4)的内底壁和连接套筒(29)的顶部并延伸至连接套筒(29)的底部，探针(20)的底部固定连接有探针头(21)，探针(20)的一侧面固定连接有齿条(22)，测试装置(4)的内壁活动连接有齿轮(23)，齿条(22)与齿轮(23)相啮合，第二套杆(25)的外表面滑动连接有齿条板(26)，齿条板(26)与齿轮(23)相啮合，第二套杆(25)的外表面套接有第二弹簧(27)。
4.根据权利要求1所述的一种用于测试半导体裸片的测试探针设备，其特征在于：所述探针(20)的顶部和测试装置(4)的内顶壁均固定连接有磁块(28)，两个磁块(28)的磁极方向相同，调节箱(3)的内顶壁和内底壁均固定连接有滑轨(17)，活动杆(8)的两端均滑动连接在滑轨(17)的内部。
5.根据权利要求1所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：王荣，
申请(专利权)人：北京享云智汇科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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